TT—1型磷化氢解毒装置的研制被引量：2

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摘要介绍了新型工业用磷化氢尾气解毒装置TP—1型磷化氢解毒装置的流程,结构及模拟工业条件进行的脱磷深度和脱磷容量实验。结果表明,该装置脱磷深度可达0.03ppm,穿透脱磷容量为88克/公斤。该装置脱磷深度高,结构简单,操作方便,体积小,重量轻,能耗低,可用于半导体等行业含磷化氢的尾气处理,也可用于钢瓶中残存磷化氢气体的处理等领域。

作者翟建新

机构地区化工部光明化工研究所

出处《低温与特气》 CAS 1988年第2期58-62,共5页 Low Temperature and Specialty Gases

关键词装置解毒 1型研制 TP 磷化氢气体工业条件操作方便尾气处理脱磷工业用体积小重量轻半导体容量结构

分类号 TP309 [自动化与计算机技术—计算机系统结构] TJ76 [兵器科学与技术—武器系统与运用工程]

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低温与特气

1988年第2期

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