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High resolution angular-displacement sensor based on whispering gallery mode resonance in bent optical fibers
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作者 YU Ying-yu WANG Su-mei +2 位作者 LI Ben-ye WU Hong-bin CAO Zhi-tao 《Journal of Beijing Institute of Technology》 EI CAS 2014年第1期42-46,共5页
A simple fiber sensor to measure angular displacement with high resolution, which is based on whispering gallery mode (WGM) resonance in bent optical fibers,is proposed. The sensor is composed of a single loop forme... A simple fiber sensor to measure angular displacement with high resolution, which is based on whispering gallery mode (WGM) resonance in bent optical fibers,is proposed. The sensor is composed of a single loop formed by loosely tying a knot using single mode fiber. To measure the transmission spectra, a tunable laser and an optic power meter are connected to the two ends of fi- ber loop, respectively. Significant WGM resonances occur over the investigated wavelength range for all the sensors with different bend radius. The angular-displacement sensitivity is studied in the range from -0. 1°to 0. 1°. The detection limit of 1.49 × 10 ^-7 rad can be achieved for the detecting system with the resolution of lpm. The simple loop-structure fiber sensor has potential application prospect in the field of architecture or bridge building with low detection limit and low cost. 展开更多
关键词 whispering gallery mode (WGM) angular displacement optical fiber sensor
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绝对式角位移传感器的研究综述 被引量:1
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作者 张天恒 彭东林 +2 位作者 王阳阳 郑永 段正南 《仪器仪表学报》 北大核心 2025年第6期1-16,共16页
在智能控制系统的核心部件中,绝对式角位移传感器占据着至关重要的地位。其测量精度与长期运行的可靠性,直接决定了整个控制系统的性能上限。综述了基于不同物理原理的绝对式角位移传感器(电感式、光电式、电场式、磁电式),深入探究其... 在智能控制系统的核心部件中,绝对式角位移传感器占据着至关重要的地位。其测量精度与长期运行的可靠性,直接决定了整个控制系统的性能上限。综述了基于不同物理原理的绝对式角位移传感器(电感式、光电式、电场式、磁电式),深入探究其核心传感机理。阐述了各类绝对式角位移传感器的工作原理、感知电极的形状(特殊编码、环形、扇形、正弦形、花瓣形等)来适应不同的传感机理、感知单元(从栅线到栅面再到阵列)的构型特征来提高感知精度、传感媒介向多媒介耦合转变增强复杂环境的适应性、典型的绝对测量的结构特征以及当前的研究现状。在分析各自优势的同时,也明确指出其固有的局限性,同时对比分析了当前市场上主流产品的性能指标及其典型应用领域,为工程选型提供参考。剖析了在不同传感机理下,融合时空调制技术,通过在空间上周期性分布感知单元并在时间维度上进行信号扫描与解调,具备高精度与抗干扰特性的绝对式时栅角位移传感器。最后,对绝对式角位移传感器未来发展趋势进行展望。在提升传感器精度与分辨率的同时,增强在极端环境下的鲁棒性与可靠性,深化多传感器信息融合技术以满足复杂智能控制系统对多维信息感知的更高需求。 展开更多
关键词 绝对测量 传感机理 传感结构 感知电极的形状 绝对式时栅角位移传感器
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基于纳米时栅传感器技术的扭转引伸计校准装置研究
3
作者 徐尹杰 赵兴华 唐韵 《计量与测试技术》 2025年第12期82-85,共4页
基于纳米时栅传感器高精度、高稳定性、抗干扰强的技术特点,设计了一种专门解决扭转引伸计溯源的高精度校准装置,通过更换不同直径的引伸计安装工装,模拟试样的扭转变形并进行校准。结果表明,该装置可溯源至角度基准,不仅提高了敏感元... 基于纳米时栅传感器高精度、高稳定性、抗干扰强的技术特点,设计了一种专门解决扭转引伸计溯源的高精度校准装置,通过更换不同直径的引伸计安装工装,模拟试样的扭转变形并进行校准。结果表明,该装置可溯源至角度基准,不仅提高了敏感元件的测量及仪器的校准和复现性的精度,摆脱了齿轮等物理传动机构带来的间隙误差,而且相对传统的校准方法,具有更直接、精度更高、抗干扰性更强、使用更便捷等优点,满足各类测量校准需求。 展开更多
关键词 纳米时栅传感器 扭转引伸计 校准装置 量值溯源 角位移
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一种可用于扭矩测量的角位移传感器
4
作者 冉鑫阳 汤其富 +3 位作者 李森林 夏菊 赵江渝 张华 《传感器与微系统》 北大核心 2025年第5期86-89,共4页
针对当前非接触式扭矩测量方法大多在旋转轴两端分别安装传感器导致一致性差、成本高、安装困难等问题,开展一种可用于扭矩测量的双转子同步耦合型电磁感应式角位移传感器研究。传感器由1个定子和2个转子组成,2个转子与定子之间均通过... 针对当前非接触式扭矩测量方法大多在旋转轴两端分别安装传感器导致一致性差、成本高、安装困难等问题,开展一种可用于扭矩测量的双转子同步耦合型电磁感应式角位移传感器研究。传感器由1个定子和2个转子组成,2个转子与定子之间均通过电磁感应耦合,使定子同时输出关于2个转子的位移信息,并且可以通过两转子位移差测量扭矩。介绍了传感器结构、工作原理、仿真实验与样机实验。实验结果表明,该传感器2个转子对极内测量误差分别为-9.35″~19.46″和-13.75″~22.89″,分辨率为0.93″,测扭矩分辨率为0.057 Nm,测扭矩误差为-0.8~1.21 Nm。 展开更多
关键词 角位移传感器 扭矩测量 双转子 同步耦合 电磁感应
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一种PCB型电磁感应式角位移传感器
5
作者 王世军 王艳林 《北京信息科技大学学报(自然科学版)》 2025年第4期99-104,共6页
电磁感应式角位移传感器采用无接触工作方式,且稳定性高,在多个领域得到了广泛应用。但在对传感器体积要求严苛的环境下,以往的电磁感应式角位移传感器精度较差。针对这个问题,设计了一款电磁感应式角位移传感器,基于印制电路板(printed... 电磁感应式角位移传感器采用无接触工作方式,且稳定性高,在多个领域得到了广泛应用。但在对传感器体积要求严苛的环境下,以往的电磁感应式角位移传感器精度较差。针对这个问题,设计了一款电磁感应式角位移传感器,基于印制电路板(printed circuit board,PCB)工艺制作转子和定子,可大幅降低传感器厚度,缩减体积。使用有限元仿真软件ANSYS进行建模仿真,验证实验原理的可行性。制作传感器样机,在测试转台上进行性能和参数对比测试。样机实验表明,在0°~360°范围内角位移传感器的整周原始误差为-0.091°~-0.040°。该电磁感应式角位移传感器体积小,且能在恶劣环境中正常工作,适用于机器人关节臂、小型测试转台等空间狭小环境。 展开更多
关键词 电磁感应 角位移传感器 仿真 印制电路板
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高转速时栅角位移传感器误差模型研究
6
作者 任松 陈锡侯 +1 位作者 陶虹羽 董嘉炜 《仪表技术》 2025年第5期40-43,71,共5页
传统传感器在高速、高精度及超大尺寸等极端工况下的测量精度受到显著制约,尤其是时栅角位移传感器长期受限于静态或低速测量条件。针对这一技术瓶颈,提出一种面向高转速工况的时栅角位移传感器动态误差修正模型。首先建立时栅传感器的... 传统传感器在高速、高精度及超大尺寸等极端工况下的测量精度受到显著制约,尤其是时栅角位移传感器长期受限于静态或低速测量条件。针对这一技术瓶颈,提出一种面向高转速工况的时栅角位移传感器动态误差修正模型。首先建立时栅传感器的系统模型,然后通过分析感应电动势,推导出转子转速与传感器感应信号之间的数学关系。实验采用低速标定的时栅传感器,通过提高转子转速,利用该模型对采集数据进行预处理,并采用谐波修正方法进行动态误差补偿。实验结果表明:对于63对极的磁场式时栅角位移传感器,静态测量误差为±13.5″,1 000 r/min转速下误差为±65.1″,2 000 r/min转速下误差为±147.2″。此外,研究发现高转速工况下存在显著的二次谐波误差。 展开更多
关键词 时栅角位移传感器 高转速 误差模型 抑制方法
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电感式角位移传感器技术综述 被引量:19
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作者 秦毅 王阳阳 +2 位作者 彭东林 陈锡侯 武亮 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第11期1-14,共14页
电感式角位移传感器具有良好的环境适应力、较高的测量精度和稳定性的优点,该类型的角位移传感器广泛应用于高端装备、电动汽车、机器人、飞行器、武器等领域。本文介绍了3种电感式角位移传感器,包括旋转变压器、感应同步器这两种典型... 电感式角位移传感器具有良好的环境适应力、较高的测量精度和稳定性的优点,该类型的角位移传感器广泛应用于高端装备、电动汽车、机器人、飞行器、武器等领域。本文介绍了3种电感式角位移传感器,包括旋转变压器、感应同步器这两种典型的电感式角位移传感器以及我国学者自主研发的磁场式时栅位移传感器。对它们的测量原理及关键技术做了详尽的综述,并分析了这些技术的优点与局限性。根据近年来电感式角位移传感器的发展现状,详细论述了电感式角位移传感器在机械、汽车、工业机器人、航空、航天和国防等领域的应用情况。最后,分析得出电感式角位移传感器技术应往高精度、高可靠性、嵌入式测量、复合功能测量、智能化等方向发展。 展开更多
关键词 角位移传感器 电感式 旋转变压器 感应同步器 磁场式时栅
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时栅传感器直驱式误差自动标定与修正系统 被引量:19
8
作者 杨继森 陈自然 +1 位作者 张天恒 李小雨 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第5期968-975,共8页
针对研制时栅位移传感器过程中的误差标定环节,常规光栅传感器精度不满足要求的问题,采用激光干涉仪作为误差标定基准,自主研制了基于激光干涉仪的直驱式时栅角位移传感器误差自动标定与修正系统。利用时栅角位移传感器的多测头结构与... 针对研制时栅位移传感器过程中的误差标定环节,常规光栅传感器精度不满足要求的问题,采用激光干涉仪作为误差标定基准,自主研制了基于激光干涉仪的直驱式时栅角位移传感器误差自动标定与修正系统。利用时栅角位移传感器的多测头结构与误差曲线等间距周期性分布的特性,以一个对极的误差曲线重构传感器整周的误差曲线,采用多项式拟合算法构建了时栅角位移传感器的误差修正模型。实验结果表明,误差自动标定与修正系统可以快速、准确地对时栅角位移传感器进行自动误差标定与修正,修正后的时栅角位移传感器的整周误差达到±0.43″。 展开更多
关键词 时栅角位移传感器 激光干涉仪 自动标定 误差修正
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基于敏感Fabry-Perot腔光纤角位移传感器的原理与设计 被引量:6
9
作者 吕涛 刘德森 +3 位作者 刘志麟 郎贤礼 蒋小平 朱少丽 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第7期1049-1052,共4页
提出了一种全角度并且可以连续测量微小角位移(秒级)的新型光纤角位移传感器.利用微小光学谐振腔的基本理论,主要是基于光学法布里珀罗(FabryPerot)腔的基本原理研究特定光波下光强度的变化与角位移的线性变化关系,利用光纤技术、敏感... 提出了一种全角度并且可以连续测量微小角位移(秒级)的新型光纤角位移传感器.利用微小光学谐振腔的基本理论,主要是基于光学法布里珀罗(FabryPerot)腔的基本原理研究特定光波下光强度的变化与角位移的线性变化关系,利用光纤技术、敏感技术融合微机械技术研发而成.适合于一些特定领域中对角位移的精确测量. 展开更多
关键词 光纤传感器 法布里-珀罗(Fabry-Perot)腔 角位移
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基于分时复用反射电极结构的高精度绝对式时栅角位移传感器 被引量:13
10
作者 刘小康 李昌伟 +2 位作者 彭凯 于治成 冯济琴 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第11期23-31,共9页
提出了一种基于分时复用反射电极结构的高精度绝对式时栅角位移传感器。以增量式时栅传感器为基础,将单对极与多对极相结合,整周多对极作为精确测量部分实现高精度,整周单对极作为粗略测量部分实现绝对定位。提出了一种分时复用反射电... 提出了一种基于分时复用反射电极结构的高精度绝对式时栅角位移传感器。以增量式时栅传感器为基础,将单对极与多对极相结合,整周多对极作为精确测量部分实现高精度,整周单对极作为粗略测量部分实现绝对定位。提出了一种分时复用反射电极结构,粗测部分和精测部分共用一组反射电极和接收电极,因此结构更加紧凑,便于小型化,同时动子无需引线,应用环境更广。通过分时间段对粗测部分和精测部分施加激励信号,并把不工作的电极接地,可以有效消除粗测部分和精测部分之间的串扰,保证测量精度。采用PCB技术制造了外径Φ=60 mm,内径Φ=26 mm的传感器样机。通过理论分析和结构优化,最终实验结果表明传感器的测量精度达到了±12″。 展开更多
关键词 分时复用结构 反射式 绝对式 时栅 角位移传感器
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一种自适应安装的高精度图像式角位移测量装置 被引量:9
11
作者 于海 万秋华 +2 位作者 孙莹 卢新然 贾兴丹 《中国光学》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第3期510-516,共7页
采用图像探测器的角位移测量技术可实现高精度高分辨力角位移测量。为提高角位移测量装置的鲁棒性,本文设计了一种自适应安装的高精度图像式角位移测量装置。其装调过程非常简便,且可以保证在标定光栅存在偏心时具有高分辨力和高精度测... 采用图像探测器的角位移测量技术可实现高精度高分辨力角位移测量。为提高角位移测量装置的鲁棒性,本文设计了一种自适应安装的高精度图像式角位移测量装置。其装调过程非常简便,且可以保证在标定光栅存在偏心时具有高分辨力和高精度测量输出。首先,提出了基于双线阵图像传感器的测角装置设计原理,并设计了单圈绝对式标定光栅。然后,采用基于质心算法的高分辨力细分算法进行细分,并采用双线阵图像传感器对测角误差进行误差补偿。最后,设计实验装置测试自适应安装的性能。实验结果表明,当标定光栅的偏心度在±1 mm以内时,所设计装置可以实现高精度和高分辨力的角位移测量。本文所设计的装置可以在标定光栅存在±1 mm的安装偏心时保证输出精度,为小型角位移测量装置适应性的提高给出了解决方案。 展开更多
关键词 角位移测量 误差补偿 双图像探测器 自适应安装
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InSb 精密角位移传感器的研究 被引量:8
12
作者 胡明 张之圣 刘志刚 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1998年第2期1-3,共3页
本文介绍了以磁阻效应为工作原理的InSb精密角位移传感器的设计和制作。这种传感器的主要特点是高分辨率、非接触、体积小、重量轻和使用寿命长。性能测试结果表明,在±12°范围内,其分辨率达0.
关键词 INSB 磁阻效应 角位移传感器 悬臂梁 传感器
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磁阻传感器在直线位移传感中的应用 被引量:13
13
作者 殷玲玲 尚群立 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第4期1121-1124,共4页
HMC1501是一款专门的线位移/角位移传感芯片,属于磁阻传感器,其典型应用方案是用来测量直线位移。改变传感结构,可以将直线位移转化为角位移来测量,理论分析和实验证明,相对于典型方案,将直线位移转化为角位移后进行测量,不仅测量精度高... HMC1501是一款专门的线位移/角位移传感芯片,属于磁阻传感器,其典型应用方案是用来测量直线位移。改变传感结构,可以将直线位移转化为角位移来测量,理论分析和实验证明,相对于典型方案,将直线位移转化为角位移后进行测量,不仅测量精度高,而且测量范围广,也节省了成本。 展开更多
关键词 磁阻传感器 直线位移 角位移 传感
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基于STM32F4的时栅位移传感器信号处理系统集成化设计 被引量:8
14
作者 杨继森 许强 冯济琴 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2013年第12期113-116,共4页
设计了一种基于单片STM32F4芯片的时栅位移传感器信号处理系统,将驱动电源、信号采样以及数据处理与误差补偿集成在一片芯片中完成,采用数字频率直接合成(DDS)技术进行激励源的设计,利用输入捕获方式进行高频时钟脉冲插补来采集测量信号... 设计了一种基于单片STM32F4芯片的时栅位移传感器信号处理系统,将驱动电源、信号采样以及数据处理与误差补偿集成在一片芯片中完成,采用数字频率直接合成(DDS)技术进行激励源的设计,利用输入捕获方式进行高频时钟脉冲插补来采集测量信号,由芯片集成的单周期DSP指令部件完成数据计算,并采用傅氏级数谐波修正技术来进行误差修正。实验表明:采用该系统后,72对极时栅误差峰峰值为3.29″,在保证精度的同时实现了时栅信号处理系统的集成化、小型化,降低了生产成本。 展开更多
关键词 信号处理 STM32F4 时栅 角位移 传感器
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一种新型差动变压器式角位移传感器 被引量:12
15
作者 孟武胜 苗溢文 董蓉 《微特电机》 北大核心 2010年第8期32-34,共3页
指出了传统角位移传感器结构复杂、工艺要求高、对环境要求高、使用寿命短、测量精度低等不足,并且介绍了一种新型结构的差动变压器式角位移传感器的原理,按照该原理研制出的传感器有效地避免了传统角位移传感器的不足,并给出了输出特... 指出了传统角位移传感器结构复杂、工艺要求高、对环境要求高、使用寿命短、测量精度低等不足,并且介绍了一种新型结构的差动变压器式角位移传感器的原理,按照该原理研制出的传感器有效地避免了传统角位移传感器的不足,并给出了输出特性曲线。 展开更多
关键词 差动变压器 角位移传感器 互感系数
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基于二次调制的高精度多圈绝对式时栅角位移传感器 被引量:12
16
作者 刘小康 柳康 +2 位作者 蒲红吉 于治成 彭凯 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第5期90-98,共9页
提出了一种基于二次调制的高精度多圈绝对式时栅角位移传感器,该传感器由单圈绝对式传感器与多圈计数模块组成。首先,采用两级单排式时栅角位移传感器构成单圈绝对式传感器,通过第一级传感器构建四路正交的行波信号,将差动的两路行波信... 提出了一种基于二次调制的高精度多圈绝对式时栅角位移传感器,该传感器由单圈绝对式传感器与多圈计数模块组成。首先,采用两级单排式时栅角位移传感器构成单圈绝对式传感器,通过第一级传感器构建四路正交的行波信号,将差动的两路行波信号直接反射,作为精测信号;同时,利用第一级四路正交的行波信号作为第二级传感器的激励信号进行二次调制,获得整周单周期信号,作为粗测信号,精测信号结合粗测信号实现高精度单圈绝对式角位移测量。在此基础上,结合韦根多圈计数模块记录圈数信息,从而实现高精度多圈绝对式角位移测量。通过印制电路板技术制作了原理样机,搭建了实验平台,并进行了测试,实验结果表明:该传感器在整周范围原始精度可达±8″,并且在上电、断电情况下实现了圈数的准确记忆。 展开更多
关键词 二次调制 多圈绝对式 时栅 角位移传感器
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平行梁式电容传感器极板耦合角位移计算和分析 被引量:5
17
作者 李巨韬 郭伟 王建 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2013年第4期492-497,共6页
为了解决平行梁式电容称重传感器极板耦合角位移带来的输出电容值与输入载荷之间的非线性问题,运用力法对平行梁式弹性体超静定结构进行了计算分析,得出了与上下极板夹角关联的主要结构参数,通过内力对极板角度进行了解析,并在有限元软... 为了解决平行梁式电容称重传感器极板耦合角位移带来的输出电容值与输入载荷之间的非线性问题,运用力法对平行梁式弹性体超静定结构进行了计算分析,得出了与上下极板夹角关联的主要结构参数,通过内力对极板角度进行了解析,并在有限元软件中验证了计算的正确性。此结果为平行梁通过结构参数设计优化耦合角位移提供了理论方法,并根据非平行板电容计算公式,构建了更加精确的载荷与电容的数学模型,为传感器输出输入特性曲线的拟合提供了依据。 展开更多
关键词 平行梁 电容传感器 角位移 非线性
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偏光式角位移传感器 被引量:4
18
作者 赵永林 蔺增金 +1 位作者 马凤英 高见 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第z2期167-168,共2页
本文提出一种利用线偏振光的角位移传感器。其角分辨力优于 10 ",具有结构简单、造价低廉、易于校准、性能稳定可靠等优点。无需制作精密的机械分度部件 ,无需精密的光路设计。讨论了单片机支持下抑制光源与光探测器温漂。
关键词 偏振滤光片 角位移传感器 温漂
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时栅角位移传感器在线自标定系统 被引量:10
19
作者 高忠华 陈锡侯 彭东林 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第1期93-101,共9页
为解决时栅角位移传感器在实际应用中的在线标定问题,提出了一种定角平移自标定方法并设计了相应的自标定系统。该方法首先把圆周封闭的自然基准转换成定角基准,在时栅内部建立了自标定基准。然后,根据傅里叶级数的性质,将定角基准平移... 为解决时栅角位移传感器在实际应用中的在线标定问题,提出了一种定角平移自标定方法并设计了相应的自标定系统。该方法首先把圆周封闭的自然基准转换成定角基准,在时栅内部建立了自标定基准。然后,根据傅里叶级数的性质,将定角基准平移到傅里叶变换的幅值和相位中,建立了测量值之差与误差之差的函数关系。通过对测量值之差进行傅里叶分析,重构了时栅角位移传感器的误差函数。最后,讨论了影响自标定精度的误差来源,并设计了传感器的零点纠错算法。为了检验自标定效果,利用激光干涉仪实验装置与自标定系统进行了对比试验。结果表明:定角平移自标定精度为1.9″,与理论计算的自标定误差(1.5±0.5)″的结论相符。提出的自标定方法在解决时栅自身标定基准的同时,满足了精密测量领域对时栅精度和可靠性的要求。 展开更多
关键词 时栅角位移传感器 自标定 定角平移 零点纠错
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基于STC12C5A60S2单片机的智能阀门定位器的设计 被引量:4
20
作者 荆学东 李飞 +1 位作者 姜健 张智慧 《煤炭技术》 CAS 北大核心 2015年第6期221-223,共3页
为了精确控制阀门的开度,提出了基于STC12C5A60S2单片机的硬件控制电路,选用角位移传感器WDD22D对阀门开度进行采集,并有LCD进行显示,键盘进行现场操作,通过输入模块的信号和反馈信号在单片机中进行比较从而由单片机控制压电阀的进出气... 为了精确控制阀门的开度,提出了基于STC12C5A60S2单片机的硬件控制电路,选用角位移传感器WDD22D对阀门开度进行采集,并有LCD进行显示,键盘进行现场操作,通过输入模块的信号和反馈信号在单片机中进行比较从而由单片机控制压电阀的进出气,实现阀门的开度控制。并且针对气体的可压缩性,难以对阀门实现精确控制的问题提出模糊PID控制算法对压电阀进行控制,仿真实验表明该方法有一定的实用价值。 展开更多
关键词 STC12C5A60S2 角位移传感器 LCD 压电阀 模糊PID
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