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基于敏感Fabry-Perot腔光纤角位移传感器的原理与设计 被引量:6

Principle and Design of Optical Fiber Angular Displacement Sensor Based on Sensitive Fabry-Perot Cavity
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摘要 提出了一种全角度并且可以连续测量微小角位移(秒级)的新型光纤角位移传感器.利用微小光学谐振腔的基本理论,主要是基于光学法布里珀罗(FabryPerot)腔的基本原理研究特定光波下光强度的变化与角位移的线性变化关系,利用光纤技术、敏感技术融合微机械技术研发而成.适合于一些特定领域中对角位移的精确测量. A novel optical fiber angular displacement which can be used to measure micro angular displacement (second level) and all angle continuously is introduced. Basing on the principle of micro resonance cavity, especially on optical Fabry-Perot cavity, the linear relation between beam intensity and angular displacement with special beam has been researched. By using of optical fiber technology, sensing technology and micro mechanical technology,the sensor used in some special circumstance is produced for measuring angular displacement accurately.
出处 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第7期1049-1052,共4页 Acta Photonica Sinica
关键词 光纤传感器 法布里-珀罗(Fabry-Perot)腔 角位移 Optical fiber sensor Fabry-Perot cavity Angular displacement
  • 相关文献

参考文献7

二级参考文献27

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共引文献116

同被引文献36

引证文献6

二级引证文献23

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