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The integration of microelectronic and photonic circuits on a single silicon chip for high-speed and low-power optoelectronic technology
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作者 Rajeev Gupta Ajay Kumar +17 位作者 Manoj Kumar Rajesh Singh Anita Gehlot Purnendu Shekhar Pandey Neha Yadav Kailash Pandey Ashish Yadav Neha Gupta Ranjeet Brajpuriya Shalendra Kumar Ajay Singh Verma Tanuj Kumar Yongling Wu Zheng Hongyu Abhijit Biswas Ajay Mittal Aniruddha Mondal Romanov Oleksandr Ivanovich 《Nano Materials Science》 2025年第3期305-315,共11页
The combining microelectronic devices and associated technologies onto a single silicon chip poses a substantial challenge.However,in recent years,the area of silicon photonics has experienced remarkable advancements ... The combining microelectronic devices and associated technologies onto a single silicon chip poses a substantial challenge.However,in recent years,the area of silicon photonics has experienced remarkable advancements and notable leaps in performance.The performance of silicon on insulator(SOI)based photonic devices,such as fast silicon optical modulators,photonic transceivers,optical filters,etc.,have been discussed.This would be a step forward in creating standalone silicon photonic devices,strengthening the possibility of single on-chip nanophotonic integrated circuits.Suppose an integrated silicon photonic chip is designed and fabricated.In that case,it might drastically modify these combined photonic component costs,power consumption,and size,bringing substantial,perhaps revolutionary,changes to the next-generation communications sector.Yet,the monolithic integration of photonic and electrical circuitry is a significant technological difficulty.A complicated set of factors must be carefully considered to determine which application will have the best chance of success employing silicon-based integrated product solutions.The processing limitations connected to the current process flow,the process generation(sometimes referred to as lithography node generation),and packaging requirements are a few of these factors to consider.This review highlights recent developments in integrated silicon photonic devices and their proven applications,including but not limited to photonic waveguides,photonic amplifiers and filters,onchip photonic transceivers,and the state-of-the-art of silicon photonic in multidimensional quantum systems.The investigated devices aim to expedite the transfer of silicon photonics from academia to industry by opening the next phase in on-chip silicon photonics and enabling the application of silicon photonic-based devices in various optical systems. 展开更多
关键词 Microelectronic PHOTONICS silicon chip Optical modulators Photonic transceivers Optical filters
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High-Q silica microdisk optical resonators with large wedge angles on a silicon chip 被引量:3
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作者 Guanyu Li Pei Liu +4 位作者 Xiaoshun Jiang Chao Yang Jiyang Ma Hongya Wu Min Xiao 《Photonics Research》 SCIE EI 2015年第5期279-282,共4页
We experimentally demonstrate high optical quality factor silica microdisk resonators on a silicon chip with large wedge angles by reactive ion etching. For 2-μm-thick microresonators, we have achieved wedge angles o... We experimentally demonstrate high optical quality factor silica microdisk resonators on a silicon chip with large wedge angles by reactive ion etching. For 2-μm-thick microresonators, we have achieved wedge angles of 59°, 63°,70°, and 79° with optical quality factors of 2.4 × 10~7, 8.1 × 10~6, 5.9 × 10~6, and 7.4 × 10~6, respectively, from ~80 μm diameter microresonators in the 1550 nm wavelength band. Also, for 1-μm-thick microresonators, we have obtained an optical quality factor of 7.3 × 10~6 with a wedge angle of 74°. 展开更多
关键词 TE high High-Q silica microdisk optical resonators with large wedge angles on a silicon chip mode
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三轴光纤陀螺用低损耗氮化硅光引擎芯片
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作者 魏千怀 郭军强 +7 位作者 屈帅彦 孟雅婷 哈倩颖 陈靓 刘海宽 郭芃 曾勇超 冯立辉 《半导体光电》 北大核心 2026年第1期88-99,共12页
在光纤陀螺小型化的探索中,集成光引擎芯片较高的插入损耗始终是限制其性能的关键问题。文章提出一种新型三轴光子集成陀螺光引擎芯片架构,引入片上偏振旋转器,实现波导中非工作模式向主模式转换,避免传统结构中因偏振选择引起的固有3 d... 在光纤陀螺小型化的探索中,集成光引擎芯片较高的插入损耗始终是限制其性能的关键问题。文章提出一种新型三轴光子集成陀螺光引擎芯片架构,引入片上偏振旋转器,实现波导中非工作模式向主模式转换,避免传统结构中因偏振选择引起的固有3 dB损耗。同时,芯片集成端面耦合器与多级分束器,实现与光源、敏感环及探测器阵列的高效耦合。基于Lumerical FDTD的仿真验证表明器件插入损耗小于−5 dB,偏振消光比大于19 dB,整体尺寸小于0.5 mm×0.9 mm。所设计的芯片展示了优异的低损耗性能,为高性能集成光纤陀螺的发展提供了新的解决方案。 展开更多
关键词 集成光学陀螺 集成光引擎芯片 氮化硅
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基于等离子体共振效应的Au-JSiNA SERS基底吗啡痕量检测装置
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作者 闫志伟 郝小辉 《分析测试学报》 北大核心 2026年第2期428-437,共10页
为解决传统Au/Ag颗粒SERS基底在吗啡检测中易团聚失活、信号均一性差和特异性不足的问题,该研究研制了基于Au修饰介孔硅纳米阵列(Au-JSiNA)的三维SERS检测装置,用于复杂基质中吗啡的快速识别与定量分析。装置由Au-JSiNA传感芯片与便携... 为解决传统Au/Ag颗粒SERS基底在吗啡检测中易团聚失活、信号均一性差和特异性不足的问题,该研究研制了基于Au修饰介孔硅纳米阵列(Au-JSiNA)的三维SERS检测装置,用于复杂基质中吗啡的快速识别与定量分析。装置由Au-JSiNA传感芯片与便携式拉曼单元组成,芯片经介孔阵列构建、金纳米层沉积及功能化修饰而成。性能测试显示,装置信号可增强约一个数量级,水溶液体系中的检出限达0.10 nmol/L(r^(2)=0.941),乙醇体系下检出限为0.13 nmol/L(r^(2)=0.948),可稳定识别吗啡在623、1 254、1 367和1 603 cm^(-1)处的特征峰,表现出稳定的灵敏检测能力;在尿液样本中的精密度与抗干扰性良好,加标回收率为91.8%~104%,与LC-MS/MS结果高度一致(r=0.987);该装置在血液样本中同样能够稳定识别特征峰,表现出良好的灵敏度与适用性。该装置兼具高灵敏度、良好重复性和抗干扰稳健性,为现场快速筛查提供了新型技术支撑,在医药安全、刑事侦查等领域具有重要实用价值。 展开更多
关键词 表面增强拉曼光谱(SERS) 吗啡检测 Au-JSiNA三维结构芯片 介孔硅纳米阵列 检测装置
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基于耦合谐振器光波导滤波器阵列的可重构微波光子信道化接收芯片仿真设计
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作者 范岩 李柳 +6 位作者 郭政俣 王浩然 熊子洋 邓皓 林曈 吕俊鹏 倪振华 《物理学报》 北大核心 2026年第1期260-270,共11页
为应对未来多变电磁环境对高频宽带信号处理的需求,突破传统电子器件的带宽限制,本文提出了一种基于硅基光电子集成平台的可重构微波光子信道化接收芯片.该芯片采用双级光学处理架构,前端级联马赫-曾德尔干涉型波分复用器实现粗粒度光... 为应对未来多变电磁环境对高频宽带信号处理的需求,突破传统电子器件的带宽限制,本文提出了一种基于硅基光电子集成平台的可重构微波光子信道化接收芯片.该芯片采用双级光学处理架构,前端级联马赫-曾德尔干涉型波分复用器实现粗粒度光谱划分,规避自由光谱范围严格对齐的复杂性;核心集成耦合谐振器光波导滤波器阵列作为可调谐带通滤波器,通过热调耦合系数动态重构带宽(2.25—3.12 GHz),其20 dB/3 dB形状因子达3.08,显著提升滚降特性.仿真验证表明:该系统支持8—28 GHz或8—36 GHz射频信号的信道化处理,分割为8个中频子带(1.4—3.6 GHz或2—5 GHz),聚合带宽覆盖X—K波段;并通过5 GHz带宽线性调频信号的接收和重构实验证实其宽带信号实时处理能力.该芯片的高集成度设计与带宽动态重构功能,为微波光子雷达、多频段射频系统等应用提供了软件定义解决方案,推动超宽带信号处理向多功能、低功耗方向发展. 展开更多
关键词 集成光学 信道化接收芯片 带宽可重构光滤波器 绝缘体上硅 耦合谐振器光波导
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晶棒磨面状态对硅片崩边行为的影响机制研究
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作者 贾永前 《新技术新工艺》 2026年第1期15-22,共8页
针对单晶硅方研磨中“黑亮”表面崩边风险高而“粗糙发白”表面崩边率低的反常现象,系统研究了表面损伤层对多线切割应力的响应机制。通过对比不同研磨工艺制备的硅方表面,结合SEM/TEM表征损伤层结构、纳米压痕测试力学梯度分布及切割... 针对单晶硅方研磨中“黑亮”表面崩边风险高而“粗糙发白”表面崩边率低的反常现象,系统研究了表面损伤层对多线切割应力的响应机制。通过对比不同研磨工艺制备的硅方表面,结合SEM/TEM表征损伤层结构、纳米压痕测试力学梯度分布及切割应力模拟实验,建立了表面-亚表面状态与崩边形貌的映射关系。结果表明,“粗糙发白”表面下5~8μm深的微裂纹网络可通过裂纹偏转与桥联效应有效耗散切割应力,显著抑制收刀崩边。据此提出“损伤层梯度研磨”工艺,将表面粗糙度控制在Ra(0.2~0.5)μm,光泽度控制在25≤GU≤40,使崩边率降低至0.35%以下。工业应用表明,该工艺使硅片综合良品率提升了0.9个百分点,年节约成本超2000万元,为大尺寸薄片化硅片制造提供了可推广的工艺方案。 展开更多
关键词 单晶硅 表面研磨 损伤层 薄片化 崩边 光泽度控制
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基于硅像素芯片Topmetal的束流定位探测器实验研究 被引量:1
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作者 刘军 高超嵩 +1 位作者 汪虎林 孙向明 《实验技术与管理》 北大核心 2025年第6期30-37,共8页
束流定位探测器可以用来监测加速器束流的位置、强度、束斑大小等信息,是粒子加速器中重要的组成部分。Topmetal是一种采用半导体CMOS工艺生产的硅像素芯片,具有噪声低、位置分辨率高等特点。该研究利用硅像素芯片Topmetal作为气体探测... 束流定位探测器可以用来监测加速器束流的位置、强度、束斑大小等信息,是粒子加速器中重要的组成部分。Topmetal是一种采用半导体CMOS工艺生产的硅像素芯片,具有噪声低、位置分辨率高等特点。该研究利用硅像素芯片Topmetal作为气体探测器的电荷收集电极设计了非阻挡式束流定位探测器。为了研究束流定位探测器的性能,设计了一套读出电子学系统,并利用^(241)Amα源和重离子束流进行了实验研究。实验结果表明,该电子学系统工作正常,探测器能够正常观察到粒子径迹。该实验研究为高位置分辨束流定位探测器提供了一种新的思路。 展开更多
关键词 硅像素芯片 Topmetal 束流定位探测器
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碳-硅异质集成ALU芯片的设计
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作者 郑彩萍 陈铖颖 +1 位作者 高鹰 陈隽毓 《厦门理工学院学报》 2026年第1期1-9,共9页
针对传统互补金属氧化物半导体(complementary metal oxide semiconductor,CMOS)工艺面临的性能瓶颈,设计出一款基于90 nm CNTFET与TSMC 90 nm CMOS工艺的碳-硅异质集成三维算术逻辑单元(arithmetic logic unit,ALU)芯片。该芯片采用3D... 针对传统互补金属氧化物半导体(complementary metal oxide semiconductor,CMOS)工艺面临的性能瓶颈,设计出一款基于90 nm CNTFET与TSMC 90 nm CMOS工艺的碳-硅异质集成三维算术逻辑单元(arithmetic logic unit,ALU)芯片。该芯片采用3D堆叠结构,上层使用90 nm CNTFET工艺提升关键路径速度与散热能力,下层采用TSMC 90 nm CMOS工艺以确保成本控制与工艺可行性;基于Cadence Integrity3DIC平台,实现该芯片的3D结构搭建,包括创建3D结构、bump设计和各个die的2D实现。实验结果表明,与纯碳基、纯硅基结构的ALU芯片相比,碳硅融合结构在散热和时序性能上均表现出优势,温度梯度较小,最高温度为53.24℃,最低温度为51.16℃,总延时为0.482 ns,时间裕度为4.382 ns。 展开更多
关键词 三维算术逻辑单元(ALU)芯片 三维集成电路(3DIC) 碳硅融合 异质集成 碳纳米管 Integrity_3DIC软件
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基于光子集成技术的热光相位调制特性研究
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作者 李翔 朱军 +6 位作者 汪辉 杨堃 梁修东 周程 余阳 赵聪 俞本立 《光子学报》 北大核心 2025年第7期62-71,共10页
基于内嵌有热光相位调制器的光子集成芯片,搭建了光纤干涉仪,实验研究分析了热光相位调制用于载波信号的可行性。分析了热光调制器相位变化量与驱动信号之间的传递函数,通过相位调制解调技术,分别测试了在正弦波、三角波和方波信号驱动... 基于内嵌有热光相位调制器的光子集成芯片,搭建了光纤干涉仪,实验研究分析了热光相位调制用于载波信号的可行性。分析了热光调制器相位变化量与驱动信号之间的传递函数,通过相位调制解调技术,分别测试了在正弦波、三角波和方波信号驱动下,热光调制器的相位响应特性。结果表明,热光相位调制器相位变化量与驱动信号之间呈现平方律关系,在特定条件下可呈现出正弦波、方波调制。热光调制器半波驱动电压幅度为1.22 V,在不同电压下的响应曲线与理论相比,拟合系数R2达0.999 5,响应时间为36μs,可实现10 kHz量级的载波信号,在低频信号传感领域中有应用价值。 展开更多
关键词 光子集成芯片 热光调制器 硅波导 光纤传感 载波调制
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纳秒激光对硅基底上的微纳颗粒的清洗研究 被引量:1
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作者 张雨阳 杨伟 +2 位作者 牛富增 谢仑靖 韩敬华 《激光与红外》 北大核心 2025年第9期1406-1413,共8页
激光清洗研究可以在航空航天和电子元件领域对微米甚至纳米的器件实现精确清洗,并有更加精确的控制。然而针对颗粒在激光清洗作用下不同尺寸的清洗机理以及温度变化情况研究较少。针对上述问题,本研究内容首先单利用激光器对硅表面氧化... 激光清洗研究可以在航空航天和电子元件领域对微米甚至纳米的器件实现精确清洗,并有更加精确的控制。然而针对颗粒在激光清洗作用下不同尺寸的清洗机理以及温度变化情况研究较少。针对上述问题,本研究内容首先单利用激光器对硅表面氧化铝微纳颗粒进行了清洗实验,然后根据理论分析和有限元仿真软件来分析激光在清洗时的温度变化和作用机理。结果表明,在能量为207mJ开始清洗,激光能量提升为激光能量为287mJ时,此时清洗的效果最好,在超过312mJ损伤基底;通过理论分析得到激光能量和颗粒半径都与清洗力成正比关系;颗粒越小,颗粒吸附的能力就越大,颗粒的形变程度也就越大,越难以清洗。这些结果证明了激光清洗硅片表面氧化铝颗粒的可行性和有效性,对于工业化激光清洗硅片表面氧化铝颗粒的参数选择具有重要参考意义。 展开更多
关键词 激光清洗 有限元模拟 温度分析 硅片 氧化铝颗粒
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三维集成压电与声光器件
11
作者 王梓霖 王喆垚 《压电与声光》 北大核心 2025年第1期1-19,共19页
压电与声光器件是组成电子和信息系统必不可少的功能器件。然而,多数压电与声光器件采用特殊材料和工艺制造,难以与硅基的集成电路进行集成,进而影响到系统的性能、体积和成本。近年来三维集成技术的发展为不同材料、不同工艺的压电与... 压电与声光器件是组成电子和信息系统必不可少的功能器件。然而,多数压电与声光器件采用特殊材料和工艺制造,难以与硅基的集成电路进行集成,进而影响到系统的性能、体积和成本。近年来三维集成技术的发展为不同材料、不同工艺的压电与声光器件与硅基电路芯片的异质异构集成开辟了新途径。该文介绍了三维集成的概念、分类和实现方法,并重点介绍了光电、压电材料与器件和硅基电路的异质异构集成方案和研究进展,特别是光子器件以及压电声学器件与电子芯片的集成。 展开更多
关键词 三维集成 压电器件 声光器件 硅芯片
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MOS管选通的硅通孔键合前测试
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作者 窦贤锐 梁华国 +3 位作者 黄正峰 鲁迎春 陈田 刘军 《电子与信息学报》 北大核心 2025年第9期3286-3291,共6页
在集成芯片的制造过程中,硅通孔(TSV)中可能会出现许多缺陷,这些缺陷会影响通过硅通孔信号的完整性,因此在早期生产阶段检测这些缺陷至关重要。现有的测试方法存在测试面积和时间开销大、测试精度低的问题。该文选择N型金属氧化物半导... 在集成芯片的制造过程中,硅通孔(TSV)中可能会出现许多缺陷,这些缺陷会影响通过硅通孔信号的完整性,因此在早期生产阶段检测这些缺陷至关重要。现有的测试方法存在测试面积和时间开销大、测试精度低的问题。该文选择N型金属氧化物半导体场效应管(NMOS)和P型金属氧化物半导体场效应管(PMOS)作为选通门,以减小共享测试的面积开销;采用两级电压比较器放大测试TSV和参考电容的电压差,可以检测大于等于50Ω的电阻性开路缺陷和小于等于9 MΩ的泄漏缺陷。与其他方案对比,该方案具有电阻性开路缺陷检测精度高、最小的测试面积和时间开销的优点。 展开更多
关键词 集成芯片 硅通孔 键合前测试 比较器
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大面积SiPM阵列混合模式读出电子学设计
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作者 何雷 赵修良 +2 位作者 黄跃峰 侯会良 安焜豪 《原子能科学技术》 北大核心 2025年第1期189-196,共8页
放射性物质的准确定位对于寻找“孤儿源”、核设施去污和退役、辐射防护最优化等至关重要。硅光电倍增管(silicon photomultiplier,Si PM)已广泛应用于闪烁体探测系统。为实现低成本大视野高分辨探测系统,通过测量ASIC(application spec... 放射性物质的准确定位对于寻找“孤儿源”、核设施去污和退役、辐射防护最优化等至关重要。硅光电倍增管(silicon photomultiplier,Si PM)已广泛应用于闪烁体探测系统。为实现低成本大视野高分辨探测系统,通过测量ASIC(application specific integrated circuit)芯片对输入信号的要求,仿真了电阻阻值与电阻网络输出信号上升时间之间的关系,设计了前置放大器用于适配ASIC芯片和电阻网络,利用电阻网络的信号通道压缩特性和ASIC芯片多路复用、高度集成等优点,设计验证了将两者优势相结合的混合模式读出电路。测试结果显示:读出电路RMS噪声约为2.73 m V,能准确测出^(241)Am点源的位置,定位正确率约90.87%。设计的混合模式读出电路将64路Si PM信号简化为4路,探测器输出信号通道数减少16倍,单个A5202模块能同时读出1024个Si PM单元,能极大降低大面积Si PM阵列读出的成本。 展开更多
关键词 硅光电倍增管 均衡电荷分配读出方法 ASIC芯片
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玻璃基板在芯片封装中的应用和性能要求 被引量:5
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作者 张兴治 田英良 +2 位作者 赵志永 张迅 王如志 《硅酸盐通报》 北大核心 2025年第2期707-716,共10页
玻璃基板凭借优异的高频电学性能、热稳定性和化学稳定性,有望成为先进封装技术中的关键材料。本文通过分析玻璃基板在封装过程中的作用与优势,探讨了玻璃基板在中介层、扇出型封装、微机电系统封装和集成天线封装等先进封装技术中的应... 玻璃基板凭借优异的高频电学性能、热稳定性和化学稳定性,有望成为先进封装技术中的关键材料。本文通过分析玻璃基板在封装过程中的作用与优势,探讨了玻璃基板在中介层、扇出型封装、微机电系统封装和集成天线封装等先进封装技术中的应用,总结了未来芯片封装用玻璃基板的常见成分体系及主要理化性能参数,并对玻璃基板未来的应用发展进行了展望。 展开更多
关键词 玻璃基板 芯片封装 玻璃通孔 硼硅玻璃 铝硅玻璃 无碱玻璃
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结合多通孔的超导接地共面波导传输线的仿真
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作者 刘星江 张梦凡 +9 位作者 张潮洁 杨天 袁本政 何昊冉 冯薛飞 查治国 刘佳宁 樊凯哲 王卫龙 穆清 《现代电子技术》 北大核心 2025年第22期1-7,共7页
在超导量子计算中,增加量子比特数量是提高量子计算机性能的有效途径之一。但是,随着量子比特数量的增加,单芯片上量子比特控制线的布线将变得十分困难。目前很有潜力的一个解决方法是在芯片上引入硅通孔结构,将量子比特和控制线分层布... 在超导量子计算中,增加量子比特数量是提高量子计算机性能的有效途径之一。但是,随着量子比特数量的增加,单芯片上量子比特控制线的布线将变得十分困难。目前很有潜力的一个解决方法是在芯片上引入硅通孔结构,将量子比特和控制线分层布局,由通孔实现组件间微波信号的传递。因此,对通孔传输模型开展研究,旨在实现超导量子电路不同层之间微波信号的垂直传输,为量子组件分层布局提供支撑。首先,通过微波传输理论分析了通孔的传输行为,设计了包含多种通孔的二维截面模型;然后,通过对不同通孔尺寸、形状及内外通孔间距的仿真实验,得到了多个阻抗匹配的多通孔截面模型。在此基础上,提出了结合特性阻抗(50Ω)的超导接地共面波导传输线的验证方案,实验结果表明,所设计的多通孔传输模型很好地实现了阻抗匹配,从而验证了该方法的有效性与可行性,为超导量子芯片多层架构中通孔模块设计提供了有效参考。 展开更多
关键词 超导量子计算 超导量子芯片 硅通孔 共面波导 阻抗匹配 传输线
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超导量子处理器集成工艺技术研究进展
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作者 栾添 刘鑫 +3 位作者 代志鹏 李泽东 王维 李成鑫 《微电子学》 北大核心 2025年第3期430-440,共11页
超导量子芯片因其与半导体工艺兼容性强,可扩展潜力大,易于操控、读取与耦合,现阶段被认为是最有希望实现可扩展通用量子计算机的技术路线之一。当前,随着超导量子技术的进一步发展,其在退相干时间、门保真度和中等规模扩展上均取得了... 超导量子芯片因其与半导体工艺兼容性强,可扩展潜力大,易于操控、读取与耦合,现阶段被认为是最有希望实现可扩展通用量子计算机的技术路线之一。当前,随着超导量子技术的进一步发展,其在退相干时间、门保真度和中等规模扩展上均取得了重要的突破。然而,随着芯片中集成的量子比特数目的不断增加,量子比特集成化技术成为未来重点的研究的重点。本文从超导量子芯片的集成工艺出发,主要分析倒装焊(Flip-chip)、硅通孔(TSV)和“3D”堆叠工艺在超导量子芯片上的研究进展,对工艺需要解决的主要技术瓶颈进行了分析,同时对未来发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 倒装焊 硅通孔 “3D”堆叠 芯片集成
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800 Gb/s 2×FR4硅光模块技术方案
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作者 孙君妍 王宁 +1 位作者 张博 陈宏刚 《光通信技术》 北大核心 2025年第4期8-13,共6页
为满足人工智能(AI)算力爆发对数据中心高速互连的迫切需求,提出一种800 Gb/s 2×FR4硅光模块技术方案。介绍了该光模块的组成单元,通过采用集成多路复用器(MUX)的硅光调制器芯片、氮化硅波导级联马赫-曾德尔干涉仪(MZI)复用结构和... 为满足人工智能(AI)算力爆发对数据中心高速互连的迫切需求,提出一种800 Gb/s 2×FR4硅光模块技术方案。介绍了该光模块的组成单元,通过采用集成多路复用器(MUX)的硅光调制器芯片、氮化硅波导级联马赫-曾德尔干涉仪(MZI)复用结构和行波电极设计,实现8×100 Gb/s四电平脉冲幅度调制(PAM4)信号的高效调制与复用。测试结果表明:硅光芯片的3 dB带宽大于30 GHz,损耗约为-9~-12 dB,光模块的各项指标均达到了协议的规定,性能优异。 展开更多
关键词 硅光芯片 波分复用 800 Gb/s硅光模块 数据中心
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基于芯粒架构的通信拓扑结构研究:进展与挑战
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作者 张佳帅 杨柳青 +3 位作者 付琦麟 程慧武 邵翠萍 李慧云 《集成技术》 2025年第3期1-23,共23页
基于芯粒(Chiplet)的多芯片集成设计为超越传统系统级芯片的单片集成提供了一种灵活且可扩展的解决方案。然而,Chiplet间的通信已成为制约多芯片集成系统整体性能的瓶颈之一。在此背景下,中介层上网络(network on interposer,NoI)在多... 基于芯粒(Chiplet)的多芯片集成设计为超越传统系统级芯片的单片集成提供了一种灵活且可扩展的解决方案。然而,Chiplet间的通信已成为制约多芯片集成系统整体性能的瓶颈之一。在此背景下,中介层上网络(network on interposer,NoI)在多芯片系统中发挥着至关重要的作用,直接影响多芯片集成系统的性能和开发成本。本文综述了基于Chiplet的NoI通信拓扑结构,深入探讨了当前Chiplet间通信架构的设计和实现方法,涵盖了从协议层、接口层到应用层的完整通信过程,不仅基于互连拓扑的形状进行了分类,还对每个类别进行了详细分析和交叉比较。此外,本文还探讨了芯片间通信技术的未来发展方向,强调了技术挑战和潜在解决方案,并重点分析总结了基于工作负载导向的可重用中介层和拓扑设计的重要性,旨在为研究人员梳理NoI技术现状并展望NoI技术的未来发展趋势。 展开更多
关键词 芯粒 拓扑 硅中介层 中介层上网络 片上网络
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嵌入硅桥芯片的高密度有机基板制备与性能
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作者 姚昕 张爱兵 李轶楠 《半导体技术》 北大核心 2025年第7期730-739,共10页
基于硅桥芯片互连的异构集成技术可以有效提升芯粒间局域互连密度,满足高性能计算对芯粒间高密度互连日益增长的需求。针对亿门级现场可编程门阵列(FPGA)电路多芯粒间短距离的互连传输需求,通过生长超高铜柱与嵌入硅桥芯片的有机基板实... 基于硅桥芯片互连的异构集成技术可以有效提升芯粒间局域互连密度,满足高性能计算对芯粒间高密度互连日益增长的需求。针对亿门级现场可编程门阵列(FPGA)电路多芯粒间短距离的互连传输需求,通过生长超高铜柱与嵌入硅桥芯片的有机基板实现芯粒间高密度互连,规避了传统硅桥芯片嵌埋基板中深腔嵌埋的工艺风险,满足多芯粒高速互连需求的同时提高了系统集成的互连可靠性。深入研究了嵌入硅桥芯片的高密度有机基板的制备与集成技术。测试结果表明,亿门级FPGA电路性能及参数指标满足要求,参照GJB 548C、GB/T 4937等标准进行环境考核试验,电路无分层、失效等异常,验证了该嵌入式基板具备良好的电气及机械性能。该技术可显著提升高密度封装系统的集成度与可靠性,为其在5G通信、高性能计算等领域的应用提供参考。 展开更多
关键词 硅桥芯片 局域互连 高密度有机基板 嵌入式基板 芯粒 异构集成
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三轴光纤陀螺集成氮化硅光波导芯片光路设计及仿真(特邀)
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作者 李岩 张进 +5 位作者 段启航 栗旭阳 陈祖新 俞兵 韩军 梁海锋 《光子学报》 北大核心 2025年第11期108-121,共14页
针对传统光纤陀螺的固有问题和进一步小型化的发展需求,提出一种以氮化硅光波导集成光子芯片替代传统三轴光纤陀螺光路传输部分分立元件的设计方案。以基模传输为约束条件,确定了氮化硅光波导的设计尺寸,并分别对光波导与光纤的耦合、1&... 针对传统光纤陀螺的固有问题和进一步小型化的发展需求,提出一种以氮化硅光波导集成光子芯片替代传统三轴光纤陀螺光路传输部分分立元件的设计方案。以基模传输为约束条件,确定了氮化硅光波导的设计尺寸,并分别对光波导与光纤的耦合、1×3多模干涉耦合器、波导弯曲半径和2×2定向耦合器进行了仿真建模和计算,确定了各器件的设计参数和加工误差范围,获得了尺寸为7.8 mm×5 mm的光波导芯片总体设计方案。该研究结果为光纤陀螺多轴一体化集成光学芯片的发展提供了理论基础。 展开更多
关键词 三轴光纤陀螺 光波导芯片 耦合器 模斑转换器 氮化硅
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