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Wear-resist Electrodes for Micro-EDM
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作者 王元刚 赵福令 王津 《Chinese Journal of Aeronautics》 SCIE EI CAS CSCD 2009年第3期339-342,共4页
This article proposes a new type of electrode for micro-electro-discharge machining (micro-EDM) , which can produce ultra fine micro components from various kinds of materials including those that cannot be processed ... This article proposes a new type of electrode for micro-electro-discharge machining (micro-EDM) , which can produce ultra fine micro components from various kinds of materials including those that cannot be processed by the silicon or the Litho-graphie Galvanoformung Abformung (LIGA) processings. This electrode is made by way of the electrodeposition process on the basis of the difference between the discharging performance of the electrodeposited coating and that of the matrix to ensure uniform wear of ele... 展开更多
关键词 MICROELECTRODES WEAR compensation ELECTRODEPOSITION composite coating electrode micro-edm
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脉冲参数主动匹配式micro-EDM脉冲电源 被引量:2
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作者 孙术发 刘美爽 狄士春 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第7期118-122,共5页
为了提高微细电火花加工(micro-EDM)效率,设计了一种脉冲参数主动匹配式micro-EDM脉冲电源.采用等能量加工的方法,对不同的脉冲匹配参数进行加工效率对比实验,设计了脉冲参数主动匹配式脉冲电源的结构、功能和控制策略,并进行了加工实... 为了提高微细电火花加工(micro-EDM)效率,设计了一种脉冲参数主动匹配式micro-EDM脉冲电源.采用等能量加工的方法,对不同的脉冲匹配参数进行加工效率对比实验,设计了脉冲参数主动匹配式脉冲电源的结构、功能和控制策略,并进行了加工实验验证.结果表明:选定合适的脉宽和脉间参数,使极间电容单次充电和单次放电,可获得最高的加工效率;该电源脉冲参数可根据极间电压和极间电容的大小自动调整;进行微小孔加工,加工连续性较好,加工效率和加工质量较高.利用该电源可进行微细加工,加工效率较传统电源有显著的提升,并能保证较高的加工质量. 展开更多
关键词 主动匹配式 微细电火花加工 脉冲电源 脉冲参数 加工效率
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主动匹配式micro-EDM脉冲电源设计与实验 被引量:1
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作者 孙术发 刘美爽 +3 位作者 狄士春 沈微 安立华 葛安华 《哈尔滨工程大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第8期1080-1085,共6页
为了提高微细电火花加工(micro-EDM)效率,设计了一种脉冲参数主动匹配式micro-EDM脉冲电源。采用主动匹配式脉冲发生电路实现脉冲参数根据极间电容充放电情况自动匹配,通过实验,对电源的加工效率、加工质量和低电压加工情况进行了分析... 为了提高微细电火花加工(micro-EDM)效率,设计了一种脉冲参数主动匹配式micro-EDM脉冲电源。采用主动匹配式脉冲发生电路实现脉冲参数根据极间电容充放电情况自动匹配,通过实验,对电源的加工效率、加工质量和低电压加工情况进行了分析。结果表明:采用该电源可以实现在单个脉冲周期内,极间电容单次充电、单次放电;与常规晶体管脉冲电源比较,该电源可以提高加工效率,加工表面变质层无裂纹、凹坑均匀、加工质量较高;可以实现24 V低电压加工,加工后的微孔圆度和精度较高。该电源具有提高微细电火花加工效率,保证较高加工质量的作用。 展开更多
关键词 主动匹配 微细电火花加工 脉冲电源 加工效率 加工质量
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Influence of high frequency pulse on electrode wear in micro-EDM 被引量:3
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作者 Xiao-peng LI Yuan-gang WANG +2 位作者 Fu-ling ZHAO Meng-hua WU Yu LIU 《Defence Technology(防务技术)》 SCIE EI CAS 2014年第3期316-320,共5页
An electromagnetic coupling mathematical model is established by finite element method and is verified by the contrastive experiments of copper matrix Ni-TiN cylindrical coating electrode,copper electrode and Cu50 W e... An electromagnetic coupling mathematical model is established by finite element method and is verified by the contrastive experiments of copper matrix Ni-TiN cylindrical coating electrode,copper electrode and Cu50 W electrode.The wear mechanism of Ni-TiN/Cu composite electrode in the case of high-frequency pulse current is studied,and the influence of the fluctuation frequency of discharge current on electrode wear in micro-EDM is found out.Compared with the electrode made from homogeneous material,the high frequency electromagnetic properties of Ni-TiN composite layer can be used effectively to inhibit the effect of high frequency pulse on the electrode and improve the distribution trend of current density. 展开更多
关键词 HIGH-FREQUENCY PULSE ELECTROMAGNETIC coupling model NieTiN/Cu composite ELECTRODE ELECTRODE WEAR micro-edm
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High-efficiency Approach for Fabricating MTE Rotor by Micro-EDM and Micro-extrusion 被引量:2
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作者 GENG Xuesong CHI Guanxin +1 位作者 WANG Yukui WANG Zhenlong 《Chinese Journal of Mechanical Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第4期830-835,共6页
Micro-gas turbine engine(MTE) rotor is an important indicator of its property, therefore, the manufacturing technology of the microminiature rotor has become a hot area of research at home and abroad. At present, th... Micro-gas turbine engine(MTE) rotor is an important indicator of its property, therefore, the manufacturing technology of the microminiature rotor has become a hot area of research at home and abroad. At present, the main manufacturing technologies of the MTE rotor are directed forming fabrication technologies. However, these technologies have a series of problems, such as complex processing technology high manufacturing cost, and low processing efficiency, and so on. This paper takes advantage of micro electric discharge machining(micro-EDM) in the field of microminiature molds manufacturing, organizes many processing technologies of micro-EDM reasonably to improve processing accuracy, presents an integrated micro-EDM technology and its process flow to fabricate MTE rotor die, and conducts a series of experiments to verify efficiency of this integrated micro-EDM. The experiments results show that the MTE rotor die has sharp outline and ensure the good consistency of MTE rotor blades. Meanwhile, the MTE rotor die is applied to micro extrusion equipment, and technologies of micro-EDM and micro forming machining are combined based on the idea of the molds manufacturing, so the MTE rotor with higher aspect ratio and better consistency of blades can be manufactured efficiently. This research presents an integrated micro-EDM technology and its process flow, which promotes the practical process of MTE effectively. 展开更多
关键词 integrated micro-edm micro extrusion MTE rotor EFFICIENCY CONSISTENCY
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Micro-EDM Milling of Complex 3D Structure with Fix-Length Compensation Method
6
作者 董颖怀 《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》 SCIE EI CAS 2009年第S1期241-243,共3页
A human face with complex 3D structure is machined with a modified fix-length compensation method in this paper.The fast development of MEMS (Micro Electromechanical Systems) has strongly enhanced the application of n... A human face with complex 3D structure is machined with a modified fix-length compensation method in this paper.The fast development of MEMS (Micro Electromechanical Systems) has strongly enhanced the application of new harder work materials.As a low cost,flexible,good repeatable machining process with negligible process forces,micro-EDM milling is well suited for freeform metallic micro structures.A major problem in micro-EDM milling of complex 3D structure is the electrode wear.A new CAM system based on the UG software platform is developed in order to get good accuracy and higher efficiency.A correction coefficient is introduced and deduced for the modified fix-length compensation method.Using this method a human face with complex 3D stricter is machined successfully by micro-EDM milling. 展开更多
关键词 micro-edm milling COMPENSATION CAM
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Research on Micro-EDM with Electrodes by LIGA Technique
7
作者 PENG Liang-qiang YI Fu-ting +4 位作者 ZHANG Yuan-chun ZOU Li-yun LI Yong ZHANG Ju-fang HAN Yong 《Beijing Synchrotron Radiation Facility》 2001年第2期115-116,共2页
A new micromachining method of Micro-EDM with electrodes by LIGA technique is introduced in this paper.The polymer structures of PMMA resist with thickness 2 mm and aspect ratio 100 have been obtained by deep exposure... A new micromachining method of Micro-EDM with electrodes by LIGA technique is introduced in this paper.The polymer structures of PMMA resist with thickness 2 mm and aspect ratio 100 have been obtained by deep exposure tosynchrotron radiation and development.Copper electrodes for Micro-EDM with thickness I mm have been made by electro-depositing copper into polymer structures.The patterned structures of stainless steel have been successfully fabricated basedon micro electro discharge machining with electrodes by LIGA technique. 展开更多
关键词 MICROMACHINING L.IGA technique micro-edm
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三维叠层微电极微细电火花加工微结构及其间隙流场仿真分析
8
作者 沈昊天 雷建国 +2 位作者 程蓉 伍晓宇 王金金 《电加工与模具》 北大核心 2025年第6期6-11,共6页
针对微柱状电极逐层扫描放电加工电极横截面尺寸微小、抗干扰能力较差的问题,提出一种电火花线切割与热扩散焊组合制备三维叠层微电极方法。通过建立三维叠层微电极间隙流场仿真模型,研究三维叠层微电极回退距离和移动速度对加工屑排出... 针对微柱状电极逐层扫描放电加工电极横截面尺寸微小、抗干扰能力较差的问题,提出一种电火花线切割与热扩散焊组合制备三维叠层微电极方法。通过建立三维叠层微电极间隙流场仿真模型,研究三维叠层微电极回退距离和移动速度对加工屑排出的影响,以及队列电极中电极数量对微结构加工精度的影响。结果表明:当电极回退距离大于微型腔深度且移动速度为2 mm/s时,有利于加工屑排出且提高了加工过程的稳定性。基于优化参数,采用包含3个微电极组成的队列电极在304不锈钢表面进行粗/精加工,获得形貌良好的三维微结构,最大尺寸误差为12μm,深度误差在4μm以内。 展开更多
关键词 微细电火花加工 三维叠层微电极 微结构 间隙流场仿真
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微冲裁对复杂截面形状落料件平面度影响的研究
9
作者 郑吉鹏 刘云浩 +2 位作者 杨君峰 张荣华 余祖元 《电加工与模具》 北大核心 2025年第2期79-86,共8页
针对平底面凸模冲裁复杂截面形状落料件时常见的平面度差的问题,首先利用非接触式轮廓仪和微冲裁设备采集的实验数据建立有限元仿真模型,分析304不锈钢和3J21合金两种材料落料件残余Mises应力分布与仿真平面度的关系;接着,为降低3J21合... 针对平底面凸模冲裁复杂截面形状落料件时常见的平面度差的问题,首先利用非接触式轮廓仪和微冲裁设备采集的实验数据建立有限元仿真模型,分析304不锈钢和3J21合金两种材料落料件残余Mises应力分布与仿真平面度的关系;接着,为降低3J21合金落料件的平面度,依据落料件残余Mises应力分布与仿真平面度的关系,采用有限元方法设计非平底面凸模;最后,基于微细电火花加工技术在线制备了非平底面凸模的微模具,得到微小落料件平面度为5.48 μm,相比于平底面凸模冲裁的微小落料件平面度减少15.95 μm。结果表明,非平底面凸模冲裁使落料件表面残余Mises应力分布均匀,且改善了落料件的平面度。 展开更多
关键词 微冲裁 有限元仿真 微细电火花加工 平面度 非平底面凸模
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微槽微细电火花加工参数优化及分层铣削工艺研究
10
作者 张晓冬 董思均 +2 位作者 王力泽 李一全 于朋 《电加工与模具》 北大核心 2025年第6期12-17,共6页
微细电火花加工由于不受加工材料硬度的限制而被广泛应用于微结构加工中,为提高加工质量并在一定程度上降低电极长度损耗,以微槽微细电火花一次性加工过程中所需时间和电极长度损耗为优化目标,通过响应曲面法优化加工工艺参数。研究结... 微细电火花加工由于不受加工材料硬度的限制而被广泛应用于微结构加工中,为提高加工质量并在一定程度上降低电极长度损耗,以微槽微细电火花一次性加工过程中所需时间和电极长度损耗为优化目标,通过响应曲面法优化加工工艺参数。研究结果表明:当加工工艺参数设置为峰值电流I_(p)=12 A、峰值电压U_(p)=90 V、脉冲频率f_(p)=130 kHz时,加工时间和电极长度损耗得到有效优化。为进一步比较一次性加工和分层铣削加工的性能和质量,在优化参数组合下对比一次性加工和不同分层层数铣削加工后的微槽质量。试验结果表明:分层铣削加工的微槽深度和宽度一致性明显优于一次性加工,且随着分层层数的增加,加工时间有所增加、但电极长度损耗明显减小,由此可说明分层铣削加工能有效提高加工性能与加工质量。 展开更多
关键词 微细电火花加工 电极长度损耗 响应曲面法 分层铣削加工
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基于UMAC控制器的深微孔电火花加工伺服控制策略研究
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作者 李赞 王燕青 +4 位作者 贾建宇 吕明 杨胜强 沈兴全 白基成 《电加工与模具》 北大核心 2025年第5期15-21,共7页
为提高电火花加工深微孔的加工效率及减少短路状态,需对进给运动进行伺服控制。设计了基于UMAC控制器的伺服控制系统,提出了基于多项式函数约束的速度调控策略。伺服控制系统采用平均间隙电压检测法以适应多种脉冲电源模式,利用压频转... 为提高电火花加工深微孔的加工效率及减少短路状态,需对进给运动进行伺服控制。设计了基于UMAC控制器的伺服控制系统,提出了基于多项式函数约束的速度调控策略。伺服控制系统采用平均间隙电压检测法以适应多种脉冲电源模式,利用压频转换和差分转换电路将平均间隙电压转换成差分形式的频率信号,并通过设置阈值区分极间状态。以频率值为输入、进给速度为输出制定了多项式函数的速度调控策略。试验结果表明,较高的函数阶数可使短路状态占比下降,放电状态占比增多。该伺服控制策略可适应微细电火花加工,且对进给速度的调控作用明显。 展开更多
关键词 电火花加工 伺服控制策略 深微孔 多项式函数 UMAC
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超声辅助电火花电极运动流场仿真研究
12
作者 刘雪峰 张波 +2 位作者 刘彪 刘一 刘亭剑 《航天制造技术》 2025年第4期58-64,共7页
针对传统电火花加工(EDM)微小孔过程孔内工作液流速较低,放电碎屑堆积在孔内难以排出,频繁发生二次放电导致加工精度下降、加工成本增加的问题,提出一种基于超声运动辅助控制电极的方法。该方法通过控制电极做超声平面二维圆周运动,利... 针对传统电火花加工(EDM)微小孔过程孔内工作液流速较低,放电碎屑堆积在孔内难以排出,频繁发生二次放电导致加工精度下降、加工成本增加的问题,提出一种基于超声运动辅助控制电极的方法。该方法通过控制电极做超声平面二维圆周运动,利用高频振动提高工作液流速,增大侧面间隙加快碎屑排出,改善了频发二次放电导致电极损耗过大的问题。通过建立流场仿真模型,从微小孔间隙工作液流场流速和孔内放电碎屑排出两个方面分析了超声运动对工作液流场分布的影响。仿真分析表明超声运动提高了流场流速,减少了碎屑排出孔内的时间。同时,进行了不同电极运动方式对比试验。试验结果进一步验证了该电极运动方式对电火花微小孔加工过程减小电极损耗的积极影响。 展开更多
关键词 微细电火花 电极运动方式 超声平面二维圆周运动 流场仿真
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微细电火花机床及其关键技术研究 被引量:19
13
作者 贾宝贤 赵万生 +1 位作者 王振龙 胡富强 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期402-405,共4页
为了将电火花加工技术应用到微机械制造中,分析了微细电火花加工中的关键技术,开发了微细电火花加工机床.该机床由精密进给装置、主轴、线电极磨削装置、微细电火花加工电源、花岗石工作台、伺服控制系统等构成.该机床具有三轴联动... 为了将电火花加工技术应用到微机械制造中,分析了微细电火花加工中的关键技术,开发了微细电火花加工机床.该机床由精密进给装置、主轴、线电极磨削装置、微细电火花加工电源、花岗石工作台、伺服控制系统等构成.该机床具有三轴联动数控功能,各轴的进给分辨率均为0.1μm.主轴的回转跳动〈1μm,转速为1000-25000r/min,可以连续变速.该机床小到可以放在一张桌面上.在这台机床上进行了初步工艺实验,稳定地加工出了直径〈15μm的微细轴和25μm的微细孔,还加工出了微三维结构. 展开更多
关键词 微细电火花加工 微细轴 微细孔 微三维结构 机床
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微细电火花加工技术的研究进展 被引量:26
14
作者 王振龙 赵万生 +1 位作者 狄士春 迟关心 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第10期894-898,共5页
研究和综述了微细电火花加工技术的研究现状和发展趋势。比较分析了常用微细加工与微细电火花加工方法的特点及应用 ,论述了线电极电火花磨削技术的原理及在微细加工中的作用。结合电火花加工过程中无宏观作用力的特点 ,论述了微细电火... 研究和综述了微细电火花加工技术的研究现状和发展趋势。比较分析了常用微细加工与微细电火花加工方法的特点及应用 ,论述了线电极电火花磨削技术的原理及在微细加工中的作用。结合电火花加工过程中无宏观作用力的特点 ,论述了微细电火花加工装置微小型化的可行性和几种主要形式。 展开更多
关键词 微细加工 微细电火花加工 微型装置
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微细电火花加工系统及其工艺技术 被引量:15
15
作者 张勇 赵航 +2 位作者 张广玉 王振龙 赵万生 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期526-530,共5页
开发了一套微细电火花加工系统,该系统不仅能加工微细轴、微细孔,还能实现微三维结构的微细电火花加工。研究了针对该系统的微细电火花加工工艺技术,研究了放电电压、放电电容等工艺参数,主轴转速,以及工作液介质对微细电火花加工效率... 开发了一套微细电火花加工系统,该系统不仅能加工微细轴、微细孔,还能实现微三维结构的微细电火花加工。研究了针对该系统的微细电火花加工工艺技术,研究了放电电压、放电电容等工艺参数,主轴转速,以及工作液介质对微细电火花加工效率、相对电极损耗率的影响规律。采用旋转削边电极技术大大提高了进行大深径比微细孔加工时的加工效率。进行了大量的加工实验,加工出了最小直径为6μm的微细轴以及最小直径为10μm的微细孔;通过对电极损耗的在线补偿策略研究,实现了微三维结构的加工,加工出了外径为4mm、具有24个叶片的微型涡轮盘及具有微三维结构的微细梁,充分证实了该系统的广泛适用性。 展开更多
关键词 微细电火花加工 微细轴 微细孔 微三维结构
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微细电火花加工装置关键技术研究 被引量:15
16
作者 张勇 王振龙 +4 位作者 李志勇 杨洋 贾宝贤 胡富强 赵万生 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第9期175-179,共5页
围绕微细点火花加工的关键技术,开发出了具有4轴3联动的微细电火花加工装置。阐述了利用该装置实现微细电火花加工的关键技术和实现途径。包括微能脉冲电源的设计实现;通过选择适当的伺服控制策略,解决了伺服机构在小位移进给时所存在... 围绕微细点火花加工的关键技术,开发出了具有4轴3联动的微细电火花加工装置。阐述了利用该装置实现微细电火花加工的关键技术和实现途径。包括微能脉冲电源的设计实现;通过选择适当的伺服控制策略,解决了伺服机构在小位移进给时所存在的爬行问题:探索了微细电极的在线制作与检测方法,并分析了在线检测方法存在的误差。在该装置上进行了大量的加工试验,试验已加工出最小直径为12μm的微细轴和25μm的微细孔,并实现了具有空间自由曲面的,大小为1 mm×0.3 mm×0.18 mm微脸谱雕塑的加工。 展开更多
关键词 微细电火花加工 微能脉冲电源 伺服控制策略 电极在线制作与检测 微三维结构
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基于分层制造原理的微细电火花加工技术研究 被引量:26
17
作者 王振龙 赵万生 刘光壮 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第2期22-26,共5页
结合快速原型制造中的分层制造概念及电火花加工中的电极等损耗概念,提出了利用简单形状电极的基于分层制造原理的微细电火花加工技术。系统地研究了该方法的基本原理与实现方案,就加工中的电极损耗及其补偿策略、电极运动轨迹的规划... 结合快速原型制造中的分层制造概念及电火花加工中的电极等损耗概念,提出了利用简单形状电极的基于分层制造原理的微细电火花加工技术。系统地研究了该方法的基本原理与实现方案,就加工中的电极损耗及其补偿策略、电极运动轨迹的规划等关键技术进行了深入的研究,并用该方法制作出了具有40管脚的集成电路芯片插座模具及三维曲面。试验表明:该方法具有加工范围广、加工精度高和加工成本低等特点,具有良好的应用潜力。 展开更多
关键词 分层制造 微细电火花加工 补偿 电极损耗
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钛合金深小孔的微细超声电火花加工技术 被引量:19
18
作者 王振龙 迟关心 +1 位作者 狄士春 赵万生 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第4期346-349,共4页
本文分析了钛合金深小孔加工的技术难点 ,研究了超声振动在深小孔电火花加工中的作用机理 ,并据此研制出了四轴联动微细超声电火花加工机床。在所研制的机床上 ,成功地在 TC4钛合金上加工出了直径为 Φ0 .2 mm,深径比为 1 5的深小孔。
关键词 钛合金 深小孔 超声振动 微细电火花加工
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微细电火花加工的微细电极在线检测 被引量:10
19
作者 郭锐 赵万生 +2 位作者 李刚 李志勇 张勇 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期998-1003,共6页
设计了微细电极在线检测系统。系统由卤素灯光源、变焦显微镜头、CCD摄像机和6自由度支架组成,具有1.61μm的分辨率和113-729的放大率。在Linux平台下,基于V4L2API开发了图像采集程序,使用mmap()内存映射方法获取图像数据。实现了... 设计了微细电极在线检测系统。系统由卤素灯光源、变焦显微镜头、CCD摄像机和6自由度支架组成,具有1.61μm的分辨率和113-729的放大率。在Linux平台下,基于V4L2API开发了图像采集程序,使用mmap()内存映射方法获取图像数据。实现了IplImage数据结构和QImage类的转换,使图像既可以基于OpenCV进行处理,又可以基于Qt进行显示,通过Canny边缘检测算法提取了微细电极的边缘轮廓。实现了电极在线观测的G代码功能,进行了块状电极电火花磨削微细轴的实验。实验结果表明系统可以在线观察电极状态和在线测量电极尺寸,在线测量值与扫描电镜离线测量值的相对误差在5%以内,解决了微细电火花加工的微细电极在线制造和检测等难题。 展开更多
关键词 微细电火花加工 电极 在线检测
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微细电火花加工中微细电极的制作与检测技术研究 被引量:9
20
作者 张勇 王振龙 +3 位作者 胡富强 贾宝贤 李志勇 赵万生 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2004年第8期96-98,101,共4页
分析了微细电火花加工技术中各种微细电极制作方法的特点 ,提出了一种加工效率与尺寸精度相兼顾的微细电极在线制作方法。充分利用微细电火花加工机床的数控和接触感知功能 ,探索并提出了一种微细电极的在线检测方法 ,并对检测误差进行... 分析了微细电火花加工技术中各种微细电极制作方法的特点 ,提出了一种加工效率与尺寸精度相兼顾的微细电极在线制作方法。充分利用微细电火花加工机床的数控和接触感知功能 ,探索并提出了一种微细电极的在线检测方法 ,并对检测误差进行了分析。实验表明 ,该方法具有广泛的实用性。 展开更多
关键词 微细电火花加工 微细电极 制作 检测 尺寸精度
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