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北京遥测技术研究所MEMS工程中心
1
《遥测遥控》 2025年第1期F0003-F0003,共1页
北京遥测技术研究所MEMS工程中心位于北京市丰台区东高地四营门北路2号院,中心洁净厂房总面积约1 700 m2,是集设计、制造于一体的MEMS传感器产业基地及MEMS技术创新平台。中心根据产品生产需求和先进的工艺设计加工理念,建立了薄膜压力... 北京遥测技术研究所MEMS工程中心位于北京市丰台区东高地四营门北路2号院,中心洁净厂房总面积约1 700 m2,是集设计、制造于一体的MEMS传感器产业基地及MEMS技术创新平台。中心根据产品生产需求和先进的工艺设计加工理念,建立了薄膜压力传感器及石英角速率传感器两条批量产品生产线。经过多年来的发展,还建立了碳化硅高温压力传感器、谐振式高精度压力传感器、石英振梁加速度传感器、硅微压力传感器、射频微同轴MEMS器件等先进产品研试线。 展开更多
关键词 薄膜压力传感器 遥测技术 高温压力传感器 加速度传感器 mems传感器 mems器件 mems技术 洁净厂房
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MEMS技术的研究现状和新进展 被引量：11
2
作者 张帅 贾育秦 《现代制造工程》 CSCD 2005年第9期109-112,共4页
介绍MEMS技术几个主要方面的研究现状和最新进展:MEMS的加工技术、封装技术、检测技术。阐述MEMS技术仍面临的问题。
关键词 mems mems加工技术 mems封装技术 mems检测技术
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典型MEMS和可穿戴传感技术的新发展 被引量：19
3
作者 赵正平 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2015年第1期1-13,共13页
MEMS技术经过20多年的发展已进入移动网络时代的发展阶段。从该发展阶段的典型MEMS器件入手,能够从多种MEMS器件的发展中提取出MEMS发展技术路线。介绍了包含MEMS加速度计、MEMS陀螺仪、MEMS惯性测量单元(IMU)、MEMS麦克风和RF MEMS等... MEMS技术经过20多年的发展已进入移动网络时代的发展阶段。从该发展阶段的典型MEMS器件入手,能够从多种MEMS器件的发展中提取出MEMS发展技术路线。介绍了包含MEMS加速度计、MEMS陀螺仪、MEMS惯性测量单元(IMU)、MEMS麦克风和RF MEMS等新发展阶段的典型MEMS器件近两年的新进展,同时介绍了在设计、工艺、新原理、新材料和新电路结构等方面新的进步或创新,并评估了MEMS技术发展的趋势。同时也对MEMS的集成创新,即可穿戴传感技术的近期发展,按照其获取信息的分类(活动、生理和环境)进行了综述。 展开更多
关键词 mems加速度计 mems陀螺仪 惯性测量单元(IMU) RF mems 可穿戴传感 mems麦克风
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静电MEMS微镜垂直梳齿驱动器的设计
4
作者 吴云 彭安杰 +6 位作者 郑岩 张建祥 王雅昕 贺盈波 陈真 华宝成 乔大勇 《仪表技术与传感器》 北大核心 2025年第9期41-46,共6页
垂直梳齿驱动的静电MEMS微镜在实现对光束的准静态和矢量偏转中具有显著优势,受到包括激光雷达、光通信、激光显示以及生物断层检测等应用领域的广泛关注。为了对垂直梳齿驱动器的性能进行优化,文中通过建立交错垂直梳齿(SVC)驱动的静电... 垂直梳齿驱动的静电MEMS微镜在实现对光束的准静态和矢量偏转中具有显著优势,受到包括激光雷达、光通信、激光显示以及生物断层检测等应用领域的广泛关注。为了对垂直梳齿驱动器的性能进行优化,文中通过建立交错垂直梳齿(SVC)驱动的静电MEMS微镜的理论模型,研究了可动梳齿和固定梳齿的交叠高度对静电MEMS微镜的静态偏转角度与两驱动电极压差的关系及其线性度的影响。理论结果表明:相同驱动压差下,SVC驱动的静电MEMS微镜静态偏转角度随着梳齿交叠高度的增大而减小,而静态偏转角度与两驱动电极压差的线性度随着梳齿交叠高度的增大先增大后减小,因此可以通过调节梳齿的交叠高度来优化静电MEMS微镜的最大静态偏转角度以及偏转角度与驱动压差的线性度,为静电MEMS微镜垂直梳齿驱动器的设计和参数优化提供参考。 展开更多
关键词 静电mems微镜 垂直梳齿 交叠高度 偏转角度 参数优化
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基于SOI-MEMS工艺的新型电容式三轴MEMS加速度计
5
作者 钟恺韬 韩国威 +1 位作者 赵永梅 宁瑾 《微纳电子技术》 2025年第10期85-94,共10页
设计了一种新型的电容式三轴微机电系统(MEMS)加速度计,该加速度计使用单器件内分立三个质量块方案实现三轴检测。提出了该加速度计基本构型与弹簧梁结构,并在结构中加入自检测与限位防撞结构。通过仿真软件对所设计器件的谐振频率与电... 设计了一种新型的电容式三轴微机电系统(MEMS)加速度计,该加速度计使用单器件内分立三个质量块方案实现三轴检测。提出了该加速度计基本构型与弹簧梁结构,并在结构中加入自检测与限位防撞结构。通过仿真软件对所设计器件的谐振频率与电容灵敏度等进行仿真。仿真结果表明,该加速度计可实现三轴检测且具有较高的灵敏度。所设计的梁结构可有效隔绝77%的位移扰动,驱动结构可实现自检测功能,限位防撞装置可确保器件安全工作。使用Bosch刻蚀工艺及气相氢氟酸(VHF)工艺完成基于绝缘体上硅(SOI)样片的器件制作。最后,对制作完成的器件进行性能测试,得到加速度计的标度因数为513270LSB/g,表明加速度计具有较高的数字输出灵敏度。器件X轴、Y轴、Z轴均方根(RMS)噪声分别为0.23、0.25和0.29mg,噪声信号功率谱密度分别为26、29和33μg/√Hz,偏置不稳定性分别为10.62、11.75和12.00μg,表明该加速度计具有较低的噪声水平和较高的三轴检测精度。 展开更多
关键词 微机电系统(mems)加速度计 电容式 三轴检测 绝缘体上硅(SOI)-mems工艺 自检测
原文传递
MEMS气体传感器发展现状与对策
6
作者 苏铮 邢志鹏 +2 位作者 钟一红 许梦雪 孙旭辉 《传感技术学报》 北大核心 2025年第9期1533-1539,共7页
新型MEMS气体传感器具有功耗低、体积小、灵敏度高、选择性好、集成度高等优点而被广泛应用。随着物联网、微机电系统技术与人工智能的快速发展,利用MEMS气敏传感阵列与人工智能算法构建的人工嗅觉技术在更多的领域中发挥重要作用,实现... 新型MEMS气体传感器具有功耗低、体积小、灵敏度高、选择性好、集成度高等优点而被广泛应用。随着物联网、微机电系统技术与人工智能的快速发展,利用MEMS气敏传感阵列与人工智能算法构建的人工嗅觉技术在更多的领域中发挥重要作用,实现气体传感器从“功能实现”到“性能提升”到“智能化”的发展路线。从MEMS气体传感器的种类、气敏材料、传感机理及应用等方面描述了其研究现状,并聚焦MEMS气体传感器现存的问题,提出了未来的发展方向及相应对策。 展开更多
关键词 mems气体传感器 微热板 传感器微结构原理 策略
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高精度MEMS硅陀螺仪接口ASIC设计
7
作者 张欢 陈伟平 +3 位作者 张文博 王一行 付强 尹亮 《遥测遥控》 2025年第3期42-50,共9页
为满足惯性导航、自动驾驶等领域的应用需求,实现微电子机械系统(MEMS)硅陀螺仪向高精度、数字化和微小型化的方向发展,本文基于0.35μm BCD工艺(双极型-互补金属氧化物半导体-双扩散金属氧化物半导体工艺),采用单芯片集成方式,设计并... 为满足惯性导航、自动驾驶等领域的应用需求,实现微电子机械系统(MEMS)硅陀螺仪向高精度、数字化和微小型化的方向发展,本文基于0.35μm BCD工艺(双极型-互补金属氧化物半导体-双扩散金属氧化物半导体工艺),采用单芯片集成方式,设计并实现了一款具有数字化输出的MEMS硅陀螺仪接口电路。采用基于噪声自激的闭环驱动方案,使陀螺仪在驱动方向上实现简谐振动。检测电路使用低噪声电容-电压(C/V)转换电路,将检测模态位移信号转换为电压信号。信号处理通过开关相敏解调技术进行精确解调,并结合低通滤波处理,有效抑制系统噪声,从而获得低噪声的模拟角速度输出信号。为了实现硅陀螺角速度的数字化输出,设计了集成的四阶全前馈Sigma-Delta(ΣΔ)模数转换器(ADC),将模拟角速度信号转换为数字信号。芯片测试结果表明:ΣΔ调制器的动态范围达到110 dB,低频噪底约为-120 dB。陀螺整机的量程为±200(°)/s,标度因数为21310 LSB/((°)/s)(最低有效位每度每秒),非线性误差为178×10^(-6),零偏不稳定性为0.259(°)/h,角度随机游走为0.0287(°)/√h(度每平方根小时)。该芯片面积为4.3 mm×4.3 mm。通过采用单片集成的接口ASIC(专用集成电路)替代传统的PCB(印制电路板)板级系统,显著提高了系统集成度,成功满足了MEMS硅陀螺微小型化的需求,推动了其在高精度数字化应用中的发展。 展开更多
关键词 mems 硅陀螺仪 接口ASIC ΣΔADC 数字输出
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柔性微机电系统(MEMS)技术:应用现状、关键技术与未来展望
8
作者 冷林霞 唐德欢 《中阿科技论坛(中英文)》 2025年第10期95-100,共6页
微机电系统(MEMS)柔性技术作为近年来快速兴起的前沿领域,巧妙融合了MEMS技术在微型化、集成化方面的核心优势,以及柔性材料所具备的可弯曲、可延展特性。文章重点梳理了MEMS柔性器件在航天及航空可穿戴设备、生物医疗、能源等领域的应... 微机电系统(MEMS)柔性技术作为近年来快速兴起的前沿领域,巧妙融合了MEMS技术在微型化、集成化方面的核心优势,以及柔性材料所具备的可弯曲、可延展特性。文章重点梳理了MEMS柔性器件在航天及航空可穿戴设备、生物医疗、能源等领域的应用现状与发展成果,系统介绍了MEMS柔性技术的加工材料与加工方法,并对MEMS柔性技术未来的研究重点与发展方向进行了展望,指出该技术可在材料创新、工艺优化以及应用领域拓展,助力人类迈向更加智能、便捷、高效的新时代。 展开更多
关键词 mems柔性技术 柔性mems 可弯曲可延展 航天可穿戴 生物医疗 能源采集
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一种基于MEMS陀螺仪的无人机磁传感器校正判别方法 被引量：1
9
作者 狄素素 潘宇光 《中国军转民》 2025年第8期33-34,共2页
在无人机实际应用场景中,MEMS磁传感器易受外界磁场干扰,会导致方向判断错误甚至引起安全事故,因此需对MEMS磁传感器的误差进行实时在线评估。当前绝大多数算法将当地磁场强度作为判断磁传感器是否需要校正的依据,但该方法受地域限制,... 在无人机实际应用场景中,MEMS磁传感器易受外界磁场干扰,会导致方向判断错误甚至引起安全事故,因此需对MEMS磁传感器的误差进行实时在线评估。当前绝大多数算法将当地磁场强度作为判断磁传感器是否需要校正的依据,但该方法受地域限制,不够便捷有效,无法满足无人机跨地域飞行的要求。而MEMS陀螺仪在短时间内可获得比较精准的无人机航向角变化量,故可将MEMS陀螺仪解算的无人机航向角变化量与MEMS磁传感器解算的无人机航向角变化量的差值作为触发无人机磁传感器的校正条件,当航向角变化量的差值超出某范围时,无人机可发出报警信号,避免因方向判断错误而导致安全事故的发生。仿真结果表明,MEMS磁传感器经过椭球拟合法校正后,MEMS磁传感器和MEMS陀螺仪解算的航向角变化量近似,可作为判断MEMS磁传感器是否需要校正的依据。 展开更多
关键词 无人机 mems磁传感器 磁场干扰 mems陀螺仪 航向角变化量
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基于MEMS压阻传感器的多点微弱振动信号检测系统
10
作者 王红亮 王雨馨 +1 位作者 高春林 林宏 《仪表技术与传感器》 北大核心 2025年第9期6-10,60,共6页
针对多体飞行器分离时产生的微弱振动信号振动范围广、幅度低、频率成分复杂等问题,设计了以压阻式MEMS加速度传感器及变换器为核心的微弱振动信号检测系统。系统由压阻式MEMS加速度传感器网络、采集存储器、地面测试台及上位机软件组... 针对多体飞行器分离时产生的微弱振动信号振动范围广、幅度低、频率成分复杂等问题,设计了以压阻式MEMS加速度传感器及变换器为核心的微弱振动信号检测系统。系统由压阻式MEMS加速度传感器网络、采集存储器、地面测试台及上位机软件组成。前端传感器网络响应的多点微弱振动信号经过变换器内的调理电路进行调理后以标准电信号输出到采集存储器,搭配测试台和上位机软件完成振动信号数据的回读及绘图分析。试验结果表明:系统可以准确检测16个点位±2000 mg范围内的微弱振动信号并进行绘图分析,整体非线性度为0.58%,分辨率为0.1 mg,结构可靠,工作稳定。 展开更多
关键词 微弱振动信号检测 mems传感器 变换器 采集存储器 调理电路 绘图分析
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智能手机GNSS/MEMS IMU车载组合导航的安装角估计算法
11
作者 王甫红 程雨欣 +1 位作者 赵广越 张万威 《武汉大学学报(信息科学版)》 北大核心 2025年第10期1948-1956,共9页
针对智能手机车载导航时因安装角未知而降低全球导航卫星系统(global navigation satellite system,GNSS)/惯性导航系统组合导航精度与性能的问题,在智能手机GNSS/微机械惯性测量单元(micro-electro-mechanical system inertial measure... 针对智能手机车载导航时因安装角未知而降低全球导航卫星系统(global navigation satellite system,GNSS)/惯性导航系统组合导航精度与性能的问题,在智能手机GNSS/微机械惯性测量单元(micro-electro-mechanical system inertial measurement unit,MEMS IMU)紧组合导航算法的基础上,提出以载波相位时间差分计算得出的历元间位置变化量来构建安装角估计的观测方程,并在线估计智能手机车载导航安装角的卡尔曼滤波算法。在典型城市环境的两组车载实验结果表明,所提算法在较为严重的遮挡环境下可在80 s内实现大安装角初始化,安装角滤波器收敛后安装角波动在2°以内。安装角估计成功后,使用非完整性约束算法,严重遮挡条件下车载组合导航的精度与性能得到明显提升,平面位置与高程的精度统计均能维持在5 m左右。所提算法不需要增加里程计等辅助设备,能够较快实现智能手机大安装角的精确估计。 展开更多
关键词 安装角估计 非完整性约束 智能手机 GNSS/mems IMU组合导航 车载导航
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建设中国传感谷打造MEMS产业“蚌埠高地”
12
作者 刘晶晶 杨志发 +1 位作者 李卫龙 黄孝冬 《安徽科技》 2025年第8期4-7,共4页
中国传感谷是安徽省委、省政府重点支持建设的智能传感产业集聚区,与合肥“中国声谷”、芜湖“中国视谷”并称为安徽省人工智能产业“三谷”。2021年,蚌埠市启动建设中国传感谷,经省市协同联动发展,2024年,中国传感谷获批全国十大高质... 中国传感谷是安徽省委、省政府重点支持建设的智能传感产业集聚区,与合肥“中国声谷”、芜湖“中国视谷”并称为安徽省人工智能产业“三谷”。2021年,蚌埠市启动建设中国传感谷,经省市协同联动发展,2024年,中国传感谷获批全国十大高质量传感器发展园区,入选安徽省未来产业先导区筹建名单、皖北唯一。本文在全面梳理中国传感谷发展现状、分析发展制约因素的基础上,提出推进其建设的路径,旨在助力提升建设质效,构建全国标志性的微电子机械系统(MEMS)产业“蚌埠高地”。 展开更多
关键词 智能传感产业集聚区 安徽省人工智能产业 蚌埠高地 mems产业
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可调谐MEMS-VCSEL微桥梁制备及其应力的影响 被引量：1
13
作者 朱鲁江 孙玉润 +2 位作者 张琪 于淑珍 董建荣 《半导体技术》 北大核心 2025年第6期589-594,共6页
针对微电子机械系统(MEMS)的垂直腔面发射激光器(VCSEL)中静电驱动微桥梁结构制备工艺开展研究,旨在制备平直的悬空微桥梁结构,并通过工艺优化提高其可靠性。利用干法刻蚀和湿法腐蚀相结合的方法刻蚀Ge牺牲层,这种方法既能够防止湿法腐... 针对微电子机械系统(MEMS)的垂直腔面发射激光器(VCSEL)中静电驱动微桥梁结构制备工艺开展研究,旨在制备平直的悬空微桥梁结构,并通过工艺优化提高其可靠性。利用干法刻蚀和湿法腐蚀相结合的方法刻蚀Ge牺牲层,这种方法既能够防止湿法腐蚀横向刻蚀过多,还可以提高Ge和底部电极Ti的刻蚀比。通过XeF_(2)气体干法刻蚀去除剩余的Ge以释放微桥梁结构,避免湿法腐蚀释放造成的微桥梁结构与衬底粘附问题,测试结果表明XeF_(2)横向腐蚀Ge的速率高达150μm/min。此外,选用SiNx介质作为微桥梁结构层,并通过优化等离子体增强化学气相沉积(PECVD)工艺条件调控薄膜应力为低张应力,解决了残余应力导致的微桥梁结构弯曲和断裂问题,制备了平直的悬空微桥梁结构。 展开更多
关键词 微电子机械系统(mems) 微桥梁结构 Ge刻蚀 XeF_(2)干法刻蚀 残余应力
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一种低频高灵敏度压电MEMS声接收器设计 被引量：2
14
作者 王登攀 黄晶 +7 位作者 赵德锋 王飞 王露 刘文怡 苗晋威 张立宇 袁宇鹏 胡义东 《压电与声光》 北大核心 2025年第1期28-31,58,共5页
为了提高低频段的灵敏度,基于ScAlN薄膜设计了一种开缝式低频高灵敏度MEMS声传感器结构,并分析了开缝数量对谐振频率和电压输出的影响规律。制作微机电系统(MEMS)声接收器样品,当谐振频率为29.3 kHz时,在20~30 kHz内测得其最高灵敏度高... 为了提高低频段的灵敏度,基于ScAlN薄膜设计了一种开缝式低频高灵敏度MEMS声传感器结构,并分析了开缝数量对谐振频率和电压输出的影响规律。制作微机电系统(MEMS)声接收器样品,当谐振频率为29.3 kHz时,在20~30 kHz内测得其最高灵敏度高于-60 dB,说明所提出的开缝式结构能在低频段实现高灵敏度。 展开更多
关键词 压电薄膜 微机电系统(mems) 声接收器
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一种新型的分布式MEMS移相器的小型化设计 被引量：5
15
作者 金博识 吴群 +3 位作者 贺训军 唐恺 杨国辉 Lee Jong-Chul 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05B期1885-1888,共4页
通过在共面波导信号线上贴敷低介电常数的薄层绝缘介质,使得MEMS金属桥与共面波导信号线在“关”态下形成MIM电容的方法,实现了提高“关”“开”两种状态下的电容比,从而提高了单位长度上的相移量.与传统的设计方法相比,在达到同样相移... 通过在共面波导信号线上贴敷低介电常数的薄层绝缘介质,使得MEMS金属桥与共面波导信号线在“关”态下形成MIM电容的方法,实现了提高“关”“开”两种状态下的电容比,从而提高了单位长度上的相移量.与传统的设计方法相比,在达到同样相移量指标的情况下仅需少量的MEMS金属桥就可以实现,工作的可靠性得到提高,未封装MEMS移相器器件的总体尺寸可以减小60%左右,此外由于在“关”态下,金属桥直接贴敷在介质表面上而不会随着外界环境震动,因此移相器的相移精度显著的提高. 展开更多
关键词 RF mems 分布式mems传输线 金属-绝缘体-金属电容 mems金属桥 移相器
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一种MEMS微结构谐振频率的测试技术 被引量：6
16
作者 王晓东 王涛 +3 位作者 李楠 刘梦伟 崔岩 王立鼎 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05A期1538-1541,共4页
MEMS技术的发展离不开相应的测试技术与装置,建立了一种简单的MEMS微结构动态特性的测试装置,以压电陶瓷为核心的基座激励装置实现对微结构的冲击,以微器件自身的输出作为被测信号.结合MEMS工艺中批量制作的特点在同一测试装置的同一次... MEMS技术的发展离不开相应的测试技术与装置,建立了一种简单的MEMS微结构动态特性的测试装置,以压电陶瓷为核心的基座激励装置实现对微结构的冲击,以微器件自身的输出作为被测信号.结合MEMS工艺中批量制作的特点在同一测试装置的同一次测试中安装两种不同尺寸的被测微压电悬臂梁试件,采集两个梁的冲击响应信号及它们的联合输出信号,通过FFT频谱分析,比较三种情况下的频谱分析结果并提取出梁的固有频率,采用对比测试的方法获得压电微悬臂梁的谐振频率.试验结果与理论分析一致,该方法具有测试装置简单、实用性强等特点. 展开更多
关键词 mems测试技术 mems动态特性 mems微结构
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北京遥测技术研究所MEMS工程中心
17
《遥测遥控》 2025年第2期F0003-F0003,共1页
北京遥测技术研究所MEMS工程中心位于北京市丰台区东高地四营门北路2号院,中心洁净厂房总面积约1700 m2,是集设计、制造于一体的MEMS传感器产业基地及MEMS技术创新平台。中心根据产品生产需求和先进的工艺设计加工理念,建立了薄膜压力... 北京遥测技术研究所MEMS工程中心位于北京市丰台区东高地四营门北路2号院,中心洁净厂房总面积约1700 m2,是集设计、制造于一体的MEMS传感器产业基地及MEMS技术创新平台。中心根据产品生产需求和先进的工艺设计加工理念,建立了薄膜压力传感器及石英角速率传感器两条批量产品生产线。 展开更多
关键词 薄膜压力传感器 遥测技术 角速率传感器 mems传感器 mems技术 洁净厂房 产品生产线 创新平台
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基于MEMS和无线通信的余震流动监测预警系统 被引量：1
18
作者 周浩 朱景宝 +1 位作者 宋晋东 李山有 《世界地震工程》 北大核心 2025年第1期133-144,共12页
余震作为地震后的主要次生灾害,对救援人员和受灾区域的安全构成严重威胁。为了有效监测余震活动并为救援行动提供及时信息,针对缺乏公共网络支持、需要高度机动性和适应复杂环境的监测背景,构建了一种基于MEMS(Micro-Electro-Mechanica... 余震作为地震后的主要次生灾害,对救援人员和受灾区域的安全构成严重威胁。为了有效监测余震活动并为救援行动提供及时信息,针对缺乏公共网络支持、需要高度机动性和适应复杂环境的监测背景,构建了一种基于MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)传感器和无线通信技术的余震流动监测预警系统。该系统通过临时部署可移动的余震流动监测单元,实时采集和分析地震数据,增强对地震活动的监测、分析和预警能力。硬件设计方面,系统采用了高精度MEMS三轴加速度传感器作为地震数据采集端,通过24位模数转换芯片将模拟信号转换为数字信号,并利用单片机进行数据处理,使用本地存储和终端存储确保数据的安全性,使用无线通信技术将地震波形数据传输到余震监测中心。软件设计方面,系统嵌入支持向量机现地地震动峰值预测模型,以实现对现地地震动峰值的预测。系统测试结果表明:余震流动监测预警系统能够有效采集地震加速度数据,并准确预测地震动峰值,发出可靠警报。通过测试,系统显示出在余震监测预警中的准确性、时效性与可靠性,对于指导救援行动和保证救援安全具有重要的实际意义。 展开更多
关键词 余震监测 流动监测 mems传感器 无线通信技术 机器学习
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MEMS高温压力传感器复合金属层可靠性研究 被引量：1
19
作者 杜康乐 雷程 +3 位作者 梁庭 肖楚译 王旦旦 罗后明 《仪表技术与传感器》 北大核心 2025年第2期22-27,共6页
为解决MEMS压力传感器因复合金属层形貌翘曲导致高温失效分析后出现失效的问题,文中提出了3种制备复合金属层的工艺方法,经过逐步模拟键合过程,观察每增加一步工艺对应复合金属层的形貌,通过场发射扫描电子显微镜观察复合金属层的形貌,... 为解决MEMS压力传感器因复合金属层形貌翘曲导致高温失效分析后出现失效的问题,文中提出了3种制备复合金属层的工艺方法,经过逐步模拟键合过程,观察每增加一步工艺对应复合金属层的形貌,通过场发射扫描电子显微镜观察复合金属层的形貌,最后在300℃、保持100 h高温条件下验证传感器的可靠性。采用常温溅射—光刻图形—IBE刻蚀制备出的复合金属层形貌完整且分层明显,模拟键合实验后复合金属层依然未出现翘曲现象,经300℃高温考核后,传感器零位输出稳定在4.5 mV左右,零点漂移为0.906%,时漂约为7.76μV/h,验证了该方案在高温失效分析下的可行性。 展开更多
关键词 mems压力传感器 复合金属层 翘曲 高温考核 模拟键合过程 常温溅射
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一种小体积MEMS传感器数据记录仪 被引量：2
20
作者 尚义航 赵凯明 +1 位作者 段俊萍 张斌珍 《微纳电子技术》 2025年第1期110-117,共8页
对飞行器发射航行阶段的数据测试是目前研究的重要方向。数据记录仪作为一种可装载的数据采集装置,具有重要的研究价值。针对小型飞行器的数据采集工作,提出了一种具有小体积、低功耗、高性能以及高抗过载能力的微电子机械系统(MEMS)传... 对飞行器发射航行阶段的数据测试是目前研究的重要方向。数据记录仪作为一种可装载的数据采集装置,具有重要的研究价值。针对小型飞行器的数据采集工作,提出了一种具有小体积、低功耗、高性能以及高抗过载能力的微电子机械系统(MEMS)传感器数据记录仪。它能够对三轴角速度、加速度以及磁场数据进行同步测量。数据计算和实验测试结果表明,记录仪总体积为22.4 cm^(3),工作状态下的功耗仅为0.68 W。通过抗过载工艺使系统抗过载能力达到了18000g,实现了对于小体积、低功耗和高抗过载能力的特性要求。通过Labview软件对磁场数据进行测量及误差分析,得到线性度误差最大值仅为-1.14%,满足HMC1053三轴磁传感器线性度误差优于±1.8%的指标要求,能够实现对于小型飞行器发射航行过程中的数据采集,具有很高的可行性。 展开更多
关键词 传感器数据记录仪 微电子机械系统(mems) 小体积 高抗过载 低功耗
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