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New Encoder Based on Grating Eddy-Current with Differential Structure
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作者 ZHANG Zaigi LüNa +1 位作者 TAO Wei ZHAO Hui 《Journal of Shanghai Jiaotong university(Science)》 2025年第2期337-351,共15页
In response to the shortcomings of the common encoders in the industry,of which the photoelectric encoders have a poor anti-interference ability in harsh industrial environments with water,oil,dust,or strong vibration... In response to the shortcomings of the common encoders in the industry,of which the photoelectric encoders have a poor anti-interference ability in harsh industrial environments with water,oil,dust,or strong vibrations and the magnetic encoders are too sensitive to magnetic field density,this paper designs a new differential encoder based on the grating eddy-current measurement principle,abbreviated as differential grating eddy-current encoder(DGECE).The grating eddy-current of DGECE consists of a circular array of trapezoidal reflection conductors and 16 trapezoidal coils with a special structure to form a differential relationship,which are respectively located on the code plate and the readout plate designed by a printed circuit board.The differential structure of DGECE corrects the common mode interference and the amplitude distortion due to the assembly to some extent,possesses a certain anti-interference capability,and greatly simplifies the regularization algorithm of the original data.By means of the corresponding readout circuit and demodulation algorithm,the DGECE can convert the periodic impedance variation of 16 coils into an angular output within the 360°cycle.Due to its simple manufacturing process and certain interference immunity,DGECE is easy to be integrated and mass-produced as well as applicable in the industrial spindles,especially in robot joints.This paper presents the measurement principle,implementation methods,and results of the experiment of the DGECE.The experimental results show that the accuracy of the DGECE can reach 0.237%and the measurement standard deviation can reach±0.14°within360°cycle. 展开更多
关键词 ENCODER grating eddy-current differential structure angle measurement
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Influence of differential settlement on pavement structure of widened roads based on large-scale model test 被引量:13
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作者 Xiaolin Weng1,2,Wei Wang3 1 Key Laboratory for Special Area Highway Engineering of Ministry of Education,Chang’an University,Xi’an,710064,China 2 CCCC First Highway Consultants Co.,Ltd.,Xi’an,710068,China 3 Henan Vocational and Technical College of Communications,Zhengzhou,450005,China 《Journal of Rock Mechanics and Geotechnical Engineering》 SCIE 2011年第1期90-96,共7页
This study introduced at first the background of numerous highway widening projects that have been developed in recent years in China.Using a large ground settlement simulator and a fiber Bragg grating (FBG) strain se... This study introduced at first the background of numerous highway widening projects that have been developed in recent years in China.Using a large ground settlement simulator and a fiber Bragg grating (FBG) strain sensor network system,a large-scale model test,with a similarity ratio of 1:2,was performed to analyze the influence of differential settlement between new and old subgrades on pavement structure under loading condition.The result shows that excessive differential settlement can cause considerable tensile strain in the pavement structure of a widened road,for which a maximum value (S) of 6 cm is recommended.Under the repetitive load,the top layers of pavement structure are subjected to the alternate action of tensile and compressive strains,which would eventually lead to a fatigue failure of the pavement.However,application of geogrid to the splice between the new and the old roads can reduce differential settlement to a limited extent.The new subgrade of a widened road is vulnerable to the influence of dynamic load transferred from the above pavement structures.While for the old subgrade,due to its comparatively high stiffness,it can well spread the load on the pavement statically or dynamically.The test also shows that application of geogrid can effectively prevent or defer the failure of pavement structure.With geogrid,the modulus of resilience of the subgrade is increased and inhomogeneous deformation can be reduced;therefore,the stress/strain distribution in pavement structure under loading condition becomes uniform.The results obtained in this context are expected to provide a helpful reference for structural design and maintenance strategy for future highway widening projects. 展开更多
关键词 widened subgrade differential settlement fiber Bragg grating (FBG) strain sensor model test
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Visibility in differential phase-contrast imaging with partial coherence source 被引量:3
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作者 刘鑫 郭金川 +1 位作者 彭翔 牛憨笨 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2007年第6期1632-1636,共5页
This paper gives theoretical analysis of visibility of fringes, which is influenced by distances, temporal and spatial coherence of source, in hard x-ray differential phase-contrast imaging with microfocus x-ray sourc... This paper gives theoretical analysis of visibility of fringes, which is influenced by distances, temporal and spatial coherence of source, in hard x-ray differential phase-contrast imaging with microfocus x-ray source. According to the character of longitudinal periodicity of the interferogram, the setup is insensitive to mechanical drift and vibrations. The effect of temporal coherence of x-ray source is investigated and its related bandwidth is derived. Based on the theory of partially coherent light, it shows that the requirement for the spatial coherence of x-ray source is not strict and can be met by the general microfocus x-ray tube for x-ray differential phase-contrast imaging. 展开更多
关键词 VISIBILITY differential phase-contrast interference fringes phase grating
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Computation of one—dimensional consolidation of double layered ground using differential quadrature method 被引量:6
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作者 王宏志 陈云敏 黄博 《Journal of Zhejiang University Science》 EI CSCD 2003年第2期195-201,共7页
The authors give the solution to the problem of one-dimensional conso l idation of double-layered ground with the use of the differential quadrature me t hod. Case studies showed that the computational results for por... The authors give the solution to the problem of one-dimensional conso l idation of double-layered ground with the use of the differential quadrature me t hod. Case studies showed that the computational results for pore-water pressure in soil layer agreed with those of analytical solution; and that in the computat ional results for the interface of soil layer also agreed with those of the anal ytical solution except for the small discrepancies during shortly after the star t of computation. The advantages of the solution presented in this paper are tha t compared with the analytical solution, it avoids the cumbersome work in solvin g the transcendental equation for eigenvalues, and in the case of the Laplace transform s olution, it can resolve the precision problem in the numerical solution of long time inverse Laplace transform. Because of the matrix form of the solution in th is paper, it is convenient for formulating computational program for engineering practice. The formulas for calculating double-layered ground consolidation may be easily extended to the case of multi-layered soils. 展开更多
关键词 double-layered ground One-dimensional consolidat ion differential quadrature method
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差异化波长数据分析法识别储罐内壁损伤位置研究
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作者 徐畅 卢召红 +2 位作者 王威 张勇 阮驰 《河南科学》 2025年第8期1093-1099,共7页
基于光纤光栅传感技术提出了一种识别储罐内壁损伤的差异化波长数据分析方法。首先在储罐外壁布设FBG传感器,通过储罐变压下的光纤检测损伤识别试验采集内压改变后的波长数据,得到反映储罐内壁损伤信息的指标λT。然后建立储罐全尺寸有... 基于光纤光栅传感技术提出了一种识别储罐内壁损伤的差异化波长数据分析方法。首先在储罐外壁布设FBG传感器,通过储罐变压下的光纤检测损伤识别试验采集内压改变后的波长数据,得到反映储罐内壁损伤信息的指标λT。然后建立储罐全尺寸有限元模型,通过数值模拟的方法分析罐壁损伤处应变变化特征。最后将数值模拟分析结果与试验所测结果进行对比,以验证所提方法的有效性。研究结果表明,λT在储罐内壁损伤附近出现突变现象,突变峰值平均达到0.045 nm^(2)以上,这与数值模拟分析结果基本吻合,说明研究提出的损伤指标λT可准确识别储罐内壁损伤,应用所提的方法能够判断储罐内壁损伤位置。研究结果可为及时发现储罐内壁损伤、提出安全维护措施提供理论依据,也可为光纤光栅传感技术应用于储罐内壁损伤的无损检测提供技术支撑。 展开更多
关键词 光纤布拉格光栅 损伤识别 储罐 应变测量 差异化波长数据分析法
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光纤光栅柔性机械手指的多参数感知方法
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作者 张寅祥 冯艳 +3 位作者 周依霖 曲博 赵峰志 张华 《光子学报》 北大核心 2025年第3期57-70,共14页
为提升机械手的精细操作性能和智能化水平,实现高精度、实时的多信息感知,提出了一种基于光纤布拉格光栅的仿人柔性机械手指多参数感知方法。该设计在悬臂式手指骨架中嵌入光纤布拉格光栅差动感知阵列,有效解决了应变与温度的交叉干扰... 为提升机械手的精细操作性能和智能化水平,实现高精度、实时的多信息感知,提出了一种基于光纤布拉格光栅的仿人柔性机械手指多参数感知方法。该设计在悬臂式手指骨架中嵌入光纤布拉格光栅差动感知阵列,有效解决了应变与温度的交叉干扰问题。通过支持向量机对不同接触位置的光纤布拉格光栅传感器中心波长的标准差特征值进行分类训练,实现对触压力、接触温度和接触位置的综合感知。标定实验结果表明,嵌入柔性机械手指中的光纤布拉格光栅感知阵列的应力和温度灵敏度分别为112.898 pm/N和81.185 pm/℃。应力/温度耦合实验进一步验证了该光纤光栅柔性手指在10~50℃温度范围内均能保持测量的高精度和高灵敏度,最低平均误差仅为-0.025 6 nm。支持向量机分类训练结果显示,光纤布拉格光栅柔性手指触觉位置感知准确率达95.5%。设计的柔性机械手指可用于智能机器人、假肢及人机交互等领域。 展开更多
关键词 光纤布拉格光栅 仿人柔性机械手指 差动感知阵列 触压力 接触温度 接触位置
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基于FBG传感技术的运营期公路高填方路基灾变智能识别与预警研究综述
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作者 于博文 《交通与运输》 2025年第S2期46-49,共4页
公路高填方路基因填筑高度大、地质环境复杂,运营期易发生不均匀沉降等灾变,传统监测技术难以满足需求。光纤布拉格光栅(FBG)传感技术因分布式测量、抗干扰能力强等优势成前沿方向。本文系统综述其在运营期高填方路基灾变智能识别与预... 公路高填方路基因填筑高度大、地质环境复杂,运营期易发生不均匀沉降等灾变,传统监测技术难以满足需求。光纤布拉格光栅(FBG)传感技术因分布式测量、抗干扰能力强等优势成前沿方向。本文系统综述其在运营期高填方路基灾变智能识别与预警的研究进展,重点剖析技术原理、传感器设计、灾变识别方法及工程应用成效。FBG通过波长漂移实现高精度测量,适用于长期监测,其传感器有埋入式、表面粘贴式等封装形式与分层分布式等布设策略,模型试验验证了其对应变的动态捕捉能力。在灾变识别中,高速解调系统、噪声抑制算法及机器学习等被应用,工程案例表明其可捕捉灾变前兆。现存挑战包括传感器长期可靠性等,未来应聚焦智能传感网络研发等,以推动技术升级。综上,FBG为灾变监测提供创新方案,与新兴技术融合将提升安全保障水平。 展开更多
关键词 高填方路基 光纤布拉格光栅(FBG) 灾变监测 不均匀沉降 边坡失稳 传感器设计 机器学习
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Grating lobes suppression method for stepped frequency GB-SAR system 被引量:3
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作者 Tao Zeng Cong Mao +3 位作者 Cheng Hu Mao Zhu Weiming Tian Jingjing Ren 《Journal of Systems Engineering and Electronics》 SCIE EI CSCD 2014年第6期987-995,共9页
A grating lobes suppression method for chirp-subpulse stepped frequency(CSSF) signals is proposed, which is applied to deformation monitoring using the ground based synthetic aperture radar(GB-SAR) system. This me... A grating lobes suppression method for chirp-subpulse stepped frequency(CSSF) signals is proposed, which is applied to deformation monitoring using the ground based synthetic aperture radar(GB-SAR) system. This method is based on accurate estimation and correction of the phase and amplitude error along two dimensions(range and azimuth), i.e., the error estimation inside the subpulse(in-subpulse error) and across the stepped frequency subpulses(cross-subpulse error) of transmitted CSSF signals. Validated both with simulated data and experimental data recorded in the deformation monitoring campaign, it can be seen that the method as well as the relative conclusions can be fully and effectively applied to most of the stepped frequency systems. 展开更多
关键词 chirp-subpulse stepped frequency signal(CSSF) sup-pression of grating lobes ground based synthetic aperture radar differential interferometer SAR error analysis
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一种面向结构沉降的改进型FBG传感器
9
作者 唐杰 邵国霞 《光通信技术》 北大核心 2024年第4期36-41,共6页
为了提高光纤布喇格光栅(FBG)型沉降传感器的灵敏度,降低在沉降过程中由于倾斜与温漂所造成的测量偏差,设计了一种面向结构沉降的改进型FBG传感器。该传感器将传统悬臂结构改为直拉结构,减少因沉降倾斜导致的测量误差;通过精确计算2组FB... 为了提高光纤布喇格光栅(FBG)型沉降传感器的灵敏度,降低在沉降过程中由于倾斜与温漂所造成的测量偏差,设计了一种面向结构沉降的改进型FBG传感器。该传感器将传统悬臂结构改为直拉结构,减少因沉降倾斜导致的测量误差;通过精确计算2组FBG的波长偏移量的比值,实现对沉降量的准确测量。测试结果表明:该传感器的应变响应量为5.2×10^(-5)ε/N,在0~50 mm内波长偏移量与沉降量成线性关系,其偏差均值优于0.69 mm,灵敏度均值为107.45 pm/mm;测试结果波动均低于1.0%,明显优于传统FBG传感器结构,验证了其具有更好的抗干扰能力。 展开更多
关键词 沉降检测 光纤布喇格光栅 差分比值计算 倾斜干扰 温漂干扰
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适用于带并抗的同杆双回线接地故障分相自适应重合闸策略 被引量:4
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作者 蒋江波 解超 +2 位作者 李凤婷 尹纯亚 张高航 《电力系统保护与控制》 EI CSCD 北大核心 2024年第5期12-24,共13页
同杆双回线发生接地故障采用传统跳闸策略时可能会产生负序分量,传统自动重合闸方案在合闸前不判定故障性质,重合失败时将影响系统稳定性。针对该问题,提出了一种适用于带并抗的同杆双回线接地故障改进跳闸与分相自适应重合闸策略。首先... 同杆双回线发生接地故障采用传统跳闸策略时可能会产生负序分量,传统自动重合闸方案在合闸前不判定故障性质,重合失败时将影响系统稳定性。针对该问题,提出了一种适用于带并抗的同杆双回线接地故障改进跳闸与分相自适应重合闸策略。首先,通过建立带并抗的同杆双回线各相之间的耦合模型并对其进行分析,提出了一种能够避免负序分量注入系统的改进跳闸策略。其次,分别对瞬时性故障和永久性故障情况下的故障相并联电抗器电流特征分析,提出了基于故障相并联电抗器微分栅电流的故障性质判据。最后,结合改进跳闸策略和故障性质判据,形成了适用于带并抗的同杆双回线接地故障分相自适应重合闸策略。PSCAD/EMTDC仿真验证了所提改进跳闸与分相自适应重合闸策略能够避免负序分量注入系统,以及在不同接地故障类型、故障位置和过渡电阻情况下都能保证输电线路重合成功率。 展开更多
关键词 自适应重合闸 微分栅 故障性质判据 瞬时性故障 永久性故障
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基于泰伯效应的差分双层光栅光学杠杆放大位移传感器
11
作者 牛仟起 范长江 +1 位作者 李孟委 辛晨光 《微纳电子技术》 CAS 2024年第5期86-92,共7页
研制了一种基于泰伯效应的差分双层光栅光学杠杆放大位移传感器。通过理论计算、仿真分析和实验测试,证明在差分双层光栅后面形成了一个多周期复合光场。当两个光栅之间发生相对位移时,该复合光场随输入位移同步发生移动。由于差分结构... 研制了一种基于泰伯效应的差分双层光栅光学杠杆放大位移传感器。通过理论计算、仿真分析和实验测试,证明在差分双层光栅后面形成了一个多周期复合光场。当两个光栅之间发生相对位移时,该复合光场随输入位移同步发生移动。由于差分结构的光学杠杆效应导致复合光场,复合光场位移相对于实际输入位移会产生放大,结合电荷耦合器件(CCD)相机成像检测方式可实现纳米级输入位移的检测。实验系统差分光栅结构周期分别为1.49和1.71μm。经多次重复测试,复合光场放大周期为~11.6μm,放大因子为~7.8,实验分辨率达到~9.8 nm。受益于位移放大,该传感器满足了纳米级精密位移测量对小周期光学光栅和小尺寸CCD像元的高要求,在机械定位、半导体制造等领域展现出良好的应用前景。 展开更多
关键词 泰伯效应 光学杠杆 差分双层光栅 位移传感器 复合光场
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Optical characterization of X-ray polymer refractive lenses using a microfocus X-ray grating interferometer
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作者 Dongxu Qin Lian Xue +5 位作者 Yifan Ding Ziwen Huang Lei Yang Zhaofeng Kang Keyi Wang Shuai Zhao 《Chinese Optics Letters》 2025年第4期143-148,共6页
Two-photon polymerization lithography is a technique that provides hundreds of nanometer resolution and full geometric freedom.Several X-ray polymer refractive lenses created by this technique were characterized using... Two-photon polymerization lithography is a technique that provides hundreds of nanometer resolution and full geometric freedom.Several X-ray polymer refractive lenses created by this technique were characterized using differential phase contrast imaging(DPCI)with a microfocus X-ray grating interferometer.The beam deflection angle and wavefront phase shift of the X-ray beam through the lens were obtained.Comparative tests using synchrotron radiation sources showed that the system could measure the surface shape of X-ray refractive lenses with an accuracy of 0.4μm.This study is important for improving the fabrication process and focusing performance of X-ray refractive lenses. 展开更多
关键词 differential phase contrast imaging X-ray polymer refractive lens microfocus X-ray grating interferometer optical characterization
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基于变耦合系数变压器原理的时栅位移传感器设计 被引量:16
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作者 杨伟 彭东林 +1 位作者 朱革 陈锡侯 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第11期1403-1405,共3页
原有的时栅传感器设计中采用了电机绕组产生旋转磁场的方案,但是电机定子绕组分布不均带来了误差。原有的差线栅传感器中采用了齿栅的结构,但实验表明它对齿的加工精度太敏感。本文提出了一种新的行波形成方法,实验表明,按此方法设计的... 原有的时栅传感器设计中采用了电机绕组产生旋转磁场的方案,但是电机定子绕组分布不均带来了误差。原有的差线栅传感器中采用了齿栅的结构,但实验表明它对齿的加工精度太敏感。本文提出了一种新的行波形成方法,实验表明,按此方法设计的新的传感器,可以解决上述2个问题。 展开更多
关键词 行波 传感器 时栅 差栅
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差频式时栅位移传感器研究 被引量:13
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作者 彭东林 刘成康 谭为民 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第5期506-509,523,共5页
本文对差频测量法的本质进行了深入探讨 ,进而将原有的差频式动态传动误差测量方法移植成为一种圆分度静态精密测量新方法 ,并提出一套用于差频电路方案工程设计的新方法——齿波对偶法 ,介绍了一种双联齿差频式时栅样机。
关键词 差频 圆分度 时栅 齿波对偶法 位移传感器
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差线栅位移传感器原理 被引量:5
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作者 彭东林 谭为民 +1 位作者 刘小康 张兴红 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期376-378,共3页
首次提出了一种所谓“差线栅位移传感器”,它采用与游标卡尺类似的原理 ,利用相对运动的两套标尺刻线数之差 ,得到更多的插值脉冲 ,达到提高分辨力的目的。这种传感器的参数选择对传感器的性能有重大影响 ,要考虑的因素和须遵循的规律... 首次提出了一种所谓“差线栅位移传感器”,它采用与游标卡尺类似的原理 ,利用相对运动的两套标尺刻线数之差 ,得到更多的插值脉冲 ,达到提高分辨力的目的。这种传感器的参数选择对传感器的性能有重大影响 ,要考虑的因素和须遵循的规律比较独特。在此详细介绍了差线栅位移传感器的设计思想 。 展开更多
关键词 差线栅 位移传感器 参数设计 栅线数 齿轮
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单排差动结构的新型纳米时栅位移传感器 被引量:22
16
作者 彭凯 于治成 +2 位作者 刘小康 郑方燕 蒲红吉 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第3期734-740,共7页
在双排结构纳米时栅位移传感器的研究基础上,提出了一种单排差动结构的新型纳米时栅位移传感器。通过直接构造一个匀速运动的交变电场来产生行波信号,解决了双排结构所具有的串扰问题和安装问题;采用差动感应极片来拾取信号,可有效地消... 在双排结构纳米时栅位移传感器的研究基础上,提出了一种单排差动结构的新型纳米时栅位移传感器。通过直接构造一个匀速运动的交变电场来产生行波信号,解决了双排结构所具有的串扰问题和安装问题;采用差动感应极片来拾取信号,可有效地消除共模干扰。用微纳加工工艺制作了一种多层薄膜的单排差动结构的纳米时栅传感器样机并进行了性能测试,最终在200 mm的量程范围内取得了±150 nm的测量精度。对比双排结构的纳米时栅传感器,这种新型的纳米时栅传感器测量精度、信号稳定性及抗干扰能力得到明显的提高,并且在尺寸减小的同时拓展了有效量程,因此在产品化的过程中更具有应用前景。 展开更多
关键词 纳米时栅 电容式位移传感器 单排结构 差动感应极片
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一种差动式光纤Bragg光栅渗压、温度双参量传感器 被引量:7
17
作者 肖元强 李得利 +3 位作者 李川 李英娜 谢涛 赵振刚 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第10期2251-2256,共6页
设计了一种差动式双光纤Bragg光栅渗压、温度双参量传感器。在渗压作用下,波纹管产生一个轴向位移,并传递给等强度悬臂梁的自由端,使等强度悬臂梁产生一个挠度变化,带动粘贴在悬臂梁上下表面的光纤Bragg光栅的中心波长发生移位。通过检... 设计了一种差动式双光纤Bragg光栅渗压、温度双参量传感器。在渗压作用下,波纹管产生一个轴向位移,并传递给等强度悬臂梁的自由端,使等强度悬臂梁产生一个挠度变化,带动粘贴在悬臂梁上下表面的光纤Bragg光栅的中心波长发生移位。通过检测两只光纤Bragg光栅中心波长的差值来获得渗压;通过检测两只光纤Bragg光栅中心波长的平均值来获得环境温度。传感器测试表明,传感器对渗压的灵敏度为1.982 nm/MPa,线性度约为0.97%,重复性为1.5%;传感器对温度的灵敏度为0.009 5 nm/℃,线性度约为3.4%。该传感器利用差动结构并结合适当的数据处理实现了对渗压与温度的双参量检测。 展开更多
关键词 光纤BRAGG光栅 差动式 渗压传感器 温度传感器
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高分辨率差线栅位移传感器研究 被引量:4
18
作者 彭东林 谭为民 +1 位作者 刘小康 张兴红 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第12期105-109,共5页
对提出的差线栅位移传感器进行了介绍,其发明思想来源于游标卡尺的细分原理。它利用相对运动的两套标尺刻线数之差,在相同刻线条件下,在栅线之间形成了更多的物理量变化特点,得到更多的原始脉冲信号,等效于脉冲倍频或插值,达到提高分辨... 对提出的差线栅位移传感器进行了介绍,其发明思想来源于游标卡尺的细分原理。它利用相对运动的两套标尺刻线数之差,在相同刻线条件下,在栅线之间形成了更多的物理量变化特点,得到更多的原始脉冲信号,等效于脉冲倍频或插值,达到提高分辨率的目的。介绍了这种传感器的设计思想、工作原理、波形分析、精度分析和样机试验效果等。传统的栅线刻制时只要求均匀,而研究结果证明,差线栅刻线的粗细、稀密,差线数大小将直接影响信号的多少、大小、波形和精度,因此将对传统的栅式位移传感器技术产生重要影响。 展开更多
关键词 差线栅 位移传感器 试验效果
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基于差动莫尔信号的超高精度对正系统 被引量:4
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作者 王莉 卢秉恒 +1 位作者 丁玉成 刘红忠 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期75-78,共4页
为实现压印光刻中套刻对正超高精度的要求,采用基于斜纹结构光栅差动莫尔信号对正技术。利用光电接收器件阵列组合接收光栅产生的莫尔条纹信号,得到x,y方向的对正偏差信号。通过对基本莫尔信号和差动莫尔信号的分析对比,证明了差动莫尔... 为实现压印光刻中套刻对正超高精度的要求,采用基于斜纹结构光栅差动莫尔信号对正技术。利用光电接收器件阵列组合接收光栅产生的莫尔条纹信号,得到x,y方向的对正偏差信号。通过对基本莫尔信号和差动莫尔信号的分析对比,证明了差动莫尔信号具有更好的灵敏度,并在差动模式的基础上采用Chebyshev数字滤波器进行去噪,最终实现±20nm重复对正精度,达到100nm压印光刻的对正精度的要求。 展开更多
关键词 压印光刻 结构光栅 差动莫尔信号 超高精度对正
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差动式光纤光栅位移计及其温度特性的研究 被引量:7
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作者 王俊杰 付晓红 +1 位作者 姜德生 张丰涛 《武汉理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第12期112-115,共4页
基于拉伸弹簧和悬臂梁组成一复合结构实现了光纤光栅(FBG)位移传感器的差动式测量,研究表明:传感器位移分辨率为0.05%,重复性为0.183%,回程误差为0.134%,线性误差为0.14%,基本误差为±0.326%;以20℃为基准,在(-30—+100℃),温度引... 基于拉伸弹簧和悬臂梁组成一复合结构实现了光纤光栅(FBG)位移传感器的差动式测量,研究表明:传感器位移分辨率为0.05%,重复性为0.183%,回程误差为0.134%,线性误差为0.14%,基本误差为±0.326%;以20℃为基准,在(-30—+100℃),温度引起的零点漂移不超过满量程的2.86%;随着试验温度范围减小至传感器日常使用范围(-20—+60℃),零点温度漂移也减小至满量程的0.7%,传感器温度特性完全满足需求。最后,给出了传感器温度特性不一致的主要原因以及进一步改善传感器位移传感特性和热稳定性的方法,并指出改变悬臂梁和拉伸弹簧的几何尺寸就可实现不同量程、不同位移分辨力的测量。 展开更多
关键词 光纤FBG位移计 光纤光栅 差动式测量 零点温度漂移
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