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Review:Ferromagnetism in Undoped ZrO2 Thin Films
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作者 Shuai Ning Zhengjun Zhang 《Journal of Harbin Institute of Technology(New Series)》 EI CAS 2017年第1期1-10,共10页
Diluted magnetic oxides have evolved into a popular branch of materials science during the last decade. In the first few years, people attributed the ferromagnetism to the magnetic dopants. However, the observat... Diluted magnetic oxides have evolved into a popular branch of materials science during the last decade. In the first few years, people attributed the ferromagnetism to the magnetic dopants. However, the observation of ferromagnetism in undoped HfO2 thin films made it more controversial and promoted extensive research on the ferromagnetism in various undoped oxides. Both of the experimental w-orks and theoretical studies have shown that intrinsic defects in oxide nanomaterials play a crucial role in the origin of such an unexpected ferromagnetism, in spite of some contradicting views which kind of defects is predominant. In the past several years, we have conducted systematic and thorough research on the room temperature ferromagnetism in undoped ZrO2 thin films, and clarif some physics behind it. We firstly prepared undoped ZrO2 thin films by different w-ays, such as Pulsed electron bean deposition, magnetron sputtering, and electron beam evaporation, and successfully obtained ZiO2 thin films wdth different crystalline structure, in particular a pure high-temperature stabilized one, by adjusting some preparation parameters during the deposition process or post-annealing treatment. A phase-dependent ferromagnetism w-as then confinmed to exist in such ZiO2 thin films. Further, w-e conducted exhaustive defect analysis and characterization by X-ray photoelectron spectroscopy, photoluminescence spectra, and electron paramagnetic resonance, respectively, and found the oxygen vacancy, specifically the single ionized oxygen vacancy (Vo+) , has a remarkable influence on the enhancement of ferromagnetism. Herein, we will review the work in detail on the phase-dependent and oxygen vacancy-enhanced room temperature ferromagnetism in undoped ZrO2 thin films.Keywords Zi thin film ferromagnetism phase-dependent oxygen vacancy 展开更多
关键词 ZiO2 thin film FERROMAGNETISM phase-dependent oxygen vacancy
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Effects of RF-Sputtering Method Based Oxygen Flow Rate Change on the Properties of ZrO2 Thin Film
2
作者 Jin Jeong Kyung-Choul Baek Bong-Ju Lee 《材料科学与工程(中英文A版)》 2012年第3期341-345,共5页
关键词 zro2薄膜 射频溅射法 薄膜性能 氧气流量 汇率 薄膜生长 氧分压 氧气分压
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Synthesis and Electrical Characterization of ZrO2 Thin Films on Si(100)
3
作者 Vijay Ramkrishna Chinchamalatpure Sunil Madhavrao Chore +1 位作者 Shikant Sahebrao Patil Gajanan Niranjan Chaudhari 《Journal of Modern Physics》 2012年第1期69-73,共5页
The ZrO2 thin films deposited on Si (100) were successfully synthesized by solgel process and deposited by using spin-coating technique.The structural properties of ZrO2 thin films were investigated by X-Ray Diffracti... The ZrO2 thin films deposited on Si (100) were successfully synthesized by solgel process and deposited by using spin-coating technique.The structural properties of ZrO2 thin films were investigated by X-Ray Diffraction (XRD), Scanning Electron Microscope (SEM), Fourier Transform Infrared Spectroscopy (FT-IR), and electrical properties were studied by conventional techniques like Capacitance-Voltage (C-V) measurement and Current–Voltage (I–V) measurement. The XRD of ZrO2 films shows the films crystallized and exists in two phases at 700℃ calcinations temperature. The C–V characteristics of all the dielectric films that involved distinct inversion, depletion, and accumulation were clearly revealed in MIS structure. I-V characteristics of ZrO2 thin films on Si shows decreased saturation current on calcinations temperatures. The XPS measurement reveals that a zirconium silicate interfacial layer has formed in the ZrO2/Si Systems. 展开更多
关键词 SOL-GEL Technique zro2 thin film C –V I-V
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碱催化制备溶胶-凝胶ZrO2薄膜及性能研究 被引量:1
4
作者 李海元 唐永兴 胡丽丽 《武汉理工大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第E01期93-96,共4页
以Zr(CC3H7)4为前驱体,二甘醇为络合剂,在氨水的碱性条件下,水解制备Zr02溶胶,并加入聚乙烯吡喏烷酮(PVP)来提高膜层的激光损伤阈值,提拉法涂膜。采用粘度、粒度分布、IR、DSC、XRD、AFM等测试手段对溶胶和薄膜性能进行表征。... 以Zr(CC3H7)4为前驱体,二甘醇为络合剂,在氨水的碱性条件下,水解制备Zr02溶胶,并加入聚乙烯吡喏烷酮(PVP)来提高膜层的激光损伤阈值,提拉法涂膜。采用粘度、粒度分布、IR、DSC、XRD、AFM等测试手段对溶胶和薄膜性能进行表征。结果表明,ZrO2溶胶具有较好的粘度稳定性;薄膜表面均匀平整;ZrO2-PVP溶胶颗粒粒径分布比ZrO2溶胶的集中;ZrO2凝胶粉在329℃附近由非晶态转变为四方晶相结构,在600℃时已有单斜晶相结构出现,随温度的升高由四方晶相向单斜晶相结构转变;加入PVP能有效提高膜层的激光损伤阈值,ZrO2膜的激光损伤阈值为10.2J/cm^2(1064nm,1ns),ZrO2-PVP膜的激光损伤阈值为14.17J/cm^2(1064nm,1ns)。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶 薄膜 zro2 Zr(0C3H7)4 聚乙烯吡喏烷酮
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离子注入对复合沉积ZrO2薄膜的组织结构影响规律分析
5
作者 孙跃 张景宝 王洋 《中国材料科技与设备》 2006年第6期54-56,60,共4页
本文采用真空阴极弧离子镀与等离子体基离子注入相结合的复合沉积技术,以硅片为基底制备了ZrO2薄膜。利用GIXRD、AFM和TEM研究了氧离子注入时间对薄膜的相结构、表面形貌影响规律。结果表明,氧离子注入时间对ZrO2薄膜的微观组织结构... 本文采用真空阴极弧离子镀与等离子体基离子注入相结合的复合沉积技术,以硅片为基底制备了ZrO2薄膜。利用GIXRD、AFM和TEM研究了氧离子注入时间对薄膜的相结构、表面形貌影响规律。结果表明,氧离子注入时间对ZrO2薄膜的微观组织结构有显著的影响;适宜的工艺参数可以获得m(111)择优取向;相对于其它方法所制备的ZrO2薄膜,本文所制备的ZrO2薄膜具有较低的粗糙度值。 展开更多
关键词 离子注入 zro2 薄膜 显微组织
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二氧化锆薄膜表面粗糙度的研究 被引量:8
6
作者 潘永强 吴振森 +1 位作者 杭凌侠 罗廷 《应用光学》 CAS CSCD 2008年第4期606-609,共4页
采用电子束蒸发工艺,利用泰勒霍普森相关相干表面轮廓粗糙度仪,研究了不同基底粗糙度、不同二氧化锆薄膜厚度以及不同的离子束辅助能量下所沉积的二氧化锆薄膜的表面粗糙度。结果表明:随着基底表面粗糙度的增加,二氧化锆薄膜表面粗糙度... 采用电子束蒸发工艺,利用泰勒霍普森相关相干表面轮廓粗糙度仪,研究了不同基底粗糙度、不同二氧化锆薄膜厚度以及不同的离子束辅助能量下所沉积的二氧化锆薄膜的表面粗糙度。结果表明:随着基底表面粗糙度的增加,二氧化锆薄膜表面粗糙度呈现出先缓慢增加,当基底的粗糙度大于10 nm后呈现快速增加的趋势;随着二氧化锆薄膜厚度的增加,其表面均方根粗糙度(RM S)先减小后增大;随着辅助沉积离子能量的增加,其表面粗糙度呈现出先减小后增加的趋势。 展开更多
关键词 二氧化锆薄膜 表面粗糙度 离子束辅助沉积 离子能量
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钽-氧化锆光纤黑体腔温度传感器特性参数测试 被引量:5
7
作者 郝晓剑 桑涛 +1 位作者 潘保武 周汉昌 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第2期373-378,共6页
为了实现恶劣环境、狭小空间瞬态高温的测量,采用溅射、等离子体喷涂技术研制了蓝宝石光纤钽(熔点为2 997℃)-氧化锆(熔点为2 715℃)薄膜黑体腔瞬态高温传感器。设计了3支水电解的氢氧焰枪组成的恒温高温静态灵敏度标定装置和大功率高... 为了实现恶劣环境、狭小空间瞬态高温的测量,采用溅射、等离子体喷涂技术研制了蓝宝石光纤钽(熔点为2 997℃)-氧化锆(熔点为2 715℃)薄膜黑体腔瞬态高温传感器。设计了3支水电解的氢氧焰枪组成的恒温高温静态灵敏度标定装置和大功率高频可调制CO2激光脉冲作为阶跃激励源的动态特性标定装置。测试结果表明:当静态灵敏度标定装置恒温区为1 721℃、传感器抗冲击能力达到50 MPa以上时,传感器测得的温度为2 802℃;当CO2激光脉冲作为1 500℃高温阶跃输入信号时,测得该传感器时间常数为微秒数量级。 展开更多
关键词 仪器仪表技术 钽-氧化锆薄膜 动态特性 瞬态超高温 抗冲击能力 测试
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钇稳定氧化锆薄膜的制备及其微细加工 被引量:5
8
作者 张卫华 赵高扬 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期424-428,共5页
以甲醇为溶剂,硝酸氧锆、硝酸钇为前驱物,采用溶胶-凝胶方法,通过引入化学修饰剂乙酰丙酮(AcAcH),使乙酰丙酮和锆离子形成螯合物,得到了具有紫外光感光性的溶胶及其凝胶薄膜,提出了YSZ薄膜的微细图形加工新方法.UV-Vis.分光光度计的紫... 以甲醇为溶剂,硝酸氧锆、硝酸钇为前驱物,采用溶胶-凝胶方法,通过引入化学修饰剂乙酰丙酮(AcAcH),使乙酰丙酮和锆离子形成螯合物,得到了具有紫外光感光性的溶胶及其凝胶薄膜,提出了YSZ薄膜的微细图形加工新方法.UV-Vis.分光光度计的紫外光谱测试结果表明:乙酰丙酮与锆离子形成的螯合物在室温、可见光、大气环境下,可以存在于凝胶薄膜中,并具有较好的热稳定性和光化学稳定性,其紫外光谱的特征吸收峰大约在310nm附近;325nm紫外激光光源照射凝胶薄膜,能破坏、分解凝胶薄膜中的这种螯合物结构,使凝胶薄膜的物理化学性质发生变化,实验发现,经过紫外激光照射的凝胶薄膜在适当的有机溶剂(如甲醇等)中的溶解度和溶解速度显著降低,利用这一特性,采用325nm紫外激光通过掩膜照射凝胶薄膜,并在适当的有机溶剂中溶洗掉未受照射的区域,经过800℃,20min热处理,得到了具有微细图形的YSZ薄膜,XRD测试表明该薄膜相结构为立方相. 展开更多
关键词 氧化锆薄膜 溶胶-凝胶法 感光性 微细图形 制备 微细加工 YSZ薄膜
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Sol-Gel法制备ZrO_2-SnO_2薄膜的常温气敏机理 被引量:6
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作者 方国家 刘祖黎 +1 位作者 张杰 姚凯伦 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第4期357-362,共6页
根据Sol-Gel工艺制备的ZrO2-SnO2薄膜的气敏性能数据,提出了常温下SnO2(ZrO2)薄膜对H2S的气敏机理模型.根据此模型所得定量分析结果与实验结果一致.
关键词 薄膜 常温气敏机理 气敏 二氧化锡 二氧化锆
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反应溅射法制备铝掺杂氧化锆薄膜及其热稳定性的研究 被引量:3
10
作者 马春雨 李智 张庆瑜 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期1206-1210,共5页
采用反应射频磁控溅射在Si(100)基片上制备了不同微结构的铝掺杂氧化锆薄膜.利用高分辨透射电子显微镜、X射线衍射仪和原子力显微镜研究了退火温度对铝掺杂氧化锫薄膜热学稳定性、界面稳定性和表面粗糙度的影响,探讨了铝掺杂氧化锆薄膜... 采用反应射频磁控溅射在Si(100)基片上制备了不同微结构的铝掺杂氧化锆薄膜.利用高分辨透射电子显微镜、X射线衍射仪和原子力显微镜研究了退火温度对铝掺杂氧化锫薄膜热学稳定性、界面稳定性和表面粗糙度的影响,探讨了铝掺杂氧化锆薄膜的I-V特性与薄膜的微观状态之间的关系.研究结果显示:在铝掺杂氧化锆薄膜中掺入不同量的Al对薄膜的微结构有较大影响,随着薄膜中Al/Zr原子含量比的增大,薄膜微结构经历从α-ZrO_2(未掺杂)到t-(Zr,Al)O_2相和c-(Zr,Al)O_2相(Al/Zr=1/4)再到α-(Zr,Al)O_2(Al/Zr=4/5)的变化;与纯ZrO_2薄膜相比,Al掺杂氧化锫(Al/Zr=4/5)薄膜的结晶化温度明显提高,薄膜热学稳定性得到改善. 展开更多
关键词 薄膜物理学 铝掺杂氧化锆薄膜 磁控溅射 热稳定性
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溶胶-凝胶法制备ZrO_2薄膜及其耐腐蚀性与血液相容性研究 被引量:2
11
作者 刘莹 刘小龙 +1 位作者 王军 丁红燕 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第14期14061-14065,共5页
采用溶胶-凝胶法在316L不锈钢基底上制备氧化锆(ZrO2)薄膜,薄膜采用分级干燥工艺,经500℃退火制备得到。X射线衍射(XRD)分析了干凝胶粉末的物相结构;扫描电镜(SEM)观察了提拉速度对薄膜表面显微结构的影响;在PBS模拟体液中测试了动电位... 采用溶胶-凝胶法在316L不锈钢基底上制备氧化锆(ZrO2)薄膜,薄膜采用分级干燥工艺,经500℃退火制备得到。X射线衍射(XRD)分析了干凝胶粉末的物相结构;扫描电镜(SEM)观察了提拉速度对薄膜表面显微结构的影响;在PBS模拟体液中测试了动电位极化曲线,并对比了试样的耐腐蚀性能;基于接触角测试结果,探讨了薄膜亲/疏水性能,计算了薄膜的表面能及其与血液组分的界面张力。结果表明,500℃退火的ZrO2晶化为四方相结构,以7cm/min提拉速度能制备得到均匀致密的ZrO2纳米薄膜,且具有良好的耐腐蚀性与血液相容性。 展开更多
关键词 zro2薄膜 316L不锈钢 溶胶-凝胶 耐腐蚀性 血液相容性
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工作气压对电子束沉积ZrO_2薄膜折射率和聚集密度的影响 被引量:7
12
作者 郝殿中 吴福全 +2 位作者 马丽丽 闫斌 张旭 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期224-227,共4页
采用电子束蒸发的方法,用石英晶体振荡法监控薄膜的蒸发速率,在不同工作气压下制备了ZrO2薄膜样品.在相调制型椭圆偏振光谱仪和分光光度计上对样品的光谱特性进行了测试.根据波长漂移的理论,计算出薄膜的聚集密度.结果表明,随着工作气... 采用电子束蒸发的方法,用石英晶体振荡法监控薄膜的蒸发速率,在不同工作气压下制备了ZrO2薄膜样品.在相调制型椭圆偏振光谱仪和分光光度计上对样品的光谱特性进行了测试.根据波长漂移的理论,计算出薄膜的聚集密度.结果表明,随着工作气压的降低,薄膜的聚集密度和折射率都随之增大. 展开更多
关键词 薄膜 zro2薄膜 折射率 聚集密度 电子束蒸发
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基于原子层沉积的氧化锆薄膜工艺优化研究 被引量:2
13
作者 张禹 韦习成 张浩 《人工晶体学报》 CSCD 北大核心 2017年第4期594-598,共5页
利用原子层沉积技术(Atomic layer deposition,ALD)进行ZrO_2薄膜工艺研究,获得了低温下ZrO_2薄膜ALD的最佳工艺条件。分析了在低温下前驱体脉冲时间,吹扫时间生长工艺条件对薄膜性能的影响。以四(二甲基氨)基锆(TDMAZ)和H_2O为前驱体,... 利用原子层沉积技术(Atomic layer deposition,ALD)进行ZrO_2薄膜工艺研究,获得了低温下ZrO_2薄膜ALD的最佳工艺条件。分析了在低温下前驱体脉冲时间,吹扫时间生长工艺条件对薄膜性能的影响。以四(二甲基氨)基锆(TDMAZ)和H_2O为前驱体,制备了均匀性良好,表面粗糙度低,可见光透过率高,水汽阻挡效果良好的ZrO_2薄膜。 展开更多
关键词 原子层沉积 ZR O2薄膜 工艺优化
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新型纳米ZrO_2/聚酰亚胺复合超薄膜的制备表征及其介电性能 被引量:7
14
作者 程凤梅 马明月 李海东 《复合材料学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第7期1725-1730,共6页
以油酸为有机配体,采用两相方法合成了油溶性的超小尺寸纳米晶体纳米ZrO_2(nano ZrO_2),并对nano ZrO_2表面包覆的油酸改性使纳米晶体与聚酰胺酸(PAA)接枝,通过旋膜法热亚胺化后形成nano ZrO_2/聚酰亚胺(PI)复合超薄膜。利用TEM、XRD、F... 以油酸为有机配体,采用两相方法合成了油溶性的超小尺寸纳米晶体纳米ZrO_2(nano ZrO_2),并对nano ZrO_2表面包覆的油酸改性使纳米晶体与聚酰胺酸(PAA)接枝,通过旋膜法热亚胺化后形成nano ZrO_2/聚酰亚胺(PI)复合超薄膜。利用TEM、XRD、FTIR和SEM等对nano ZrO_2及nano ZrO_2/PI复合超薄膜进行表征,并对nano ZrO_2/PI复合超薄膜的介电性能进行了探究。结果显示,nano ZrO_2尺寸均一(5.0nm左右),为锐钛矿晶型,其晶体结构和尺寸不受改性接枝影响。nano ZrO_2在复合超薄膜中分散良好。电学研究表明,复合超薄膜的介电性能受nano ZrO_2与PAA质量比及制膜热亚胺化温度的影响。当PAA∶ZrO_2质量比为2∶3、热亚胺化温度为320℃时,介电常数达到最大,几乎是纯PI薄膜的2倍。两相法-改性接枝-热亚胺化制备PI复合超薄膜的方法简单高效,能够避免无机粒子在PI基体内的团聚并提高介电性能,对于PI基复合薄膜的制备、应用及推广具有重要意义。 展开更多
关键词 zro2 纳米晶体 改性 聚酰亚胺 超薄膜 介电常数
原文传递
电子束蒸发法制备ZrO_2薄膜的相变模型分析 被引量:4
15
作者 吴师岗 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第10期1724-1726,共3页
用电子束蒸发方法制备了纯的ZrO2薄膜和含Y2O3摩尔分数为7%和13%的ZrO2薄膜,即YSZ薄膜,通过测定薄膜的损伤阈值来验证温度诱导相变模型;并用X射线衍射(XRD)来测定ZrO2和YSZ镀膜材料和薄膜的结构特征。结果表明:ZrO2镀膜材料和薄膜室温... 用电子束蒸发方法制备了纯的ZrO2薄膜和含Y2O3摩尔分数为7%和13%的ZrO2薄膜,即YSZ薄膜,通过测定薄膜的损伤阈值来验证温度诱导相变模型;并用X射线衍射(XRD)来测定ZrO2和YSZ镀膜材料和薄膜的结构特征。结果表明:ZrO2镀膜材料和薄膜室温下都表现为单斜相,YSZ镀膜材料和薄膜室温下都以立方相存在;YSZ薄膜的损伤阈值远高于ZrO2薄膜的损伤阈值,这是因为添加Y2O3后的YSZ材料的相比较稳定,在蒸发过程中不会发生相变,而ZrO2材料则发生相变,产生缺陷,缺陷在激光作用下成为吸收中心和初始破坏点,导致ZrO2薄膜的损伤阈值降低。 展开更多
关键词 zro2薄膜 相变模型 缺陷 X射线衍射 损伤阈值
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高激光损伤阈值溶胶-凝胶ZrO_2薄膜 被引量:2
16
作者 李海元 唐永兴 胡丽丽 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第A02期185-187,共3页
采用醇热法水解氧氯化锆(ZrOCl2.8H2O)制备ZrO2溶胶,提拉法涂膜。采用粘度、粒度分布、折射率、IR、DSC、AFM等测试手段对溶胶和薄膜性能进行表征。结果表明,ZrO2溶胶颗粒的平均粒径为18.9nm,薄膜经300℃热处理后折射率可高达1.95,膜层... 采用醇热法水解氧氯化锆(ZrOCl2.8H2O)制备ZrO2溶胶,提拉法涂膜。采用粘度、粒度分布、折射率、IR、DSC、AFM等测试手段对溶胶和薄膜性能进行表征。结果表明,ZrO2溶胶颗粒的平均粒径为18.9nm,薄膜经300℃热处理后折射率可高达1.95,膜层表面均匀平整,表面平均粗糙度仅为0.561nm,膜层的激光损伤阈值为14J/cm(21064nm,1ns)。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶 激光损伤阈值 薄膜 zro2 ZrOCl2·8H20
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溶胶-凝胶ZrO_2/SiO_2双层减反膜(英文) 被引量:1
17
作者 李海元 熊怀 +1 位作者 唐永兴 胡丽丽 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第S2期145-148,共4页
以锆酸丙酯[Zr(OPr)4]、正硅酸乙酯(TEOS)为原料,用溶胶-凝胶提拉法涂膜,制备了高透过的λ/4-λ/4型ZrO2/SiO2双层减反膜。以锆酸丙酯为前驱体,乙酰丙酮为络合剂,在盐酸的催化条件下,于乙醇溶剂中水解制备ZrO2溶胶。ZrO2溶胶具有很好的... 以锆酸丙酯[Zr(OPr)4]、正硅酸乙酯(TEOS)为原料,用溶胶-凝胶提拉法涂膜,制备了高透过的λ/4-λ/4型ZrO2/SiO2双层减反膜。以锆酸丙酯为前驱体,乙酰丙酮为络合剂,在盐酸的催化条件下,于乙醇溶剂中水解制备ZrO2溶胶。ZrO2溶胶具有很好的稳定性。制备的双层减反膜具有很好的减反效果,在石英玻璃基片二面涂膜,在激光三倍频波长351nm处透过率达到99.41%,在BK-7光学玻璃基片上涂制的双减反层膜在基频波长1053nm处透过率达到99.63%。该减反膜的均方根粗糙度(RMS)为1.038nm。膜层具有较高的激光损伤阈值,在激光波长为1064nm,脉冲宽度为1ns时,ZrO2膜的激光损伤阈值为19.6J/cm2,双层减反膜的激光损伤阈值为16.8J/cm2。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶 薄膜 zro2/SiO2 双层减反
原文传递
纳米TiO_2/ZrO_2/Ce_2O_3复合薄膜的制备与光催化性能研究 被引量:1
18
作者 潘杰 刘素文 +2 位作者 王彦敏 崔晓鹏 郭婷 《玻璃与搪瓷》 CAS 2005年第5期10-13,52,共5页
采用溶胶-凝胶法分别制备了TiO2/ZrO2、TiO2/ZrO2/Ce2O3纳米复合薄膜。利用紫外-可见分光光度计、扫描电镜(SEM)等手段,对薄膜的光谱特性、晶粒尺寸、表面形貌进行了表征,并用分光光度法研究了复合薄膜对甲基橙溶液的降解,以及稀土铈离... 采用溶胶-凝胶法分别制备了TiO2/ZrO2、TiO2/ZrO2/Ce2O3纳米复合薄膜。利用紫外-可见分光光度计、扫描电镜(SEM)等手段,对薄膜的光谱特性、晶粒尺寸、表面形貌进行了表征,并用分光光度法研究了复合薄膜对甲基橙溶液的降解,以及稀土铈离子对薄膜的光催化效率和抗失活稳定性的影响。结果表明,Ce3+可使TiO2/ZrO2薄膜中的晶粒尺寸减小,且晶粒在薄膜表面分布均匀致密,薄膜的光催化活性和抗失活稳定性均有较大提高。 展开更多
关键词 TIO2复合薄膜 溶胶-凝胶法 稀土离子 光催化 抗失活稳定性
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Y^(3+)掺杂BST/ZrO_2复合薄膜的制备及介电性能研究
19
作者 姜楠 刘军 +4 位作者 洪玮 张娟 吴伟骏 林鹏飞 骆英 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第7期1963-1969,共7页
运用溶胶-凝胶法在Si/SiO_2/Ti/Pt基底上制备了掺杂不同量的Y^(3+)的单层Ba_(0.65)Sr_(0.35)TiO_3(BST)薄膜和并联结构的BST/ZrO_2复合薄膜。研究发现:当BST溶胶中掺入了适量的Y^(3+)后,制备的单层BST的表面形貌得到改善,介电性能提高;... 运用溶胶-凝胶法在Si/SiO_2/Ti/Pt基底上制备了掺杂不同量的Y^(3+)的单层Ba_(0.65)Sr_(0.35)TiO_3(BST)薄膜和并联结构的BST/ZrO_2复合薄膜。研究发现:当BST溶胶中掺入了适量的Y^(3+)后,制备的单层BST的表面形貌得到改善,介电性能提高;掺杂的Y^(3+)为1mol%时单层BST薄膜介电性能最佳,介电常数为400.53;介电损耗为0.0125。BST/ZrO_2复合薄膜的电容值相对于单层BST薄膜得到明显提高,当烧结温度为750℃时,BST/ZrO_2复合薄膜综合介电性能最佳,介电常数790.12;介电损耗达到0.051。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 BST薄膜 BST/zro2复合薄膜 介电性能
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提拉速度对溶胶-凝胶法制备氧化锆薄膜均匀性的影响
20
作者 刘莹 罗美红 张秋红 《南昌大学学报(工科版)》 CAS 2016年第2期156-159,204,共5页
研究了3种不同提拉速度对溶胶-凝胶提拉法制备氧化锆薄膜均匀性的影响。以无机盐氧氯化锆为锆源,制备出澄清透明的溶胶;采用0.4、0.7和1.0 mm/s的提拉速度分别在二氧化硅基底上制备出氧化锆薄膜;经干燥、热处理后运用WYKO表面分析仪对... 研究了3种不同提拉速度对溶胶-凝胶提拉法制备氧化锆薄膜均匀性的影响。以无机盐氧氯化锆为锆源,制备出澄清透明的溶胶;采用0.4、0.7和1.0 mm/s的提拉速度分别在二氧化硅基底上制备出氧化锆薄膜;经干燥、热处理后运用WYKO表面分析仪对薄膜表面形貌进行表征。结果表明:提拉速度对薄膜表面粗糙度具有重要作用,1.0 mm/s的提拉速度下制备的氧化锆薄膜表面粗糙度较小。 展开更多
关键词 氧化锆薄膜 溶胶-凝胶 提拉速度 表面粗糙度
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