Effects of RF-Sputtering Method Based Oxygen Flow Rate Change on the Properties of ZrO2 Thin Film
Effects of RF-Sputtering Method Based Oxygen Flow Rate Change on the Properties of ZrO2 Thin Film
出处
《材料科学与工程（中英文A版）》
2012年第3期341-345,共5页
Journal of Materials Science and Engineering A
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