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题名NbN沉积膜的抗腐蚀特性研究
被引量：2
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作者
李永良
宋教花
张涛
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机构
北京师范大学分析测试中心
北京师范大学低能核物理研究所
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出处
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
2002年第5期395-398,共4页
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文摘
利用磁过滤等离子体沉积技术在单晶Si和碳钢衬底上生长一层NbN沉积膜 ,用XPS ,XRD和SEM对膜层进行测量和分析 ,结果表明 ,沉积膜为δ NbN ,沉积膜的质量与样品的衬底温度有关 ,衬底温度越高 ,生成的膜越致密 ,膜的表面越平整光滑。多次循环阳极极化扫描曲线测量表明 ,沉积膜样品的致钝电流密度 (Ip)较碳钢降低 (1～ 2 )个数量级 ,抗腐蚀性能大幅度提高。
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关键词
vapd
NBN
沉积膜
抗腐蚀性
等离子体沉积
氮化铌
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Keywords
vapd,NbN,Deposited film,Corrosion resistance
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分类号
TB43
[一般工业技术]
O484
[理学—固体物理]
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题名光传感器的研究进展及应用
被引量：4
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作者
王秀山
宋登元
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机构
河北大学电子与信息工程系
北京广播电视大学
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出处
《传感器世界》
1997年第9期30-35,共6页
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文摘
光传感器是光信息检测中的关键部件.本文着重介绍了半导体雪崩光电二极管(APD)的研究现状和应用,以及一种新型的单光子探测器—真空雪崩光电二极管(VAPD)的结构,原理和特性.同时将光电倍增管(PMT)、半导体雪崩光电二极管和真空雪崩光电二极管)的性能进行了比较.
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关键词
光传感器
雪崩光电二极管
光电倍增管
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Keywords
Semiconductor, Optical sensor, APDs, vapd
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分类号
TN15
[电子电信—物理电子学]
TN36
[电子电信—物理电子学]
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