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Design and feedforward control of large-rotation two-axis scan mirror assembly with MEMS sensor integration 被引量:6
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作者 Hai HUANG Xintao ZHENG Weipeng LI 《Chinese Journal of Aeronautics》 SCIE EI CAS CSCD 2019年第8期1912-1922,共11页
As a key component of electro-optical systems, a Two-axis Scan mirror AssemblY(TSAY) is usually used for Line-of-Sight(LOS) precision pointing, tracking, scanning, and stabilizing. Therefore, it is necessary for a TSA... As a key component of electro-optical systems, a Two-axis Scan mirror AssemblY(TSAY) is usually used for Line-of-Sight(LOS) precision pointing, tracking, scanning, and stabilizing. Therefore, it is necessary for a TSAY to have a large angular range, high dynamic characteristics, and small mirror surface distortion. Furthermore, vibration from carriers of electro-optical systems, such as spacecraft and airplanes, is inevitable, so it is critical to guarantee the control accuracy of a TSAY under vibration. In this paper, a TSAY prototype is designed and developed. To increase the control bandwidth, structural topology optimization is applied to the TSAY’s elliptical mirror to reduce the moment of inertia, meanwhile keeping surface flatness. A flexible hinge is adopted to achieve a large angular range. To suppress the angular perturbation caused by the base linear vibration, an adaptive feedforward loop with base-integrated Micro-Electro-Mechanical System(MEMS) accelerators is constructed to enhance the TSAY’s feedback loop. Simulation and experimental results show that the TSAY prototype’s two-axis mechanical angular ranges are more than ±3.2°, the mirror surface flatness Root Mean Square(RMS) value is better than 0.04 k, and the closed-loop bandwidth is beyond 330 Hz. These are suitable for most applications. Besides, the angular perturbation caused by the base vibration can be suppressed more than 37.7% with the addition of the adaptive feedforward loop. 展开更多
关键词 Adaptive FEEDFORWARD Micro-Electro-Mechanical System ACCELERATOR scan mirror TOPOLOGICAL optimization Vibration suppression
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Battlefield dynamic scanning and staring imaging system based on fast steering mirror 被引量:4
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作者 CHANG Tianqing WANG Quandong +2 位作者 ZHANG Lei HAO Na DAI Wenjun 《Journal of Systems Engineering and Electronics》 SCIE EI CSCD 2019年第1期37-56,共20页
This paper presents the design of an experimental battlefield dynamic scanning and staring imaging system based on a fast steering mirror(FSM), which is capable of real-time monitoring of hot targets and wide-area rec... This paper presents the design of an experimental battlefield dynamic scanning and staring imaging system based on a fast steering mirror(FSM), which is capable of real-time monitoring of hot targets and wide-area reconnaissance of hot regions. First,the working principle and working sequence of the FSM are briefly analyzed. The mathematical model of the FSM system is built by modeling its dynamic and electrical properties, and the rationality of the model is validated by means of model identification. Second,the influence of external sources of disturbance such as the carrier and moment on the control precision of the FSM is effectively suppressed by the jointly controlling of proportional integral(PI)and disturbance observer(DOB), thus realizing a high precision and strong robustness control of the FSM system. Then, this paper designs an experimental prototype and introduces a special optical structure to enable the infrared camera to share the FSM with the visible light camera. Finally, the influence of the velocity difference between the mirror of the FSM and the rotating platform on the imaging quality of the system is experimentally analyzed by using the image sharpness evaluation method based on point sharpness. A good dynamic scanning and staring imaging result is achieved when the velocity of these two components correspond. 展开更多
关键词 fast STEERING mirror (FSM) dynamic scanning and staring backscanning compensation DISTURBANCE OBSERVER (DOB) point sharpness.
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Endoscopic Optical Doppler Tomography Based on Two-Axis Scanning MEMS Mirror
3
作者 王东琳 郝蕴琦 +4 位作者 翟凤潇 杨坤 刘洪琼 陈巧 谢会开 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2018年第12期5-9,共5页
We study the feasibility of endoscopic optical Doppler tomography with a micro-electro-mechanical system(MEMS) mirror based probe. The additional phase shifts introduced by the probe are tracked and formulated.The sup... We study the feasibility of endoscopic optical Doppler tomography with a micro-electro-mechanical system(MEMS) mirror based probe. The additional phase shifts introduced by the probe are tracked and formulated.The suppression method of the probe phase shifts is proposed and validated by fluid flow detection experiments.In vivo blood flow detection is also implemented on a hairless mouse. The velocities of the blood flow in two directions are obtained to be-8.1 mm/s and 6.6 mm/s, respectively. 展开更多
关键词 Endoscopic Optical Doppler Tomography Based on Two-Axis scanning MEMS mirror
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基于镜像重构的差动共焦快速曲面测量方法
4
作者 朱子腾 刘昱含 +1 位作者 张晓程 邱丽荣 《光学技术》 北大核心 2025年第5期533-540,共8页
针对传统差动共焦方法测量复杂曲面精度和效率难以兼顾的问题,提出基于镜像重构的差动共焦快速曲面测量方法,首先对待测曲面进行先导式扫描,利用共焦曲线关于零点对称的特性进行曲线镜像重构,减少扫描行程,提高测量效率;进行精扫描,依... 针对传统差动共焦方法测量复杂曲面精度和效率难以兼顾的问题,提出基于镜像重构的差动共焦快速曲面测量方法,首先对待测曲面进行先导式扫描,利用共焦曲线关于零点对称的特性进行曲线镜像重构,减少扫描行程,提高测量效率;进行精扫描,依据差动共焦曲线的过零点精确对应待测曲面特征点的特性,保证对曲面表面的高精度定焦。方法无需复杂的硬件改造,突破测量时对线性区间的依赖,经实验验证,所提方法所测面形结果的RMS值为13.8nm,保证了测量精度,且与传统方法所测表面误差主要特征分布接近,测量效率提高到传统方法的2倍以上,为复杂表面的快速精密测量提供一种新的有效途径。 展开更多
关键词 差动共焦测量 曲面测量 快速扫描 镜像重构
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基于二维单镜面MEMS振镜的扫描畸变分析及电压校正
5
作者 毛志翔 徐睿 +3 位作者 孙佳烽 胡天 石岩 陈亮 《中国计量大学学报》 2025年第2期203-209,共7页
目的:针对二维单镜面微机电系统(MEMS)振镜在动态扫描中,因镜面几何特性与光路耦合效应产生的复合畸变问题,提出一种基于电压前馈校正的扫描畸变补偿算法。方法:通过构建包含机械偏转、光路传输与空间坐标映射的扫描理论模型,揭示了扫... 目的:针对二维单镜面微机电系统(MEMS)振镜在动态扫描中,因镜面几何特性与光路耦合效应产生的复合畸变问题,提出一种基于电压前馈校正的扫描畸变补偿算法。方法:通过构建包含机械偏转、光路传输与空间坐标映射的扫描理论模型,揭示了扫描畸变的形成机制及量化规律。基于非线性优化方法,建立扫描轨迹误差最小化目标函数,通过控制反演电压实现光学畸变的主动预补偿。结果:校正后扫描轨迹的平均绝对误差(MAE)由2.7577°降至0.7247°,降幅达74%。结论:该方法无需引入额外光学元件或闭环反馈,为高精度MEMS振镜激光扫描应用提供了有效的开环控制解决方案。 展开更多
关键词 MEMS振镜 扫描畸变 非线性优化 电压补偿
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基于F-theta 透镜与楔镜分束的太赫兹技术研究
6
作者 林子豪 李全勇 +1 位作者 任姣姣 薛竣文 《长春理工大学学报(自然科学版)》 2025年第2期45-54,共10页
为了提高太赫兹线扫描成像系统的扫描精度与信息提取的准确性,优化设计了其中的分束系统与扫描系统。设计了不同角度的楔镜将平板分束镜中多次反射所产生的回波信号消除,分析了不同楔角下的信号强度,并将高阻硅楔镜、薄膜分束器与HDPE(... 为了提高太赫兹线扫描成像系统的扫描精度与信息提取的准确性,优化设计了其中的分束系统与扫描系统。设计了不同角度的楔镜将平板分束镜中多次反射所产生的回波信号消除,分析了不同楔角下的信号强度,并将高阻硅楔镜、薄膜分束器与HDPE(高密度聚乙烯)楔镜进行信号强度对比。设计了准直透镜和F-theta透镜组成的扫描系统,通过使用非球面使得F-theta透镜的视场角在±30°内实现等相位,最后给出透镜扫描的实验结果与预期相符合,误差小于1%。 展开更多
关键词 太赫兹时域光谱系统 扫描系统 分束系统 F-theta透镜 楔镜
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面向空间宽幅成像的转扫轻量化双面反射镜研究
7
作者 李骏驰 谢新旺 +2 位作者 谢虹波 邓庭辉 李延伟 《先进小卫星技术(中英文)》 2025年第5期70-78,共9页
转扫成像是实现航天遥感宽幅成像的优选方案,大尺寸双面反射镜是转扫成像光学系统中的关键元件。然而,大尺寸双面反射镜的应用场景特殊,其轻量化设计与工程实现存在较大的困难。因此,采用光机力热集成理念来解决大尺寸双面反射镜的设计... 转扫成像是实现航天遥感宽幅成像的优选方案,大尺寸双面反射镜是转扫成像光学系统中的关键元件。然而,大尺寸双面反射镜的应用场景特殊,其轻量化设计与工程实现存在较大的困难。因此,采用光机力热集成理念来解决大尺寸双面反射镜的设计与实现问题。采用碳化硅二次烧结工艺,对双面反射镜进行了结构轻量化设计与烧结工艺可行性验证,实现了双面反射镜外形尺寸273 mm×248 mm×15 mm,质量1.5 kg,轻量化率49.6%的轻量化设计。力学性能有限元分析结果显示:在0°~180°的重力作用下,双面反射镜的面形均方根(root-mean-square,RMS)值最大为10.293 nm,优于12 nm的光学设计要求;在5~100 Hz的振动分析中,3 g量级的加速度激励下反射镜的加速度响应峰值仅为3.01 g,增幅仅3%。对反射镜进行振动试验,结果为3.057 g,与分析结果高度吻合。结合轨道参数的热变形分析结果显示:在4℃温升作用下,双面反射镜的面形RMS值为0.016 nm,优于12 nm的光学设计要求。理论分析与试验验证结果表明:大尺寸双面反射镜具有较大的工程可行性,可促进航天宽幅成像技术的发展。 展开更多
关键词 宽幅相机 转扫成像 双面反射镜 二次烧结 有限元分析 航天遥感
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基于压电偏摆镜的SPAD阵列微扫描单光子成像方法
8
作者 赵焕卿 匡燕瑾 +5 位作者 吴冠霖 田又元 于相之 朱世豪 裘溯 金伟其 《光子学报》 北大核心 2025年第8期14-28,共15页
针对现有具有时间相关单光子计数功能的工作在盖革模式下的单光子雪崩二极管阵列规模偏小、成像分辨率受限及三维重建精度不足的问题,研究了一种基于压电偏摆镜的微扫描单光子成像方法。结合单光子雪崩二极管的高灵敏度和微扫描提升空... 针对现有具有时间相关单光子计数功能的工作在盖革模式下的单光子雪崩二极管阵列规模偏小、成像分辨率受限及三维重建精度不足的问题,研究了一种基于压电偏摆镜的微扫描单光子成像方法。结合单光子雪崩二极管的高灵敏度和微扫描提升空间采样率特点,研制了一套基于压电偏摆镜的单光子雪崩二极管阵列微扫描成像实验系统,实现了“2×2”四步亚像素微扫描成像。结合凸集投影算法,构建融合边缘自适应的点扩散函数优化的单光子二维强度/三维深度图像超分辨重建方法。实验结果表明:系统将32×32像素规模提升至64×64像素,二维强度成像分辨率提高了41.42%,三维深度成像分辨力达16.5 mm;基于像素互相关法的深度重建均方根误差对于直线横截面的三维目标降低了14.12%,对复杂几何目标的三维轮廓还原能力显著提升。该方法作为一种单光子雪崩二极管阵列的超分辨成像的技术途径,在单光子成像领域具有应用前景。 展开更多
关键词 微扫描技术 压电偏摆镜 超分辨重建 凸集投影算法 单光子雪崩二极管阵列 深度图像
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A Compact MEMS-Based Optical Scanning System with Large Field of View for Lidars
9
作者 Yongjie Wang Ligong Chen 《Optics and Photonics Journal》 2021年第8期265-272,共8页
<div style="text-align:justify;"> In this work, a design of a compact optical MEMS-based lidar scanning system with a large field of view (FOV) and small distortion is presented. The scanning system ap... <div style="text-align:justify;"> In this work, a design of a compact optical MEMS-based lidar scanning system with a large field of view (FOV) and small distortion is presented. The scanning system applies an off-axis structure and the length of the system can be reduced to about 10 cm in an optimized way. Simulation results show that a large FOV is achieved under a uniform scanning scheme. In addition, the spot size less than 20 cm at distance of 100 m is also realized. The optical scanning system can be used for the vehicle-mounted Lidar. </div> 展开更多
关键词 MEMS mirror Lidar scanning System Beam Steering Optical Design
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基于双楔形扫描镜的甲烷气体光谱成像方法 被引量:1
10
作者 王夏春 张志荣 +5 位作者 蔡永军 孙鹏帅 庞涛 夏滑 吴边 郭强 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第11期145-154,共10页
随着我国油气管道铺设数量的增加,对管道的维护工作也需予以更多的重视.目前,在油气输送站场内,主要采用人工巡检、对射式和云台式检测设备来检测天然气泄漏.但是这些方法存在响应度差、检测区域受限、泄漏点定位较慢等问题.为了满足对... 随着我国油气管道铺设数量的增加,对管道的维护工作也需予以更多的重视.目前,在油气输送站场内,主要采用人工巡检、对射式和云台式检测设备来检测天然气泄漏.但是这些方法存在响应度差、检测区域受限、泄漏点定位较慢等问题.为了满足对油气管道泄漏实时监测和快速定位的需求,本文设计了一种快速、精确控制的双楔形扫描镜系统,结合可调谐半导体激光吸收光谱技术,使得气体测量由原来的点测量转换为面测量.通过反解迭代优化算法,控制楔形镜的转角获得高效均匀的光束扫描轨迹,并将激光束的偏转方向及检测位置与对应的甲烷浓度信息相融合,构建了包含有位置信息的甲烷浓度数据,实现甲烷气体的光谱成像.实验中为了定量验证测量准确度及空间分辨率,通过标准气袋模拟甲烷泄漏分布,结果表明系统的成像浓度检测限小于500 ppm·m(1 ppm=10^(–6)),位置分辨率小于6 cm.同时该方法可以依据油气站场的测量距离调节扫描步进节点,从而实现成像分辨率的可调节,该成像方法为精确定位甲烷气体泄漏提供了新的思路. 展开更多
关键词 激光吸收光谱 甲烷气体检测 双楔形扫描镜 气体成像
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基于非线性算法的扫描振镜坐标轴标定
11
作者 李勇 周哲海 +1 位作者 李忠祥 陈丽 《激光杂志》 北大核心 2024年第12期67-73,共7页
基于振镜的线结构光扫描测量技术因其高效、高精度的特点在三维测量领域获得了广泛应用。但因安装过程中激光器与振镜转轴难以精确对齐,对整个测量系统的精度产生了很大影响,因此,扫描振镜坐标轴的精确标定成为实现高精度测量的关键难... 基于振镜的线结构光扫描测量技术因其高效、高精度的特点在三维测量领域获得了广泛应用。但因安装过程中激光器与振镜转轴难以精确对齐,对整个测量系统的精度产生了很大影响,因此,扫描振镜坐标轴的精确标定成为实现高精度测量的关键难题之一。提出了一种非线性算法,利用待求解方程具有非线性的特征,通过迭代逼近寻找最优解,完成了振镜坐标轴的精确标定。详细介绍了此标定方法的理论和实现过程,并对三角标定块进行多次测量,结果表明利用该方法的测量误差绝对值在0.2011 mm至0.4927 mm之间,低于传统最小二乘法的0.3135 mm至0.7703 mm,测量精度和稳定性都有显著提升。本方法为基于扫描振镜的高精度测量提供了一种新的解决方案,具有较大的应用价值。 展开更多
关键词 扫描振镜 线结构光 三维测量 标定
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非接触式扫描反射镜转角测量系统 被引量:15
12
作者 王洋 颜昌翔 +4 位作者 胡春晖 汪逸群 顾志远 张达 张新洁 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第4期850-855,共6页
为了提高扫描反射镜转角检测系统的测角范围,建立了基于一字线激光器和线阵CCD的高精度非接触式扫描镜角度检测系统。介绍了检测系统的结构和工作原理,该系统根据激光光斑在CCD上的位置计算扫描反射镜的转角,并利用特殊设计的阵列反射... 为了提高扫描反射镜转角检测系统的测角范围,建立了基于一字线激光器和线阵CCD的高精度非接触式扫描镜角度检测系统。介绍了检测系统的结构和工作原理,该系统根据激光光斑在CCD上的位置计算扫描反射镜的转角,并利用特殊设计的阵列反射镜增大测角范围。为了降低对加工及装调精度的要求,对系统进行了误差分析,给出了采用多项式拟合法进行角度测量的理论依据。讨论了影响系统检测精度的一系列误差源,计算了系统测量的总误差。最后进行了相关的测量实验。实验结果表明:系统的检测系统分辨率为2.5″,测角范围为11°,测角精度可达3″,可以满足扫描反射镜对角度测量系统提出的高精度、非接触、大测角范围的要求。 展开更多
关键词 光谱成像仪 扫描镜 非接触测量 角度测量 多项式拟合 误差分析
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扫描镜动态面形变化和模态分析 被引量:13
13
作者 张卫国 冯卓祥 +1 位作者 陶忠 王虎 《应用光学》 CAS CSCD 2006年第1期58-61,共4页
为了分析某热像仪帧扫描镜在工作状态下的面形变化和产生2000 H z共振的原因,并提供改进设计依据,根据帧扫描镜运动曲线计算了帧扫描镜的扫描角速度和角加速度,用有限元分析软件I-DEA S计算了扫描镜在扫描、加速、减速过程中面型的变化... 为了分析某热像仪帧扫描镜在工作状态下的面形变化和产生2000 H z共振的原因,并提供改进设计依据,根据帧扫描镜运动曲线计算了帧扫描镜的扫描角速度和角加速度,用有限元分析软件I-DEA S计算了扫描镜在扫描、加速、减速过程中面型的变化和前10阶固有模态,分析了扫描镜在试验中产生2000 H z共振的原因,并对扫描镜结构进行了改进,重新计算了面型变化和前10阶模态,试验证明消除了共振现象。最后提出了扫描镜设计时应注意动态下的面型变化是否满足要求,以及固有模态要避开驱动力矩中的干扰频率等要点。 展开更多
关键词 扫描镜 有限元分析 变形分析 模态分析
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航空相机的像旋转特性分析及其补偿方法 被引量:10
14
作者 王俊善 翟林培 +2 位作者 丁亚林 王晓军 肖占全 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2008年第3期493-496,共4页
航空相机在多航迹成像方式中,随着45°反射镜绕光轴旋转对物进行扫描,物体反射像也将绕光轴进行旋转,为此必须采取消除像旋转的措施来保证成像质量。为阐述产生像旋转的原因,分析了扫描反射镜的像旋转特性;并在探讨消除像旋技术理... 航空相机在多航迹成像方式中,随着45°反射镜绕光轴旋转对物进行扫描,物体反射像也将绕光轴进行旋转,为此必须采取消除像旋转的措施来保证成像质量。为阐述产生像旋转的原因,分析了扫描反射镜的像旋转特性;并在探讨消除像旋技术理论的基础上,提出了一种反射镜与探测器同步转动消除像旋转的方法。在多航迹工作方式中,此方法为相机扫描机构连续扫描成像提供了必要条件。利用此方法还改进了以往步进式扫描机构的惯量大、扫描效率低的问题,并在实际工程中得以应用和证明。试验结果表明,该方法的同步旋转误差小于1/3像元,能够获得良好的图像效果。 展开更多
关键词 航空相机 像旋转 45°扫描反射镜 扫描成像
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成像光谱仪运动补偿扫描镜的研制 被引量:12
15
作者 汪逸群 刘伟 +1 位作者 颜昌翔 贾平 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第11期2703-2708,共6页
基于光、机、电一体化的设计思想,研制了一套高精度扫描镜机构,用于提高空间相机对某些特定暗目标的观测能力。首先,根据相机总体下达的性能指标,讨论了可行的驱动方案,确定了以步进电机为核心的系统控制方法。然后,介绍了驱动单元、精... 基于光、机、电一体化的设计思想,研制了一套高精度扫描镜机构,用于提高空间相机对某些特定暗目标的观测能力。首先,根据相机总体下达的性能指标,讨论了可行的驱动方案,确定了以步进电机为核心的系统控制方法。然后,介绍了驱动单元、精密轴系和扫描镜支撑结构3项关键技术。最后,给出了扫描镜机构的工程分析结果并进行了相关例行试验。试验结果表明:设计的扫描镜机构定位误差优于40″,在工作速度范围内相对速度精度优于7%(均方根值),主轴径向跳动误差为2μm,满足了空间相机对扫描镜机构在稳定性、位置和速度精度、体积、重量等方面的要求。 展开更多
关键词 扫描镜 成像光谱仪 空间相机 碳化硅镜 速度精度 位置精度
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航空遥感相机扫描反射镜支撑技术 被引量:20
16
作者 付芸 徐长吉 丁亚林 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2003年第6期550-554,共5页
从保证扫描反射镜成像质量及功能的角度出发,介绍了扫描反射镜及其支撑结构材料的选取原则;探讨了扫描反射镜的支撑方式,以及各种支撑方式的适用范围;针对面型精度要求较高的反射镜,提出了柔性支撑结构的设计思想。通过CAD/CAE工程分析... 从保证扫描反射镜成像质量及功能的角度出发,介绍了扫描反射镜及其支撑结构材料的选取原则;探讨了扫描反射镜的支撑方式,以及各种支撑方式的适用范围;针对面型精度要求较高的反射镜,提出了柔性支撑结构的设计思想。通过CAD/CAE工程分析软件,在各种情况下,对采用柔性支撑结构前后的反射镜组件进行分析,由有限元模型变形情况的对比分析,可以验证此种柔性支撑结构的有效性。最终通过相机的外场试验,由相机的成像质量确定了反射镜支撑结构的可靠性。 展开更多
关键词 航空遥感相机 扫描反射镜 柔性支撑结构 面型精度 CAD CAE
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45°二维扫描镜扫描轴系特性分析 被引量:18
17
作者 惠彬 李景镇 +1 位作者 黄虹宾 裴云天 《红外技术》 CSCD 北大核心 2006年第9期508-511,共4页
对工作于三轴稳定平台的45°扫描镜绕不同轴系摆动时的摆动范围及扫描轨迹进行了分析比较,给出了扫描镜选用不同轴系时的扫描摆动角度的计算方法,在工程应用中具有重要实用意义。
关键词 二维扫描镜 45°镜 轴系 扫描轨迹 扫描视场
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转镜扫描测量超音速氧碘化学激光器二维增益分布 被引量:7
18
作者 多丽萍 闵祥德 +4 位作者 孙以珠 桑凤亭 王麟 杨柏龄 庄琦 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第4期385-388,共4页
首次用二维多面体扫描镜测量了超音速氧碘化学激光器的二维增益分布,测得增益区沿气流方向较长,沿光腔高度方向靠近壁面的两侧存在明显的边界层效应,并且边界层的厚度随着远离喷管出口平面距离的增大而增加。
关键词 氧碘化学激光器 转镜扫描 增益分布
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基于微扫描镜的激光投影(英文) 被引量:7
19
作者 李昭 苑伟政 +3 位作者 吴蒙 燕斌 乔大勇 刘耀波 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第11期1625-1629,共5页
利用微机械加工技术制造出一种新型微扫描镜,结合半导体激光器,可用于投影显示.激光器发出的光束被两个分别沿着X轴、Y轴扭转的镜面相继反射,扫描出二维图形.实验测得扫描镜在15V电压,频率为扫描镜谐振频率2倍的方波信号驱动下,镜子的... 利用微机械加工技术制造出一种新型微扫描镜,结合半导体激光器,可用于投影显示.激光器发出的光束被两个分别沿着X轴、Y轴扭转的镜面相继反射,扫描出二维图形.实验测得扫描镜在15V电压,频率为扫描镜谐振频率2倍的方波信号驱动下,镜子的光学扫描角度达±12°.由于每个镜子都沿各自轴以简谐规律扭转,扫描所得投影为李萨如图形.通过分析图形的形成原理并用Matlab仿真,选出了适用用于任意图案显示的扫描镜谐振频率组合(X轴2 400Hz,Y轴2 425Hz).该组合可以形成194×192个像素点,刷新频率为25Hz.在此基础上提出了一种通过调制激光开关来进行投影显示的方法. 展开更多
关键词 微扫描镜 李萨如图 振动频率组合 激光投影
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长条形扫描反射镜的柔性支撑 被引量:5
20
作者 张雷 丁亚林 +3 位作者 徐正平 张洪文 张健 郭万存 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2015年第12期3678-3683,共6页
为适应复杂的工作环境,提高反射镜的面形精度,设计了基于柔性支撑的RB-Si C材料长条形扫描反射镜。采用三角形单元和四边形单元相结合的背部开放式结构,对扫描反射镜进行了轻量化设计;通过分析支撑点跨距对反射镜变形的影响,对支撑点位... 为适应复杂的工作环境,提高反射镜的面形精度,设计了基于柔性支撑的RB-Si C材料长条形扫描反射镜。采用三角形单元和四边形单元相结合的背部开放式结构,对扫描反射镜进行了轻量化设计;通过分析支撑点跨距对反射镜变形的影响,对支撑点位置进行了优化设计;设计了万向柔性支撑的结构形式,消除装调和环境变化产生的残余应力;利用有限单元法建立了扫描反射镜组件的模型,计算后面形精度可达到0.023λ;采用自准值法,利用Zy Go干涉仪对反射镜的面形精度进行了测量,测量结果显示扫描反射镜的面形RMS值达到0.029λ。通过模拟无穷远处动静态目标进行了静动态成像试验,成像质量一致,通过飞行试验对地面目标进行了拍摄,扫描反射镜动态成像稳定,所获得的图像质量良好。 展开更多
关键词 扫描反射镜 轻量化 柔性支撑 RB-SIC 面形精度
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