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6 GHz~12 GHz 25 W宽带高效率GaN MMIC功率放大器的设计
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作者 默立冬 白元亮 +3 位作者 朱思成 汪江涛 刘帅 范悬悬 《通讯世界》 2025年第7期1-3,共3页
采用基于碳化硅(SiC)衬底的氮化镓(GaN)高电子迁移率晶体管(high electron mobility transistor,HEMT)工艺,设计了一款工作频率为6 GHz~12 GHz、饱和输出功率不小于25 W(44 dBm)的宽带高效率微波功率放大器。该放大器采用3级放大电路,... 采用基于碳化硅(SiC)衬底的氮化镓(GaN)高电子迁移率晶体管(high electron mobility transistor,HEMT)工艺,设计了一款工作频率为6 GHz~12 GHz、饱和输出功率不小于25 W(44 dBm)的宽带高效率微波功率放大器。该放大器采用3级放大电路,末级管芯采用8胞设计。采用滤波器综合方法设计得到各级匹配网络,同时对版图进行了电磁场仿真,并对平面螺旋电感进行了人工神经网络建模,最终流片制成微波功率放大器芯片。测试结果表明,在工作频带内,该放大器饱和输出功率不小于44 dBm,功率增益大于20 dB,功率平坦度小于1 dB,功率附加效率不小于35%,输入驻波比小于1.5:1,具有良好的宽带输出功率和功率附加效率特性。 展开更多
关键词 宽带 氮化镓 微波功率放大器 稳定性 人工神经网络 mmic
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E波段高效率GaN功率放大器MMIC
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作者 廖龙忠 何美林 +3 位作者 毕胜赢 梅崇余 周国 付兴中 《微纳电子技术》 2025年第9期11-16,共6页
研制了一款E波段高效率GaN功率放大器单片微波集成电路(MMIC)。通过优化器件结构、GaN高电子迁移率晶体管(HEMT)材料结构,采用电子束T型栅工艺,制备了栅长0.1μm的4×25μm GaN HEMT。测试结果表明,该器件最大饱和电流密度为1.2 A/... 研制了一款E波段高效率GaN功率放大器单片微波集成电路(MMIC)。通过优化器件结构、GaN高电子迁移率晶体管(HEMT)材料结构,采用电子束T型栅工艺,制备了栅长0.1μm的4×25μm GaN HEMT。测试结果表明,该器件最大饱和电流密度为1.2 A/mm,峰值跨导为540 mS/mm,小信号下测试截止频率fT和最大振荡频率f_(max)分别为110 GHz和240 GHz。采用上述工艺设计了GaN功率放大器MMIC,在工作电压18 V、电流密度200 mA/mm的测试条件下,在71~78 GHz频段内,其饱和输出功率为33.0~33.5 dBm,饱和输出功率密度达到2.49 W/mm,功率附加效率大于14.8%,功率附加效率最大值达到21.1%,线性增益大于19.0 dB。该MMIC可广泛用于5G通信发射前端。 展开更多
关键词 5G通信 T型栅 高效率 GaN功率放大器 单片微波集成电路(mmic)
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6 GHz~24 GHz超宽带数控移相器MMIC的研发
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作者 马瑞 李远鹏 刘会东 《通讯世界》 2025年第6期10-12,共3页
采用0.15μm砷化镓(GaAs)赝配高电子迁移率晶体管工艺设计了一款工作频率为6 GHz~24 GHz的超宽带6位数控移相器单片微波集成电路(monolithic microwave integrated circuit,MMIC)。为使MMIC具备超宽带、小面积和高精度的特性,5.625°... 采用0.15μm砷化镓(GaAs)赝配高电子迁移率晶体管工艺设计了一款工作频率为6 GHz~24 GHz的超宽带6位数控移相器单片微波集成电路(monolithic microwave integrated circuit,MMIC)。为使MMIC具备超宽带、小面积和高精度的特性,5.625°移相单元采用变形的桥T型高/低通型拓扑结构,11.25°移相单元采用开关切全通型拓扑结构,22.5°和45°移相单元采用开关切定向耦合器型拓扑结构,90°和180°移相单元采用开关切复合结构型拓扑结构。该数控移相器在6 GHz~24 GHz频段内,插入损耗小于18.0 dB,移相精度均方根小于2.50°,幅度波动均方根小于0.40 dB。 展开更多
关键词 超宽带 数控移相器 mmic 高精度 小面积
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W波段宽带高增益GaN功率MMIC设计研究
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作者 万悦 张翔 +1 位作者 刘如青 袁冬阳 《通讯世界》 2025年第9期36-38,共3页
提出一款覆盖W波段全频段的高增益氮化镓(GaN)功率单片微波集成电路(monolithic microwave integrated circuit, MMIC)。该芯片采用0.13μm GaN高电子迁移率晶体管(high electron mobility transistor,HEMT)工艺,电路设计中采用高低阻... 提出一款覆盖W波段全频段的高增益氮化镓(GaN)功率单片微波集成电路(monolithic microwave integrated circuit, MMIC)。该芯片采用0.13μm GaN高电子迁移率晶体管(high electron mobility transistor,HEMT)工艺,电路设计中采用高低阻抗线匹配技术,实现了在75 GHz~110 GHz(45 GHz带宽)频带内连续波输出功率大于27.5 dBm,功率增益大于13.5 dB,输入驻波小于2,线性增益典型值为18 dB。 展开更多
关键词 GaN功率mmic W波段 宽带 高增益
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高频GaN功率放大器MMIC芯片级热设计
5
作者 崔朝探 仵志达 +2 位作者 芦雪 焦雪龙 杜鹏搏 《半导体技术》 北大核心 2025年第11期1167-1173,共7页
随着GaN功率放大器单片微波集成电路(MMIC)向高频、大功率方向发展,器件热耗不断增加,散热问题已成为制约电子器件性能提升的关键因素。采用有限元热仿真方法,将热设计应用于电路层面。通过优化单胞管芯栅宽、栅指数量及管芯排布方式,... 随着GaN功率放大器单片微波集成电路(MMIC)向高频、大功率方向发展,器件热耗不断增加,散热问题已成为制约电子器件性能提升的关键因素。采用有限元热仿真方法,将热设计应用于电路层面。通过优化单胞管芯栅宽、栅指数量及管芯排布方式,减小了热耦合效应,显著提升了放大器芯片的散热能力,优化后芯片峰值结温降低了28.05℃。采用红外热成像仪对47~52GHz功率放大器芯片进行结温测试,测试与仿真结果高度吻合,误差在3%以内。相关成果可用于优化和指导芯片散热设计。 展开更多
关键词 GaN功率放大器单片微波集成电路(mmic) 芯片级散热 有限元热仿真 电路层面 热耦合效应
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微基站用GaN HEMT功率MMIC
6
作者 孙嘉庆 汤飞鸿 +1 位作者 徐靖雄 郑惟彬 《电子器件》 2025年第5期974-978,共5页
使用简化的Doherty功率放大器架构,同时采用谐波匹配技术,实现了功率放大器饱和以及回退高效率。利用此技术研制了一款基于0.25μm GaN HEMT工艺的3.4 GHz~3.6 GHz功率MMIC,用于5G微基站通信领域。芯片采用AB类+Doherty的二级放大结构,... 使用简化的Doherty功率放大器架构,同时采用谐波匹配技术,实现了功率放大器饱和以及回退高效率。利用此技术研制了一款基于0.25μm GaN HEMT工艺的3.4 GHz~3.6 GHz功率MMIC,用于5G微基站通信领域。芯片采用AB类+Doherty的二级放大结构,输出网络使用了简化的电抗匹配实现负载调制保证回退下高效率,驱动级利用低通网络实现功率分配和相位补偿,同时在级间引入二次谐波匹配进一步提高芯片效率。实测在漏级偏置28 V条件下芯片可以实现3.4 GHz~3.6 GHz范围内输出功率大于37.5 dBm,功率增益大于20 dB,饱和效率55%,回退6 dB效率大于45%。 展开更多
关键词 DOHERTY GaN mmic 5G 微基站 谐波匹配
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基于新型带宽拓展技术的Doherty功率放大器MMIC设计
7
作者 杨琳 付星源 +5 位作者 刘世华 郭彦辰 高瑞龙 王保柱 张明 侯卫民 《微电子学与计算机》 2025年第2期77-85,共9页
为突破传统Doherty功率放大器(Doherty Power Amplifier,DPA)带宽的限制,提出了一种新型带宽拓展技术,包括对主辅两路有源负载调制网络和相位补偿网络的创新性设计,使得DPA单片微波集成电路(Monolithic Microwave Integrated Circuit,MM... 为突破传统Doherty功率放大器(Doherty Power Amplifier,DPA)带宽的限制,提出了一种新型带宽拓展技术,包括对主辅两路有源负载调制网络和相位补偿网络的创新性设计,使得DPA单片微波集成电路(Monolithic Microwave Integrated Circuit,MMIC)在保持高效率输出的同时,实现宽频带内充分的负载调制。为了验证所提出的设计方法,设计了一款应用于5G大规模MIMO(Multiple Input Multiple Output,多输入多输出)应用的新型高效率宽带非对称氮化镓DPA MMIC。测试结果表明,所设计的DPA芯片在4.5~5.5 GHz范围内可达到39.2~40.6 dBm的饱和输出功率(Saturation Output Power,记为P_(sat))。饱和时的功率附加效率(Power Added Efficiency,PAE,记为P_(AE))为45.2%~51.1%,在输出功率回退6 dB时可实现40.1%~45.0%的P_(AE),小信号增益为12.7~13.9 dB。所提出的DPA在已发表的C波段宽带氮化镓DPA中展示了较高的饱和及6 dB回退P_(AE)。 展开更多
关键词 DOHERTY功率放大器 氮化镓 单片微波集成电路 宽带
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GaAs MMIC用无源元件的模型 被引量:8
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作者 申华军 陈延湖 +5 位作者 严北平 杨威 葛霁 王显泰 刘新宇 吴德馨 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第10期1872-1879,共8页
制作了不同结构参数的GaAsMMIC无源元件,包括矩形螺旋电感、MIM电容和薄膜电阻,建立了无源元件的等效电路模型库,采用多项式公式表征无源元件的模型参数和性能参数,便于电路设计的应用.并提取得到MIM电容的单位面积电容值,约为195pF/mm2... 制作了不同结构参数的GaAsMMIC无源元件,包括矩形螺旋电感、MIM电容和薄膜电阻,建立了无源元件的等效电路模型库,采用多项式公式表征无源元件的模型参数和性能参数,便于电路设计的应用.并提取得到MIM电容的单位面积电容值,约为195pF/mm2,NiCr薄膜电阻的方块电阻约为16·1Ω/□.分析结构参数对螺旋电感性能的影响可知,减小线圈面积相关的寄生损耗有助于获得高品质的电感. 展开更多
关键词 mmic 矩形螺旋电感 MIM电容 薄膜电阻 多项式拟合公式
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14W X-Band AlGaN/GaN HEMT Power MMICs 被引量:5
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作者 陈堂胜 张斌 +3 位作者 任春江 焦刚 郑维彬 陈辰 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期1027-1030,共4页
The development of an AIGaN/GaN HEMT power MMIC on SI-SiC designed in microstrip technology is pres- ented. A recessed-gate and a field-plate are used in the device processing to improve the performance of the AIGaN/G... The development of an AIGaN/GaN HEMT power MMIC on SI-SiC designed in microstrip technology is pres- ented. A recessed-gate and a field-plate are used in the device processing to improve the performance of the AIGaN/GaN HEMTs. S-parameter measurements show that the frequency performance of the AIGaN/GaN HEMTs depends significantly on the operating voltage. Higher operating voltage is a key to higher power gain for the AIGaN/GaN HEMTs. The developed 2-stage power MMIC delivers an output power of more than 10W with over 12dB power gain across the band of 9-11GHz at a drain bias of 30V. Peak output power inside the band reaches 14.7W with a power gain of 13.7dB and a PAE of 23%. The MMIC chip size is only 2.0mm × 1. 1mm. This work shows superiority over previously reported X-band AIGaN/GaN HEMT power MMICs in output power per millimeter gate width and output power per unit chip size. 展开更多
关键词 X-BAND AIGAN/GAN HEMTS power mmic
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W波段InP HEMT MMIC功率放大器 被引量:6
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作者 冯威 刘如青 +1 位作者 胡志富 魏碧华 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第4期267-270,275,共5页
基于InGaAs/InAlAs/InPHEMT设计制作了一款W波段功率放大器芯片。采用分子束外延技术生长了材料结构经过优化设计的InPHEMT外延材料,采用电子束光刻和三层胶工艺制作有源器件的超深亚微米T型栅,并采用神经网络模型对器件进行精确建模。... 基于InGaAs/InAlAs/InPHEMT设计制作了一款W波段功率放大器芯片。采用分子束外延技术生长了材料结构经过优化设计的InPHEMT外延材料,采用电子束光刻和三层胶工艺制作有源器件的超深亚微米T型栅,并采用神经网络模型对器件进行精确建模。电路采用4级级联提高电路的增益,末级采用4胞并联器件有效地分散热源。采用全波电磁场仿真技术设计电路版图有效降低芯片内部的电磁耦合。芯片采用在片脉冲测试,测试结果显示,在脉宽为10μs、占空比为10%、栅压为-0.15V和漏极电压为2V条件下,92~97GHz频率内功率放大器的小信号增益大于15dB,频率为94GHz时的输出功率达到300mW。 展开更多
关键词 W波段 功率放大器 INP HEMT 微波单片集成电路(mmic) 神经网络
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高增益K波段MMIC低噪声放大器 被引量:7
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作者 王闯 钱蓉 孙晓玮 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第7期1285-1289,共5页
基于0.25μm PHEMT工艺,给出了两个高增益K波段低噪声放大器.放大器设计中采用了三级级联增加栅宽的电路结构,通过前级源极反馈电感的恰当选取获得较高的增益和较低的噪声;采用直流偏置上加阻容网络,用来消除低频增益和振荡;三级电路通... 基于0.25μm PHEMT工艺,给出了两个高增益K波段低噪声放大器.放大器设计中采用了三级级联增加栅宽的电路结构,通过前级源极反馈电感的恰当选取获得较高的增益和较低的噪声;采用直流偏置上加阻容网络,用来消除低频增益和振荡;三级电路通过电阻共用一组正负电源,使用方便,且电路性能较好,输入输出驻波比小于2.0;功率增益达24dB;噪声系数小于3.5dB.两个放大器都有较高的动态范围和较小的面积,放大器1dB压缩点输出功率大于15dBm;芯片尺寸为1mm×2mm×0.1mm.该放大器可以应用在24GHz汽车雷达前端和26.5GHz本地多点通信系统中. 展开更多
关键词 PHEMT K波段 mmic 高增益 低噪声放大器 芯片级电磁场仿真
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一种新颖的DC~50GHz低插入相移MMIC可变衰减器 被引量:5
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作者 戴永胜 陈堂胜 +5 位作者 俞土法 刘琳 杨立杰 陈继义 陈效建 林金庭 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2003年第2期186-188,共3页
介绍了一种新颖的 DC~ 5 0 GHz低相移、多功能的 Ga As MMIC可变衰减器的设计与制作 ,获得了优异的电性能。微波探针在片测试结果为 :在 DC~ 5 0 GHz频带内 ,最小衰减≤ 3 .8d B,最大衰减≥ 3 5± 5 d B,最小衰减时输入 /输出驻波... 介绍了一种新颖的 DC~ 5 0 GHz低相移、多功能的 Ga As MMIC可变衰减器的设计与制作 ,获得了优异的电性能。微波探针在片测试结果为 :在 DC~ 5 0 GHz频带内 ,最小衰减≤ 3 .8d B,最大衰减≥ 3 5± 5 d B,最小衰减时输入 /输出驻波≤ 1 .5 ,最大衰减时输入 /输出驻波≤ 2 .2 ,衰减相移比≤ 1 .2°/d B。芯片尺寸 2 .3 3 mm× 0 .68mm× 0 .1 mm。芯片成品率高达 80 %以上 ,工作环境温度达 1 2 5°C,可靠性高 。 展开更多
关键词 砷化镓微波单片集成电路 超宽带 低相移 可变衰减器 GAAS mmic
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2~4 GHz MMIC低噪声放大器 被引量:7
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作者 孙艳玲 许春良 +1 位作者 樊渝 魏碧华 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2014年第10期733-736,共4页
采用中国电子科技集团公司第十三研究所的GaAs PHEMT低噪声工艺,设计了一款2~4 GHz微波单片集成电路低噪声放大器(MMIC LNA)。该低噪声放大器采用两级级联的电路结构,第一级折中考虑了低噪声放大器的最佳噪声和最大增益,采用源极串联... 采用中国电子科技集团公司第十三研究所的GaAs PHEMT低噪声工艺,设计了一款2~4 GHz微波单片集成电路低噪声放大器(MMIC LNA)。该低噪声放大器采用两级级联的电路结构,第一级折中考虑了低噪声放大器的最佳噪声和最大增益,采用源极串联负反馈和输入匹配电路,实现噪声匹配和输入匹配。第二级采用串联、并联负反馈,提高电路的增益平坦度和稳定性。每一级采用自偏电路设计,实现单电源供电。MMIC芯片测试结果为:工作频率为2~4 GHz,噪声系数小于1.0 dB,增益大于27.5 dB,1 dB压缩点输出功率大于18 dBm,输入、输出回波损耗小于-10 dB,芯片面积为2.2 mm×1.2 mm。 展开更多
关键词 低噪声放大器(LNA) 微波单片集成电路(mmic) 砷化镓赝配高电子迁移率晶体管 负反馈 宽带
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微波大功率SiC MESFET及MMIC 被引量:5
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作者 柏松 陈刚 +3 位作者 吴鹏 李哲洋 郑惟彬 钱峰 《中国电子科学研究院学报》 2009年第2期137-139,共3页
利用本实验室生长的4H-SiC外延材料开展了SiC MESFET和MMIC的工艺技术研究。研制的SiC MESFET采用栅场板结构,显示出优异的脉冲功率特性,20mm栅宽器件在2GHz脉冲输出功率达100W。将四个20mm栅宽的SiC MESFET芯片通过内匹配技术进行功率... 利用本实验室生长的4H-SiC外延材料开展了SiC MESFET和MMIC的工艺技术研究。研制的SiC MESFET采用栅场板结构,显示出优异的脉冲功率特性,20mm栅宽器件在2GHz脉冲输出功率达100W。将四个20mm栅宽的SiC MESFET芯片通过内匹配技术进行功率合成,合成器件的脉冲功率超过320W,增益8.6dB。在实现SiC衬底减薄和通孔技术的基础上,设计并研制了国内第一片SiC微波功率MMIC,在2~4GHz频带内小信号增益大于10dB,脉冲输出功率最大超过10W。 展开更多
关键词 SIC MESFET 微波功率 宽带 mmic
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基于负阻MMIC的新型VCO研制 被引量:9
15
作者 郭文胜 陈君涛 邓海丽 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第12期909-912,933,共5页
提出了一种基于负阻单片微波集成电路的新型压控振荡器(VCO)的设计方法,即负阻电路采用GaAs HBT工艺设计流片,调谐选频电路采用薄膜混合集成工艺制作。利用微封装技术将二者结合构成完整的VCO。这种新型VCO既具有单片微波集成电路的小... 提出了一种基于负阻单片微波集成电路的新型压控振荡器(VCO)的设计方法,即负阻电路采用GaAs HBT工艺设计流片,调谐选频电路采用薄膜混合集成工艺制作。利用微封装技术将二者结合构成完整的VCO。这种新型VCO既具有单片微波集成电路的小型化、低成本的优势,又保持了薄膜混合集成电路可灵活调试的特性。通过设计流片数款在不同频段的负阻单片微波集成电路,可完成频率1~18 GHz、小型化、系列化VCO的研制。X波段宽带VCO的实测结果显示,当电调电压在2~13 V变化时输出频率覆盖8~12.5 GHz,调谐线性度为2∶1,电调电压5 V时相位噪声为-96 dBc/Hz@100 kHz。 展开更多
关键词 负阻单片微波集成电路(mmic) 压控振荡器 砷化镓异质结三极管 相位噪声 小型化
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基于故障树分析法的GaAs MMIC烧毁失效分析 被引量:5
16
作者 杨洋 贾东铭 +1 位作者 林罡 钱峰 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2015年第2期148-151,共4页
用故障树分析法对一款高温工作寿命试验过程中烧毁的Ga As功率单片集成电路(MMIC)进行失效分析。故障样品呈现为有源区烧毁,判定由电流过大或过热引起。故障树的顶事件为Ga As功放芯片烧毁,次级因素分为设计缺陷、内部因素及外围因素三... 用故障树分析法对一款高温工作寿命试验过程中烧毁的Ga As功率单片集成电路(MMIC)进行失效分析。故障样品呈现为有源区烧毁,判定由电流过大或过热引起。故障树的顶事件为Ga As功放芯片烧毁,次级因素分为设计缺陷、内部因素及外围因素三个方面。然后列举导致过热或电流过大的情况并建立故障树,通过对故障树中的末级故障逐一排查后,最终定位其烧毁是由栅金属下沉引起。这种故障模式主要出现在长期高温情况下,一般在正常使用过程中不会出现。 展开更多
关键词 故障树 砷化镓 微波单片集成电路(mmic) 失效分析 烧毁
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Ka波段GaAs MMIC限幅低噪声放大器的设计 被引量:6
17
作者 王磊 任健 +1 位作者 刘飞飞 刘帅 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2018年第12期893-897,共5页
采用GaAs pin二极管和低噪声GaAs赝配高电子迁移率晶体管(PHEMT)集成的一片式限幅低噪声放大器(LNA)工艺,设计并制备了一款Ka波段GaAs微波单片集成电路(MMIC)限幅LNA。为了在Ka波段实现大功率和低噪声的目标,采用限幅器和LNA一体化设计... 采用GaAs pin二极管和低噪声GaAs赝配高电子迁移率晶体管(PHEMT)集成的一片式限幅低噪声放大器(LNA)工艺,设计并制备了一款Ka波段GaAs微波单片集成电路(MMIC)限幅LNA。为了在Ka波段实现大功率和低噪声的目标,采用限幅器和LNA一体化设计的思路,优化了限幅器的电路拓扑和pin二极管的结构。该LNA采用三级级联的电流复用拓扑结构。在片测试结果表明,限幅LNA在32~38 GHz频率范围内,噪声系数小于3. 1 dB,线性增益大于18 dB,芯片静态工作电流为20 m A;在70℃恒温条件下,能够承受脉冲功率为2 W(脉冲宽度4 ms,占空比30%);芯片尺寸为3. 3 mm×2. 0 mm×0. 07 mm。 展开更多
关键词 砷化镓 微波单片集成电路(mmic) 限幅低噪声放大器(LNA) KA波段 PIN二极管
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一种超小型DC^18 GHz MMIC 6 bit数字衰减器 被引量:6
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作者 谢媛媛 陈凤霞 高学邦 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第8期580-585,共6页
微波单片集成电路(MMIC)数字衰减器的尺寸是芯片成本最主要的决定因素。基于GaAs E/D PHEMT工艺,研制了一款超小型DC^18 GHz 6 bit数字衰减器,芯片上集成了4 bit反相器。重点介绍了数字衰减器拓扑结构的改进及反相器的逻辑单元等电路设... 微波单片集成电路(MMIC)数字衰减器的尺寸是芯片成本最主要的决定因素。基于GaAs E/D PHEMT工艺,研制了一款超小型DC^18 GHz 6 bit数字衰减器,芯片上集成了4 bit反相器。重点介绍了数字衰减器拓扑结构的改进及反相器的逻辑单元等电路设计的关键点。通过在衰减器拓扑中共用接地通孔、合并两个小衰减位、缩小微带线宽度和线间距、缩小薄膜电阻尺寸、减少控制电压压点个数,实现了芯片的超小型化,从而降低了MMIC数字衰减器的成本。测试结果表明,在DC^18 GHz频段内,数字衰减器的插入损耗小于6 d B,全态输入输出驻波比(VSWR)小于1.6,全态均方根误差小于0.7 d B,工作电流小于5 m A。数字衰减器芯片面积为1.45 mm×0.85 mm。 展开更多
关键词 微波单片集成电路(mmic) 超小型 数字衰减器 GaAs E/D PHEMT 直接耦合场效应晶体管逻辑(DCFL)单元
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S波段GaN功率放大器MMIC 被引量:3
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作者 王会智 吴洪江 +2 位作者 张力江 冯志红 崔玉兴 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第4期271-275,共5页
基于0.25μm Ga N HEMT工艺,研制了一款S波段Ga N功率放大器单片微波集成电路(MMIC)。该电路采用三级拓扑放大结构,提高了放大器的增益;采用电抗匹配方式,减小了电路输出级的损耗,提高了MMIC的功率和效率。输出级有源器件的布局优化,... 基于0.25μm Ga N HEMT工艺,研制了一款S波段Ga N功率放大器单片微波集成电路(MMIC)。该电路采用三级拓扑放大结构,提高了放大器的增益;采用电抗匹配方式,减小了电路输出级的损耗,提高了MMIC的功率和效率。输出级有源器件的布局优化,改善了放大器芯片的温度分布特性。测试结果表明,在2.8~3.6 GHz测试频带内,在脉冲偏压28 V(脉宽100μs,占空比10%)时,峰值输出功率大于60W,功率附加效率大于45%,小信号增益大于34 d B,增益平坦度在±0.3 d B以内,输入电压驻波比在1.7以下;在稳态偏压28 V时,连续波饱和输出功率大于40 W,功率附加效率38%以上。该MMIC尺寸为4.2 mm×4.0 mm。 展开更多
关键词 氮化镓 功率放大器 S波段 单片微波集成电路(mmic) 连续波(CW) 脉冲
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基于GaAs E/D PHEMT工艺的6~10 GHz多功能MMIC 被引量:5
20
作者 张滨 杨柳 +3 位作者 谢媛媛 李富强 魏洪涛 方园 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第3期180-185,共6页
采用Ga As衬底增强/耗尽型赝配高电子迁移率晶体管(E/D PHEMT)工艺研制了一款6~10 GHz多功能微波单片集成电路(MMIC)。其集成了4个单刀双掷开关、6 bit数控移相器、6 bit数控衰减器、3个放大器和14 bit并口驱动电路。测试结果表明... 采用Ga As衬底增强/耗尽型赝配高电子迁移率晶体管(E/D PHEMT)工艺研制了一款6~10 GHz多功能微波单片集成电路(MMIC)。其集成了4个单刀双掷开关、6 bit数控移相器、6 bit数控衰减器、3个放大器和14 bit并口驱动电路。测试结果表明:接收支路增益大于8 d B,1 d B压缩点输出功率大于3 d Bm;发射支路增益大于1 d B,1 d B压缩点输出功率大于8 d Bm。移相64态均方根误差小于3°,衰减64态均方根误差小于1 d B。在工作频带内接收和发射两种状态下,输入输出驻波比均小于1.5∶1。经过版图优化后,芯片尺寸为3.5 mm×5.1 mm。该多功能MMIC可用于微波收发组件,对传输信号进行幅相控制。 展开更多
关键词 多功能微波单片集成电路(mmic) 增强/耗尽型赝配高电子迁移率晶体管(E/DPHEMT) 单刀双掷(SPDT)开关 数控移相器 数控衰减器 数字驱动器
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