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Love波传感器及其质量灵敏度测试 被引量:8
1
作者 胡友旺 史建亮 +1 位作者 贾宏光 吴一辉 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05B期2126-2129,2134,共5页
为实现流体领域的液相传感,设计并制作了基于36°-YXLiTaO3作为压电衬底、PMMA薄膜作为波导层的Love波传感器;通过微电流电铸实验测量得到Love波传感器的质量灵敏度为-2.281g-1cm2.分析了波导层厚度、器件温度和电铸电极的厚度三个... 为实现流体领域的液相传感,设计并制作了基于36°-YXLiTaO3作为压电衬底、PMMA薄膜作为波导层的Love波传感器;通过微电流电铸实验测量得到Love波传感器的质量灵敏度为-2.281g-1cm2.分析了波导层厚度、器件温度和电铸电极的厚度三个因素对灵敏度的影响,为进一步提高灵敏度提供了参考. 展开更多
关键词 love波传感器 LITAO3 PMMA 灵敏度
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Love波飞机结冰传感器研究 被引量:8
2
作者 江城 倪世宏 +2 位作者 李红浪 何世堂 张宗麟 《航空学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期906-911,共6页
Love波结冰传感器有望应用于飞机结冰预测与监测,其通过Love波在导波层中的传播变化,来敏感导波层表面冰的厚度以及状态变化。在Zimmermann理论基础上,根据Love波结冰传感器实际结构,针对导波层为冰层及压电材料为ST90°X石英的实... Love波结冰传感器有望应用于飞机结冰预测与监测,其通过Love波在导波层中的传播变化,来敏感导波层表面冰的厚度以及状态变化。在Zimmermann理论基础上,根据Love波结冰传感器实际结构,针对导波层为冰层及压电材料为ST90°X石英的实际实验情况进行了仿真计算,计算得到了冰层厚度与相速之间的特性关系,以及冰层厚度对灵敏度的影响,并与N.Bari等的灵敏度理论的计算结果进行了比较,结果表明Love波结冰传感器的灵敏度与相速的理论计算是正确的。通过初步的实验对Love波结冰传感器进行原理性的验证研究,实验结果表明Love波结冰传感器可以明显区分空气、水和冰的状态,实验数据符合理论计算的结果。 展开更多
关键词 声表面波器件 love 传感器 飞机
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高灵敏Love波传感器及其关键材料 被引量:1
3
作者 杜晓松 蒋亚东 +3 位作者 杨邦朝 胡佳 应智花 谢光忠 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第12期1933-1935,1940,共4页
Love波传感器是声表面波传感器的一种,其灵敏度最高。对Love波生物、化学传感器的研究现状进行了综述,着重分析了波导材料及其厚度、基板材料及其切向对传感器的灵敏度及温度稳定性的影响关系。指出采用高频谐振型的器件结构并结合聚合... Love波传感器是声表面波传感器的一种,其灵敏度最高。对Love波生物、化学传感器的研究现状进行了综述,着重分析了波导材料及其厚度、基板材料及其切向对传感器的灵敏度及温度稳定性的影响关系。指出采用高频谐振型的器件结构并结合聚合物波导的方案可进一步提高Love波传感器的灵敏度。 展开更多
关键词 love波传感器 波导 基板切向 灵敏度 频率温度系数
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波导层不连续的Love波延迟线 被引量:1
4
作者 刘建生 刘明华 何世堂 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2009年第B11期125-126,共2页
Love波传感器的波导层和吸附层通常是不同材料的,一般先在整个器件表面覆盖一层声波导层材料,然后在感应区域对应的波导层上涂镀吸附层,但是这样会增大延迟线的插入损耗。文中设计了一种不连续波导层的Love波延迟线,即在感应区域,吸附... Love波传感器的波导层和吸附层通常是不同材料的,一般先在整个器件表面覆盖一层声波导层材料,然后在感应区域对应的波导层上涂镀吸附层,但是这样会增大延迟线的插入损耗。文中设计了一种不连续波导层的Love波延迟线,即在感应区域,吸附层直接镀在压电基片上,同时兼作声波导层;在其他区域覆盖声波导层材料。实验器件制作在ST-90°X石英晶体上,中间感应区域用Au作波导层和吸附层,其他区域采用SU-8光刻胶作声波导层,结果表明,采用这种结构的延迟线可以降低损耗2 dB以上。 展开更多
关键词 love 延迟线 传感器
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Love波传感器的性能分析与实验 被引量:2
5
作者 苗圃 李锋 +3 位作者 张平 刘永顺 毕晓猛 吴一辉 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第10期2457-2463,共7页
为了制作高灵敏度Love波传感器,分析了Love波在ST-石英和二氧化硅薄膜分层结构中的传播特性,并对该分层结构进行了相关的理论推导和计算。首先,从声学动力学方程出发,分析求解了该分层结构的波动方程,得到了在该分层结构的色散关系及位... 为了制作高灵敏度Love波传感器,分析了Love波在ST-石英和二氧化硅薄膜分层结构中的传播特性,并对该分层结构进行了相关的理论推导和计算。首先,从声学动力学方程出发,分析求解了该分层结构的波动方程,得到了在该分层结构的色散关系及位移表达式。基于得到的解析表达式分析了波结构,绘制了特性曲线,得到了Love波在该结构中的传播特性。最后,应用MEMS工艺制作了由ST-石英为基底、二氧化硅为波导层的Love波传感器,并通过电化学微电铸的方法进行了实验验证,且对理论灵敏度与实验灵敏度之间不一致的原因进行了分析。测试数据显示,该传感器的质量灵敏度为100cm2/g,最低检出限为3.65ng,结果证明了该Love波传感器基本满足高灵敏度生化检测的要求。 展开更多
关键词 love波传感器 色散曲线 质量灵敏度 循环伏安法
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基于PVA/ST-90°X石英的Love波湿度传感器的实验研究 被引量:1
6
作者 王立君 刘建生 何世堂 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2015年第4期546-549,共4页
报道了覆盖聚合物敏感膜的Love波传感器的湿度检测性能。该传感器采用在ST-90°X石英基底上旋涂聚乙烯醇(PVA)膜作为波导层兼吸湿层,测量了密闭空间中相对湿度从9%增加到88%时器件的工作频率及损耗。实验表明,频率偏移和损耗增量均... 报道了覆盖聚合物敏感膜的Love波传感器的湿度检测性能。该传感器采用在ST-90°X石英基底上旋涂聚乙烯醇(PVA)膜作为波导层兼吸湿层,测量了密闭空间中相对湿度从9%增加到88%时器件的工作频率及损耗。实验表明,频率偏移和损耗增量均由吸附后质量负载所产生,其变化规律遵循第III类等温吸附曲线。 展开更多
关键词 声表面波 love 湿度传感器 聚乙烯醇 相对湿度
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涂覆聚合物膜的Love波传播特性
7
作者 王立君 刘建生 何世堂 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2015年第6期937-940,共4页
该文计算了涂覆聚合物膜的Love波传感器波速和波导层相对膜厚的关系,并进行了实验验证。Love波器件以ST-90°X石英晶体为基片,在基片表面镀一层不同膜厚的聚乙烯醇(PVA)膜作为波导层兼吸湿层。采用网络分析仪测量了相对湿度35%左右... 该文计算了涂覆聚合物膜的Love波传感器波速和波导层相对膜厚的关系,并进行了实验验证。Love波器件以ST-90°X石英晶体为基片,在基片表面镀一层不同膜厚的聚乙烯醇(PVA)膜作为波导层兼吸湿层。采用网络分析仪测量了相对湿度35%左右器件的工作频率和插入损耗分别随膜厚的变化,算出Love波波速和PVA相对膜厚的关系,当PVA膜厚度从0增大到波长的5%时,Love波速度由约4 992m/s降低到4 840m/s,和理论计算结果一致。 展开更多
关键词 声表面波 love 聚乙烯醇 聚合物膜 传感器
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High sensitivity gravimetric sensor made of unidirectional carbon fiber epoxy composite on (1-x)Pb(Zn_(1/3)Nb_(2/3))O_3-xPbTiO_3 single crystal substrate
8
作者 黄乃兴 吕天全 +1 位作者 张锐 曹文武 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第11期546-551,共6页
We have derived a general formula for sensitivity optimization of gravimetric sensors and have used it to design a high sensitivity gravimetric sensor using unidirectional carbon fiber epoxy composite (CFEC) wavegui... We have derived a general formula for sensitivity optimization of gravimetric sensors and have used it to design a high sensitivity gravimetric sensor using unidirectional carbon fiber epoxy composite (CFEC) waveguide layer on (1 -x)Pb(Znl/3Nbz/3)O3-xPbTiO3 (PZN-xPT) single crystal substrate with the carbon fibers parallel to the xj and x2 axes, respectively. The normalized maximum sensitivity (|sfm|λ)max exhibits an increasing tendency with the decrease of (h/λ)opt and the maximum sensitivity (|sfm|λ)max increases with the elastic constant c6E6 of the piezoelectric substrate material. For the CFEC/[011]c poled PZN-7%PT single crystal sensor configuration, with the carbon fibers parallel to the xa axis at λ = 24 ktm, the maximum sensitivity |sfm|max can reach as high as 1156 cmZ/g, which is about three times that of a traditional SiO2/ST quartz structure gravimetric sensor. The better design selection is to have the carbon fibers parallel to the direction of propagation of Love wave in order to obtain the best sensitivity. 展开更多
关键词 love wave gravimetric sensor ferroelectric single crystal sensitivity optimization
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Research on the temperature characteristic of Love wave device with structure of multi-waveguides used for gas sensor
9
作者 WANG Wen HOU Jiaoli +2 位作者 SHAO Xiuting LIU Minghua HE Shitang 《Chinese Journal of Acoustics》 2013年第4期345-356,共12页
This paper aimed at extracting optimal structural parameters for Love wave device with structure of multi-waveguides to improve its temperature stability. The theoretical model dealing with the Love wave propagation i... This paper aimed at extracting optimal structural parameters for Love wave device with structure of multi-waveguides to improve its temperature stability. The theoretical model dealing with the Love wave propagation in multi-waveguides was established first, the dispersion characteristic is depicted by the acoustic propagation theory of stratified media and boundary conditions. Combing with the dispersion characteristics and Tomar's method, the optimal structural parameters for the Love wave device with zero temperature coefficient were extracted, and confirmed by the following experimental results. Excellent temperature coefficient of the Love wave device with SU-8/SiO2 on ST-90°X quartz substrate was evaluated experimentally as only 2.16 ppm/℃, which agrees well with the calculated results. The optimized Love wave device is very promising in gas sensing application. 展开更多
关键词 wave Research on the temperature characteristic of love wave device with structure of multi-waveguides used for gas sensor exp SiC
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适合于液相检测的乐甫波传感器 被引量:6
10
作者 潘海峰 朱惠忠 冯冠平 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2003年第3期10-12,共3页
乐甫波 (Lovewave)是声表面波的一种 ,它是在沉淀于压电基片表面的薄层声波导中传播的表面剪切横波。论述了基片为ST切压电石英晶体、声波导层分别为聚甲基丙烯酸甲酯 (PM MA)和熔融石英 (SiO2 )的乐甫波器件的制作。通过测量器件的传... 乐甫波 (Lovewave)是声表面波的一种 ,它是在沉淀于压电基片表面的薄层声波导中传播的表面剪切横波。论述了基片为ST切压电石英晶体、声波导层分别为聚甲基丙烯酸甲酯 (PM MA)和熔融石英 (SiO2 )的乐甫波器件的制作。通过测量器件的传输参数S2 1和插损 ,比较了瑞利波器件和不同声波导层构成的乐甫波器件在气相和液相的特性 ,证明了乐甫波传感器适合于液相检测而瑞利波传感器不适合 ,而且 ,SiO2 展开更多
关键词 乐甫波器件 乐甫波传感器 液相 插损 声表面波
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低损耗乐甫波传感器的实验研究 被引量:4
11
作者 程利娜 刘明华 +1 位作者 李红浪 何世堂 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2009年第B11期123-124,174,共3页
文中采用单相单向叉指换能器(SPUDT)降低乐甫波传感器的双向损耗,并从实验方面研究了SPUDT结构反射中心位置对器件损耗的影响。乐甫波传感器的多层波导结构改变了常规的EWC/SPUDT(控制栅条宽度的SPUDT)的反射系数和换能系数,不能实现完... 文中采用单相单向叉指换能器(SPUDT)降低乐甫波传感器的双向损耗,并从实验方面研究了SPUDT结构反射中心位置对器件损耗的影响。乐甫波传感器的多层波导结构改变了常规的EWC/SPUDT(控制栅条宽度的SPUDT)的反射系数和换能系数,不能实现完全的单向传播,从而使传感器损耗变大。文中通过调整反射栅的位置,来改变反射中心和换能中心的间距L,通过实验的方法分析L对损耗的影响,得到了间距L与器件损耗之间的关系。文中实验基片采用ST-90°X石英,铝电极厚度为0.77%λ(λ为SPUDT周期),声波导材料为二氧化硅,厚度为0.0128λ,L大小范围为(3/8-1/9)λ到(3/8+1/9)λ,实验结果表明:随着反射中心和换能中心间距L的增大,器件中心频率处的损耗从20.2 dB减小到12.5 dB;器件的单向性能得到改善。 展开更多
关键词 乐甫波传感器 单相单向结构 损耗
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乐甫波传感器及其应用进展 被引量:4
12
作者 潘海峰 朱惠忠 冯冠平 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2003年第12期1-4,共4页
乐甫波是声表面波的一种,它是在沉积于基片表面的薄层声波导中传播的波。介绍了乐甫波器件的构成和制造工艺,乐甫波传感器传感原理和常用的结构形式,论述了乐甫波传感器当前的研究情况。
关键词 乐甫波传感器 灵敏度 液相测量 声表面波 应用
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新型声表面波湿度传感器的研究 被引量:1
13
作者 童筱钧 王心语 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2014年第5期727-729,738,共4页
乐甫(Love)波其质点振动方向垂直于传播方向,同时又平行于基片表面,在基片法线方向上无振动分量。因此当基于Love波的电子器件在接触液体时Love波能量损耗很少,因而乐甫波声表面波(SAW)传感器主要用于液相检测。在石英上表面及在其上面... 乐甫(Love)波其质点振动方向垂直于传播方向,同时又平行于基片表面,在基片法线方向上无振动分量。因此当基于Love波的电子器件在接触液体时Love波能量损耗很少,因而乐甫波声表面波(SAW)传感器主要用于液相检测。在石英上表面及在其上面淀积的SiO2薄膜中激发、传播的乐甫波对SiO2薄膜质量的变化很敏感,因此该文研究了基于乐甫波的湿度传感器感知气体环境的湿度含量。该文乐甫波湿度传感器采用42.75°Y-旋转切割石英基片,传播方向为[0°,132.75°,90°]。吸湿膜采用APCVD制作的多孔SiO2薄膜,此类膜比PECVD制作的SiO2膜疏松,吸湿、脱湿迅速。传感器灵敏度为62kHz/%RH,最大湿滞约3%,测得的湿敏特性、迟滞特性表明,Love波SAW湿度传感器线性度较好,实验验证了该结构具有很好的气体测试前景。 展开更多
关键词 乐甫(love)波 声表面波湿度传感器 相对湿度
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新型声表面波湿度传感器 被引量:2
14
作者 童筱钧 王心语 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2014年第2期115-119,共5页
为解决目前常用电容式湿度传感器存在的误差较大和一致性较差的问题,提出了采用常压化学气相淀积(APCVD)法制备的多孔SiO2膜作为吸湿材料的乐甫波声表面波(SAW)传感器感知湿度。基片采用42.75°旋转Y轴切割石英材料,乐甫波传播方向... 为解决目前常用电容式湿度传感器存在的误差较大和一致性较差的问题,提出了采用常压化学气相淀积(APCVD)法制备的多孔SiO2膜作为吸湿材料的乐甫波声表面波(SAW)传感器感知湿度。基片采用42.75°旋转Y轴切割石英材料,乐甫波传播方向为[0°,132.75°,90°],SiO2湿敏膜厚度为0.5μm。实验结果表明:此湿度传感器灵敏度约为62 kHz/RH%,在相对湿度为50%时,最大湿滞约3%。测得的湿敏特性和迟滞特性表明,乐甫波声表面波湿度传感器线性度较好,实验证实该湿度传感器具有很好的应用前景。 展开更多
关键词 乐甫波 声表面波(SAW) 湿度传感器 相对湿度 二氧化硅(SiO2)
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双层声波导乐甫波传感器的质量敏感度分析 被引量:1
15
作者 陈烨 李红浪 何世堂 《应用声学》 CSCD 北大核心 2009年第2期121-124,共4页
本文推导了双层声波导结构乐甫波传感器的频散方程和质量敏感度。首先,根据连续边界条件求解声波波动方程,并推导双层声波导结构下乐甫波传播的频散方程;然后根据微扰理论推导乐甫波传感器的质量敏感度。文中并最后给出基于ST-90°... 本文推导了双层声波导结构乐甫波传感器的频散方程和质量敏感度。首先,根据连续边界条件求解声波波动方程,并推导双层声波导结构下乐甫波传播的频散方程;然后根据微扰理论推导乐甫波传感器的质量敏感度。文中并最后给出基于ST-90°X石英基片的乐甫波传感器的算例分析。基片表面依次覆盖二氧化硅和金两层声波导,根据上述推导式子计算出乐甫波相速度及质量敏感度随着声波导层厚度变化的特性。结果表明:声波导层厚度增加时,乐甫波相速度减小,乐甫波模式增多,控制波导层厚度可以获得单一的乐甫波模式;选择波导层的厚度,乐甫波传感器可获得最大质量敏感度。 展开更多
关键词 双层声波导 乐甫波传感器 频散方程 质量敏感度
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