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管道内高温火团诱导H_2-O_2-N_2爆轰波传播特性研究 被引量:4
1
作者 刘勇 刘笑天 谢波 《中国安全科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2014年第1期53-59,共7页
为研究管道内H2-O2-N2爆炸特性,高温火团点火诱导的预混气体的爆轰形成过程及其流场变化,基于改进的全耦合总变差下降格式和简化的基元化学反应模型,建立可燃预混气体爆轰波传播过程的二维数值模型,模拟H2-O2-N2爆轰形成和传播过程,以... 为研究管道内H2-O2-N2爆炸特性,高温火团点火诱导的预混气体的爆轰形成过程及其流场变化,基于改进的全耦合总变差下降格式和简化的基元化学反应模型,建立可燃预混气体爆轰波传播过程的二维数值模型,模拟H2-O2-N2爆轰形成和传播过程,以及初始混合气体积分数比、点火温度对爆轰传播的影响。结果表明,点火初期燃烧加速形成的爆轰波发生反射,反射波不断向前移动。高温火团初始温度和压力越高,H2-O2-N2混合气燃烧加速形成爆轰所需的诱导时间越短;初始混合气中氢气与氧气的体积分数比接近2时,其爆轰波传播速度更快,波后压力更高。 展开更多
关键词 h2-O2-n2混合气 爆轰波 管道气体 总变差下降(TVD)格式 基元反应
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阿曼H_2-N_2气苗的成因 被引量:2
2
作者 朱岳年 刘进琪 《天然气地球科学》 EI CAS CSCD 1994年第1期30-38,共9页
本研究所分析的6个气样,是从阿曼北部塞马伊勒纳皮(Semail Nappe)蛇绿岩中,和钙质哈杰尔(Hajar)组分布的5个热泉中采集到的。该全在对这6个气样的~3He/~4He、~4He/^(20)Ne、^(40)Ar/^(36)Ar和^(38)Ar/^(36)Ar比值,化学组成(H_2,N_2,CO_2... 本研究所分析的6个气样,是从阿曼北部塞马伊勒纳皮(Semail Nappe)蛇绿岩中,和钙质哈杰尔(Hajar)组分布的5个热泉中采集到的。该全在对这6个气样的~3He/~4He、~4He/^(20)Ne、^(40)Ar/^(36)Ar和^(38)Ar/^(36)Ar比值,化学组成(H_2,N_2,CO_2,CH_4,O_2,Ar,和He),和稳定同位素组成(δD_(H_2),δD_(H_2O),δ^(13)C_(CO_2),δ^(13)C_(CH_4)和δ^(15)N_2)进行报道。从蛇绿岩区采集到的气样,其组份中明显缺氧,主要是H_2、CH_4和N_2;而从灰岩和白云岩分布区所采集到的气样,其组份正常,主要是N_2、CO_2和/或O_2。前者是富含H_2的气体,它是以相对高的~3He/~4He比值(0.4~0.8R atm),并伴有低的He含量(<5ppm),大气的^(40)Ar/^(36)Ar比值,低的N_2/Ar比值(<55)和高的δ^(15)N_(N_2)值(~1‰)为特征的。而后者是富含N_2的气体,表现出相对低的~3He/~4He比值(0.1~0.4R_(atm)),并伴高的He富集(>300ppm),稍带放射性成因的^(40)Ar/^(36)Ar比值,高的N_2/Ar比值(77~97)和低的δ^(15)N_(N_2)值(<0.0‰)。对富含H_2的气样进行δD_(H_2)值测定,其值为—536‰。,它明显有别于该蛇绿岩区原有的文献值—699‰。,也即给出了相互有差异的同位素形成温度。 展开更多
关键词 天然气 气苗 成因 h2-n2
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不同结构聚芳醚的H_2/N_2透过选择性能 被引量:3
3
作者 王忠刚 陈天禄 徐纪平 《高分子材料科学与工程》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第4期117-120,共4页
研究了一系列聚芳醚的H_2/N_2透过选择性能,详细讨论了温度和结构的系列变化对气体透过性能的影响。结果表明,此系列聚合物H_2和N_2的透过系数与聚合物的自由体积间有较好的线性相关性,通过结构变化以调节聚合物的自由体积... 研究了一系列聚芳醚的H_2/N_2透过选择性能,详细讨论了温度和结构的系列变化对气体透过性能的影响。结果表明,此系列聚合物H_2和N_2的透过系数与聚合物的自由体积间有较好的线性相关性,通过结构变化以调节聚合物的自由体积,可以有效地控制聚合物的透H_2系数和H_2/N_2选择系数。 展开更多
关键词 聚芳醚 氮氢分离膜 膜分离 膜材料
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N_2/H_2辉光放电等离子体电子碰撞电离的Monte Carlo模拟
4
作者 张连珠 王增波 刘俊红 《河北大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2007年第3期244-248,321,共6页
采用N2/H2直流辉光放电等离子体综合的Monte Carlo模型,通过计算N2/H2混合气体直流辉光放电等离子体电子碰撞电离及离解电离率,电子密度及电子能量分布函数,研究了H2的浓度对氮辉光放电等离子体电子碰撞电离过程的影响.研究结果表明:随... 采用N2/H2直流辉光放电等离子体综合的Monte Carlo模型,通过计算N2/H2混合气体直流辉光放电等离子体电子碰撞电离及离解电离率,电子密度及电子能量分布函数,研究了H2的浓度对氮辉光放电等离子体电子碰撞电离过程的影响.研究结果表明:随着H2浓度的升高,电子的电离及离解电离碰撞率减少;但在一定的放电条件下,加入少量的H2,可以提高电子碰撞电离及离解电离率,即选取合适的放电参数,加入少量的氢,可以提高放电空间的电子及离子的密度.模型考虑了12种和电子相关的反应,在氮气中加氢的比例为0-30%.这些影响能通过放电中发生的碰撞过程及鞘层厚度的改变得到解释.研究结果为认识N2/H2混合气体辉光放电等离子体过程机理提供参考依据. 展开更多
关键词 N2-h2辉光放电 MONTECARLO模拟 e^--n2电离率
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H_2-O_2(N_2)混气着火过程非线性特性研究
5
作者 李卓毅 张会强 《工程热物理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期697-700,共4页
本文采用基元反应模拟H2-O2(N2)混合气体的着火过程,得到了不同散热和不同燃料-氧化剂初始浓度比条件下着火临界曲线。结果表明: H2/O2摩尔比相同时,不同散热条件下的着火临界曲线非常相似,可近似看成同一曲线在第二区的“延伸线”上滑... 本文采用基元反应模拟H2-O2(N2)混合气体的着火过程,得到了不同散热和不同燃料-氧化剂初始浓度比条件下着火临界曲线。结果表明: H2/O2摩尔比相同时,不同散热条件下的着火临界曲线非常相似,可近似看成同一曲线在第二区的“延伸线”上滑移。临界曲线第二区的P—T关系符合2k1=ks[Ms]。散热对着火极限的影响和着火延迟时间有密切关系,在临界曲线第二区延迟时间最小,导致散热对该区的影响最弱,从而使着火临界曲线非常相似。 展开更多
关键词 基元反应 着火临界曲线 着火 h2-O2(N2)混合气体
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N_2O-C_2H_2火焰原子吸收光谱法测定特规氢氧化钾中钙含量 被引量:1
6
作者 薛光荣 《宇航材料工艺》 CAS CSCD 北大核心 2005年第6期56-59,共4页
提出用N2O-C2H2火焰原子吸收光谱法进行特规氢氧化钾中钙含量的测定,并对样品消化处理条件和干扰因素进行了综合考虑.实验表明:该方法具有很高的灵敏度、很好的重现性,同时具有步骤简单、操作容易掌握、干扰少等特点.测定样品含钙量时,... 提出用N2O-C2H2火焰原子吸收光谱法进行特规氢氧化钾中钙含量的测定,并对样品消化处理条件和干扰因素进行了综合考虑.实验表明:该方法具有很高的灵敏度、很好的重现性,同时具有步骤简单、操作容易掌握、干扰少等特点.测定样品含钙量时,其相对标准偏差均小于1.0%,标准加入回收率均为97.0%~100%(n=5),适用于特规氢氧化钾中钙含量的测试,此方法达到了实验室的仪器分析质量与质量控制要求. 展开更多
关键词 N2O-C2h2火焰 原子吸收光谱法 特规氢氧化钾 含量
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基于光腔衰荡光谱法检测SF6/N2混合电气设备中特征组分H2S技术 被引量:3
7
作者 杨玉新 刘海波 +1 位作者 宋天斌 刘晓波 《工业安全与环保》 2019年第6期40-44,共5页
H2S气体是SF6/N2混合电气设备潜伏性故障的特征分解组分之一。现有的现场技术均需标定,腔衰荡光谱法无需标定且能检测到低极限的H2S浓度。根据光腔衰荡光谱的检测原理,对激光器、光隔离器、低损耗光学腔、光电探测器等光路和电路器件进... H2S气体是SF6/N2混合电气设备潜伏性故障的特征分解组分之一。现有的现场技术均需标定,腔衰荡光谱法无需标定且能检测到低极限的H2S浓度。根据光腔衰荡光谱的检测原理,对激光器、光隔离器、低损耗光学腔、光电探测器等光路和电路器件进行选型和设计,配合软件设计、编程和数据处理完成了装置的研制,研制的光腔衰荡光谱法检测H2S装置无需光开关,对其进行定性定量试验,光谱图正确,H2S气体检测低限值达到1 μL/L,符合现场检测的需要,为现场检测技术奠定了基础。 展开更多
关键词 光腔衰荡光谱 特征组分 h2SSF6/N2 混合电气设备 光学无源腔 加权最小二乘法
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H_2S Sensing Characteristics of Thin Film SnO_2 Sensor with N_2 Treatment 被引量:2
8
作者 Jong-Won Kim Kwang-Hyun Yun +3 位作者 Geon-Young Cha Gi-Hong Rue Duk-Dong Lee Jeung-Soo Huh 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第A03期385-388,共4页
<正>SnO_2 thin film sensors were fabricated by a thermal evaporation method.The sensors were heated for thermal oxidation.For high porosity,SnO_2 thin film sensors were treated in a N_2 atmosphere.The sensors th... <正>SnO_2 thin film sensors were fabricated by a thermal evaporation method.The sensors were heated for thermal oxidation.For high porosity,SnO_2 thin film sensors were treated in a N_2 atmosphere.The sensors that were treated with O_2 after being treated with N_2 showed 70 % sensitivity for 1×10~ -6) of H_2S,which is higher than the sensors that were only treated with O_2.The Ni metal,as a catalyst,was evaporated on the thin film Sn on the Al_2O_3 substrate.The sensor was heated to grow the Sn nanowire in a tube furnace with N_2 flow.Sn nanowire was heated for oxidation.The sensitivity of SnO_2 nanowire sensor was measured for 500×10~ -9) of H_2S.The selectivity of the SnO_2 nanowire sensor was compared with the thin film and the thick film SnO_2.Each sensor was measured for H_2S,CO,and NH_3 in this study. 展开更多
关键词 SNO2 gas sensor N2 NANOWIRE h2S
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Diffusion of H2, CO, N2,O2 and CH4 Through Nanoporous Carbon Membranes 被引量:1
9
作者 吴志强 刘志平 +2 位作者 汪文川 范益群 徐南平 《Chinese Journal of Chemical Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 2008年第5期709-714,共6页
Diffusion of pure H2, CO, N2,O2 and CH4 gases through nanoporous carbon membrane is investigated by carrying out non-equilibrium molecular dynamics (NEMD) simulations. The flux, transport diffusivity and activation ... Diffusion of pure H2, CO, N2,O2 and CH4 gases through nanoporous carbon membrane is investigated by carrying out non-equilibrium molecular dynamics (NEMD) simulations. The flux, transport diffusivity and activation energy for the pure gases diffusing through carbon membranes with various pore widths were investigated. The simulation results reveal that transport diffusivity increases with temperature and pore width, and its values have a magnitude of 10^-7 m^2·s^-1 for pore widths of about 0.80 to 1.21 nm at 273 to 300 K. The activation energies for the gases diffusion through the membrane with various pore widths are about 1-5 kJ·mol^-1, The results of transport diffusivities are comparable with that of Rao and Sircar (J. Membr. Sci., 1996), indicating the NEMD simulation method is a good tool for predicting the transport diffusivities for gases in porous materials, which is always difficult to be accurately measured by experiments. 展开更多
关键词 non-equilibrium molecular dynamics carbon membrane transport diffusivity flux activation energy
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D-23.5/131-143氮氢气循环压缩机气阀改造 被引量:4
10
作者 卢朝霞 潘树林 +2 位作者 杨青山 刘鑫 欧胜芳 《中氮肥》 2007年第1期40-42,共3页
D-23.5/131-143氮氢气循环压缩机是四川美丰化工股份有限公司德阳分公司新建200 kt/a合成氨及300 kt/a尿素工程的关键设备之一。该压缩机装机试运行时,电机电流过大,严重影响整个系统的正常运行。通过分析发现,该压缩机气阀通流面积过小... D-23.5/131-143氮氢气循环压缩机是四川美丰化工股份有限公司德阳分公司新建200 kt/a合成氨及300 kt/a尿素工程的关键设备之一。该压缩机装机试运行时,电机电流过大,严重影响整个系统的正常运行。通过分析发现,该压缩机气阀通流面积过小,为此,从气阀结构型式、气流通道等方面对该压缩机气阀进行改造。改造后的气阀装机投用后,压缩机电机电流得到较大幅度下降且具有良好的可靠性。 展开更多
关键词 氮氢气循环压缩机 气阀 改造
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CO_2吸收增强气化制备氨合成原料气的可行性 被引量:1
11
作者 王逊 高峻 《煤炭转化》 CAS CSCD 北大核心 2013年第3期24-30,共7页
以煤和低浓度煤层气共气化制备氨合成原料气,煤层气提供合成所需的氮组分,从而取消常规制气的补氮过程或替代空气气化;采用CO2吸收增强制气,在造气工段制得φ(H2)/φ(N2)=3,φ(CO2+CO)≤0.30%,φ(H2)≥70%的粗煤气,可直接进入醇烷化或... 以煤和低浓度煤层气共气化制备氨合成原料气,煤层气提供合成所需的氮组分,从而取消常规制气的补氮过程或替代空气气化;采用CO2吸收增强制气,在造气工段制得φ(H2)/φ(N2)=3,φ(CO2+CO)≤0.30%,φ(H2)≥70%的粗煤气,可直接进入醇烷化或醇烃化精制岗位.为论证系统的可行性和适宜操作条件,采用热力学平衡模型分析煤气组分随制气反应条件变化的规律,提出可一步制得φ(H2)/φ(N2)=3,φ(CO2+CO)≤0.30%,φ(H2)≥70%的制气反应条件和煤层气流量;根据煤层气温度、压力与爆炸极限的关系,确定催化转化/脱氧反应器的操作参数.结果表明,以合成原料气组分衡量,基于CO2吸收增强气化的煤和低浓度煤层气制气方法可行,且有利于简化调比和气体净化过程. 展开更多
关键词 CO2吸收增强制气 煤和煤层气共气化 CO2+CO含量 氢氮比 制气操作条件 煤层气脱氧
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可控氧化气氛下4J29合金的组织与性能研究 被引量:1
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作者 张楠 刘晓鹏 +2 位作者 米菁 蒋利军 王树茂 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第5期716-720,共5页
在不同可控氧化条件和相同浸润条件下获得合金与玻璃的浸润件,并分别分析氧化温度和氧化气氛N2载水/H2流量比对Fe-Ni-Co可伐合金表面氧化膜成分与形貌以及氧化膜-玻璃浸润角、结合强度和循环稳定性等的影响。XRD结果表明:N2载水/H2比例... 在不同可控氧化条件和相同浸润条件下获得合金与玻璃的浸润件,并分别分析氧化温度和氧化气氛N2载水/H2流量比对Fe-Ni-Co可伐合金表面氧化膜成分与形貌以及氧化膜-玻璃浸润角、结合强度和循环稳定性等的影响。XRD结果表明:N2载水/H2比例高于170/10时,800℃以下为单一Fe3O4相,900℃生成Fe3O4+FeO混合相;N2载水/H2比例降低为140/10时,800℃生成Fe3O4+FeO混合相。SEM形貌分析表明相同N2载水/H2流量下,升高反应温度,会使氧化物颗粒增大;同一氧化温度下,N2载水/H2比例的增大,氧化物颗粒减小且致密。与玻璃浸润性能研究表明,氧化条件为800℃,N2载水/H2=200/10时得到的单一Fe3O4与玻璃的浸润性最优,其玻璃浸润角为3.01°,拉伸剪切强度为7.16 MPa,且具有良好的冷热循环稳定性。 展开更多
关键词 可控氧化 氧化温度 N2载水/h2 FE3O4 浸润性
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00Cr22Ni5Mo3N中合金双相不锈钢的热处理 被引量:3
13
作者 乐平 刘雪燕 +1 位作者 郁凉峰 黄海清 《热处理》 CAS 2009年第5期50-55,共6页
00Cr22N i5Mo3N中合金双相不锈钢具有优良的耐腐蚀性和较高的强度,但不能热处理相变强化。离子渗氮可大大提高其表面硬度。研究了离子渗氮介质、工艺参数对00Cr22N i5Mo3N钢渗氮层硬度、深度、脆性和均匀性的影响,介绍了已成功应用于该... 00Cr22N i5Mo3N中合金双相不锈钢具有优良的耐腐蚀性和较高的强度,但不能热处理相变强化。离子渗氮可大大提高其表面硬度。研究了离子渗氮介质、工艺参数对00Cr22N i5Mo3N钢渗氮层硬度、深度、脆性和均匀性的影响,介绍了已成功应用于该钢的离子渗氮工艺。 展开更多
关键词 00Cr22Ni5Mo3N双相不锈钢 离子渗氮 N2h2 脆性
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Effect of Addition of Nitrogen to a Capacitively Radio-Frequency Hydrogen Discharge
14
作者 张连珠 姚福宝 +2 位作者 赵国明 郝莹莹 孙倩 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第3期203-210,共8页
A hybrid PIC/MC model is developed in this work for H2-xN2 capacitively coupled radio-frequency (CCRF) discharges in which we take into account 43 kinds of collisions reaction processes between charged particles (e... A hybrid PIC/MC model is developed in this work for H2-xN2 capacitively coupled radio-frequency (CCRF) discharges in which we take into account 43 kinds of collisions reaction processes between charged particles (e-, H3+, H+, H+, N+, N+) and ground-state molecules (H2, H+ N2). In addition, the mean energies and densities of electrons and ions ( 3, H+, H+), and electric field distributions in the H2-N2 CCRF discharge are simulated by this model. Furthermore, the effects of addition of a variable percentage of nitrogen (0-30%) into the H2 discharge on the plasma processes and discharge characteristics are studied. It is shown that by increasing the percentage of nitrogen added to the system, the RF sheath thickness will narrow, the sheath electric field will be enhanced, and the mean energy of hydrogen ions impacting the electrodes will be increased. Because the electron impact ionization and dissociative ionization rates increase when N2 is added to the system, the electron mean density will increase while the electron mean energy and hydrogen ion density near the electrodes will decrease. This work aims to provide a theoretical basis for experimental studies and technological developments with regard to H2-N2 CCRF plasmas. 展开更多
关键词 h2-n2 capacitively coupled radio-frequency discharge h2 plasma PIC/MCsimulation
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OXIDATION BEHAVIOR OF KOVAR ALLOY IN CONTROLLED ATMOSPHERE 被引量:13
15
作者 D. W. Luo Z.S. Shen 《Acta Metallurgica Sinica(English Letters)》 SCIE EI CAS CSCD 2008年第6期409-418,共10页
Controlled oxidation experiments were performed on Kovar alloy by changing oxidation atmosphere, temperature, and exposure time to produce films with different oxide type and thickness. The results indicated that sing... Controlled oxidation experiments were performed on Kovar alloy by changing oxidation atmosphere, temperature, and exposure time to produce films with different oxide type and thickness. The results indicated that single Fe3O4 and single FeO were respectively obtained when Kovar alloy was oxidized in N2-2.31%H2O-0.95%H2 at 500℃ and in N2-2.31%H2O-0.5%H2 at 1000℃, and all kinetic curves followed linear relation; mixed oxides of FeO and Fe3O4 formed when Kovar was oxidized in N2-2.31%H2O at 1000℃and parabolic kinetics were obeyed. Analysis of metallographic cross section of oxides indicated that oxygen diffusion inward through the oxide scale is responsible for intergranular oxide, which had formed beneath the oxide scales when the oxide products were mixed oxides of FeO and Fe3O4, and which did not occur when the oxide was single FeO or Fe3O4. The oxidation model was also established. 展开更多
关键词 Kovar alloy Oxidation Controlled atmosphere h2-h2O-n2
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Effects of Reaction Conditions on Performance of Ru Catalyst and Iron Catalyst for Ammonia Synthesis 被引量:2
16
作者 潘崇根 李瑛 +1 位作者 蒋文 刘化章 《Chinese Journal of Chemical Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 2011年第2期273-277,共5页
Activated carbon-supported Ru-based catalyst and A301 iron catalyst were prepared,and the influences of reaction temperature,space velocity,pressure,and H2/N2 ratio on performance of iron catalyst coupled with Ru cata... Activated carbon-supported Ru-based catalyst and A301 iron catalyst were prepared,and the influences of reaction temperature,space velocity,pressure,and H2/N2 ratio on performance of iron catalyst coupled with Ru catalyst in series for ammonia synthesis were investigated.The activity tests were also performed on the single Ru and Fe catalysts as comparison.Results showed that the activity of the Ru catalyst for ammonia synthesis was higher than that of the iron catalyst by 33.5%-37.6% under the reaction conditions:375-400 °C,10 MPa,10000 h-1,H2︰N2 3,and the Ru catalyst also had better thermal stability when treated at 475 °C for 20 h.The outlet ammonia concentration using Fe-Ru catalyst was increased by 45.6%-63.5% than that of the single-iron catalyst at low tem-perature (375-400 °C),and the outlet ammonia concentration increased with increasing Ru catalyst loading. 展开更多
关键词 Ru catalyst iron catalyst ammonia synthesis active carbon reactors in series
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阿联酋海域二叠系Khuff组气藏非烃气体成因及分布预测
17
作者 陈杰 张剑 +1 位作者 程绪彬 黄文明 《天然气工业》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第11期21-27,共7页
阿联酋北部海域二叠系Khuff组气藏不仅蕴含着丰富的天然气资源,而且还含有大量的非烃气体(CO_2、H_2S和N_2等)且分布极不均匀,严重制约了该区天然气资源的勘探与开发。为此,在分析区域地质、地球化学特征的基础上,研究了该区非烃气体的... 阿联酋北部海域二叠系Khuff组气藏不仅蕴含着丰富的天然气资源,而且还含有大量的非烃气体(CO_2、H_2S和N_2等)且分布极不均匀,严重制约了该区天然气资源的勘探与开发。为此,在分析区域地质、地球化学特征的基础上,研究了该区非烃气体的成因。结果表明:①Khuff组气藏中的H_2S气体主要来源于地层中的硫酸盐热液化学反应(TSR作用);②CO_2为无机成因,主要来源于深部地幔,同时也受到了TSR作用的影响;③N_2的成因目前还不能够完全确定,既有可能来自于深部的地幔,也有可能由过成熟阶段的有机质经氨化热解作用而形成。进而根据该区单井非烃气体含量,结合古构造演化、区域沉积相研究成果,探讨了非烃气体的分布范围,并绘制了Khuff组非烃气体含量预测分布图。结论认为:①非烃气体主要分布于阿布扎比的东北和东南海域,其次为西南海域,而西北海域含量则最低,后者是下一步天然气勘探的有利区;②应加强对Khuff组稀有气体含量与同位素的分析,以期更加准确地确定非烃气体的成因。 展开更多
关键词 阿联酋 二叠纪 Khuff组气藏 非烃气体 硫化氢 二氧化碳 氮气 TSR作用 来源及成因
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N_2-H_2容性耦合等离子体电非对称效应的particle-in-cell/Monte Carlo模拟
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作者 郝莹莹 孟秀兰 +3 位作者 姚福宝 赵国明 王敬 张连珠 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2014年第18期336-345,共10页
H_2-N_2混合气体电容性耦合射频放电在有机低介电系数材料刻蚀中具潜在研究意义.采用paxticle-incell/Monte Carlo模型模拟了双频(13.56 MHz/27.12 MHz)电压源分别接在结构对称的两个电极上的H_2-N_2容性耦合等离子体特征,研究了其电非... H_2-N_2混合气体电容性耦合射频放电在有机低介电系数材料刻蚀中具潜在研究意义.采用paxticle-incell/Monte Carlo模型模拟了双频(13.56 MHz/27.12 MHz)电压源分别接在结构对称的两个电极上的H_2-N_2容性耦合等离子体特征,研究了其电非对称效应.模拟结果表明,通过调节两谐波间的相位角θ,可以改变其电场、等离子体密度、离子流密度的轴向分布及离子轰击电极的能量分布.当相位角θ为0°时,低频电极(晶片)附近主要离子(H_3^+)的密度最小,离子(H_3^+,H_2^+,H^+)轰击低频电极的流密度及平均能量最高;当θ从0°变化90°时,低频电极的自偏压从-103V到106V近似线性增加,轰击电极的离子流密度变化约±18%,H^+离子轰击低频电极的最大能量约减小2.5倍,轰击电极的平均能量约变化2倍,表明氢离子能量和离子流几乎能独立控制. 展开更多
关键词 h2-n2等离子体 电非对称效应 PARTICLE-IN-CELL MONTE Carlo模型
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H_2对N_2直流辉光放电电子行为的影响 被引量:3
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作者 张连珠 高书侠 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第7期3524-3530,共7页
通过用MonteCarlo方法模拟N2-H2混合气体直流辉光放电等离子体快电子行为,从不同H2浓度的电子能量分布函数,电子密度以及ef-N2碰撞率等方面,研究了加H2对氮辉光放电等离子体过程的影响.研究结果表明随着H2浓度的升高,电子的平均能量增加... 通过用MonteCarlo方法模拟N2-H2混合气体直流辉光放电等离子体快电子行为,从不同H2浓度的电子能量分布函数,电子密度以及ef-N2碰撞率等方面,研究了加H2对氮辉光放电等离子体过程的影响.研究结果表明随着H2浓度的升高,电子的平均能量增加,电子密度及ef-N2的各种非弹性碰撞率减小;但在一定的放电条件下,加入少量的H2,可以提高N2的离解和电子激发率,即选取合适的放电参数,加入少量的氢,不仅可以提高电子密度,而且有助于提高重要氮活性粒子(N2,N+,N)的浓度.并得到了有利于粒子(N2,N+,N)产生的H2的最佳浓度.研究结果为认识N2/H2混合气体辉光放电等离子体过程机理,探索提供“氮活化粒子富源”的实验研究提供参考依据.计算的激发态(C3пu)的分布与实验结果进行了比较. 展开更多
关键词 N2-h2辉光放电 MONTE CARLO模拟 e-n2碰撞率
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H_2—N_2控制图的绘制及其在合成氨生产中的应用
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作者 邹远光 《小氮肥设计技术》 2004年第2期13-14,共2页
结合生产实际,绘制氨合成岗位H2-N2控制图,为制定最佳工艺指标、实现优化操作和生产经济运行,发挥了一定的指导作用。
关键词 合成氨 h2-n2控制图 工艺指标 工艺控制
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