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Study on Inertial Response Performance of A Micro Electrical Switch for Fuze 被引量:11
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作者 Wei-rong NIE Zhan-wen XI +1 位作者 Wei-qing XUE Zhi-jian ZHOU 《Defence Technology(防务技术)》 SCIE EI CAS 2013年第4期187-192,共6页
The design,modeling,and simulation of a micro electrical switch for fuze are presented.It consists of springemass system with zigzag slot in mass,latching and electrical connection mechanism and movement-limit mechani... The design,modeling,and simulation of a micro electrical switch for fuze are presented.It consists of springemass system with zigzag slot in mass,latching and electrical connection mechanism and movement-limit mechanism.The switch keeps off-state until it is subjected to an acceleration when fuze is launched normally.The acceleration is simulated as half-sine pulse with specific amplitude and duration.The dynamics model of the switch is studied.Based on zigzag slot in mass,the methods used for recognizing acceleration load are established and analyzed according to the dynamics theory.Two typical half-sine accelerations are loaded on the switch in simulation.The simulation results are in accordance with those of theoretical analysis.The inertial response characteristics of the switch can ensure that the fuze power supply and circuit are connected safely and reliably. 展开更多
关键词 引信电源 响应性能 电开关 惯性 弹簧质量系统 模拟交换机 微机 动力学模型
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Sensitivity analysis of pull-in voltage for RF MEMS switch based on modified couple stress theory 被引量:1
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作者 Junhua ZHU Renhuai LIU 《Applied Mathematics and Mechanics(English Edition)》 SCIE EI CSCD 2015年第12期1555-1568,共14页
An approximate analytical model for calculating the pull-in voltage of a stepped cantilever-type radio frequency (RF) micro electro-mechanical system (MEMS) switch is developed based on the Euler-Bernoulli beam an... An approximate analytical model for calculating the pull-in voltage of a stepped cantilever-type radio frequency (RF) micro electro-mechanical system (MEMS) switch is developed based on the Euler-Bernoulli beam and a modified couple stress theory, and is validated by comparison with the finite element results. The sensitivity functions of the pull-in voltage to the designed parameters are derived based on the proposed model. The sensitivity investigation shows that the pull-in voltage sensitivities increase/decrease nonlinearly with the increases in the designed parameters. For the stepped cantilever beam, there exists a nonzero optimal dimensionless length ratio, where the pull-in voltage is insensitive. The optimal value of the dimensionless length ratio only depends on the dimensionless width ratio, and can be obtained by solving a nonlinear equation. The determination of the designed parameters is discussed, and some recommendations are made for the RF MEMS switch optimization. 展开更多
关键词 stepped cantilever beam pull-in voltage modified couple stress theory radio frequency (RF) micro electro-mechanical system (MEMS) switch analytical solution sensitivity analysis
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Research on Seamless Switching Control Strategy Based on Virtual Synchronous Generator 被引量:1
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作者 Wei Kang Jibo Wan +1 位作者 Lixia Zhang Qilong Zhang 《Energy and Power Engineering》 2017年第4期436-444,共9页
This paper studies the voltage, phase and current tracking strategy to eliminate voltage and current mutations when the virtual synchronous generator is switching between grid-connected and islanded. By using these st... This paper studies the voltage, phase and current tracking strategy to eliminate voltage and current mutations when the virtual synchronous generator is switching between grid-connected and islanded. By using these strategies the inverter can realize secondary frequency regulation and voltage regulation. If the phase is near 0 or 2π a little disturbance may made the PLL output a big error, so a new PLL is proposed by this paper. A sine module is added in the PLL to avoid this error. In order to verify the strategy proposed by this paper a simulation model is built in Matlab/Simulink. The simulation results show that the control strategy can realize seamless switching. 展开更多
关键词 Virtual SYNCHRONOUS GENERATOR PLL SEAMLESS switchING micro GRID
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Study of Multi-Function Micro-Plasma Spraying Technology 被引量:3
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作者 汪刘应 王汉功 +1 位作者 华绍春 曹小平 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2007年第1期52-56,共5页
A multi-functional micro-arc plasma spraying system was developed according to aerodynamics and plasma spray theory. The soft switch IGBT (Insulated Gate Bipolar Transistor) invert technique, micro-computer control ... A multi-functional micro-arc plasma spraying system was developed according to aerodynamics and plasma spray theory. The soft switch IGBT (Insulated Gate Bipolar Transistor) invert technique, micro-computer control technique, convergent-divergent nozzle structure and axial powder feeding techniques have been adopted in the design of the micro-arc plasma spraying system. It is not only characterized by a small volume, a light weight, highly accurate control, high deposition efficiency and high reliability, but also has multi-functions in plasma spraying, welding and quenching. The experimental results showed that the system can produce a supersonic flame at a low power, spray Al2O3 particles at an average speed up to 430 m/s, and make nanostructured AT13 coatings with an average bonding strength of 42.7 MPa. Compared to conventional 9M plasma spraying with a higher power, the coatings with almost the same properties as those by conventional plasma spray can be deposited by multi-functional micro-arc plasma spraying with a lower power plasma arc due to an improved power supply design, spray gun structure and powder feeding method. Moreover, this system is suitable for working with thin parts and undertaking on site repairs, and as a result, the application of plasma spraying will be greatly extended. 展开更多
关键词 micro-plasma spraying soft-switch invert technology nanostructured coating high-pressure high-current plasmas (plasma spray arc welding etc.)
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A Novel Approach in RF-MEMS Switch Analysis Using Time Domain TLM Method
5
作者 Alireza Haghshenas Changiz Ghobadi +2 位作者 Javad Nourinia Davod Ahmadian Saber Soltani 《Journal of Electromagnetic Analysis and Applications》 2011年第10期395-398,共4页
In this paper the transmission line matrix (TLM) method is exploited to evaluate the electromagnetic field distribution over a new radio frequency micro electromechanical system (RF-MEMS). A hybrid symmetrical condens... In this paper the transmission line matrix (TLM) method is exploited to evaluate the electromagnetic field distribution over a new radio frequency micro electromechanical system (RF-MEMS). A hybrid symmetrical condensed node is used to analyze S-parameters of the switch in on and off states. Furthermore, the effects of spring zigzag cuts over the bridge are analyzed. Results have authorized that TLM method offers a much faster and more reliable results compare to other numerical methods because of its time domain behavior and transmission line basis. 展开更多
关键词 TRANSMISSION LINE MATRIX micro ELECTROMECHANICAL System switch Analyze
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Noise analysis and characterization of a full differential CMOS interface circuit for capacitive closed-loop micro-accelerometer
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作者 刘晓为 李海涛 +3 位作者 尹亮 陈伟平 索春光 周治平 《Journal of Harbin Institute of Technology(New Series)》 EI CAS 2010年第5期684-689,共6页
To achieve a high precision capacitive closed-loop micro-accelerometer,a full differential CMOS based on switched-capacitor circuit was presented in this paper as the sensor interface circuit.This circuit consists of ... To achieve a high precision capacitive closed-loop micro-accelerometer,a full differential CMOS based on switched-capacitor circuit was presented in this paper as the sensor interface circuit.This circuit consists of a balance-bridge module,a charge sensitive amplifier,a correlated-double-sampling module,and a logic timing control module.A special two-path feedback circuit configuration was given to improve the system linearity.The quantitative analysis of error voltage and noise shows that there is tradeoff around circuit's noise,speed and accuracy.A detailed design method was given for this tradeoff.The noise performance optimized circuit has a noise root spectral density of 1.0 μV/Hz,equivalent to rms noise root spectral density of 1.63 μg/Hz.Therefore,the sensor's Brown noise becomes the main noise source in this design.This circuit is designed with 0.5 μm n-well CMOS process.Under a ±5 V supply,the Hspice simulation shows that the system sensitivity achieves 0.616 V/g,the system offset is as low as 1.456 mV,the non-linearity is below 0.03%,and the system linear range achieves ±5 g. 展开更多
关键词 low noise full differential switchED-CAPACITOR CLOSED-LOOP capacitive micro-accelerometer
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微配网多端柔性多状态开关载荷负荷控制系统 被引量:1
7
作者 钱海 曾乔迪 +1 位作者 许士锦 岑宝仪 《电子设计工程》 2025年第2期112-115,120,共5页
微配网多端柔性多状态开关具有多端灵活多态切换等特性,该特性造成载荷负荷具有不确定性和随机性,易出现负荷不均衡情况。为此,设计双层嵌套负荷均衡控制系统。设计多状态开关载荷主控子系统模块,在开关载荷负荷控制微处理单元,控制接... 微配网多端柔性多状态开关具有多端灵活多态切换等特性,该特性造成载荷负荷具有不确定性和随机性,易出现负荷不均衡情况。为此,设计双层嵌套负荷均衡控制系统。设计多状态开关载荷主控子系统模块,在开关载荷负荷控制微处理单元,控制接收外部发送命令。通过负荷控制多端通信接口,实现多端接入通道的多源数据传输。构建供区层和馈线层的双层嵌套加权最小目标函数,充分考虑开关两端等效损耗约束目标函数,避免损耗影响系统控制效率。设计双层负荷动态分配方案,使得开关载荷负荷达到均衡状态。由系统应用仿真结果可知,该系统控制核心三维坐标为(2,6,200),能够达到相对理想的控制目标。 展开更多
关键词 微配网 多端柔性多状态开关 双层嵌套 均衡控制
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基于GaN的高增益微型光伏逆变器
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作者 林逸垒 杨翠 +6 位作者 王新怀 毛维 葛崇志 于龙洋 张春福 张进成 郝跃 《物理学报》 北大核心 2025年第10期1-9,共9页
微型逆变器以其模块化、灵活等优势,近年来已被广泛应用于分布式光伏发电系统中.然而受拓扑结构和传统功率器件性能的影响,目前微型逆变器拓扑的电压增益低、可靠性差等问题仍制约着微型逆变器的进一步发展.为此,本文提出并研制了一种... 微型逆变器以其模块化、灵活等优势,近年来已被广泛应用于分布式光伏发电系统中.然而受拓扑结构和传统功率器件性能的影响,目前微型逆变器拓扑的电压增益低、可靠性差等问题仍制约着微型逆变器的进一步发展.为此,本文提出并研制了一种基于氮化镓高电子迁移率晶体管(GaN HEMT)的增强型开关电感准Z源逆变器.该逆变器首次采用了辅助升压单元融合开关电感准Z源网络的新型拓扑结构,显著提高了低直通占空比下的电压增益,同时降低了开关器件电压应力.此外,采用GaN HEMT作为逆变器功率开关器件,设计了专用负压关断驱动电路,将功率管开关频率从传统的10 kHz提高到100 kHz,减小了电感及其他无源器件的体积.经样机系统测试,在直通占空比为0.2时,逆变器实际升压因子达到5.75,较其他开关电感准Z源型逆变器拓扑提高了15%.本研究在现有拓扑结构的基础上有效地提高了电压增益,结合GaN HEMT的应用,为高效、紧凑的微型逆变器设计提供了新的技术路径. 展开更多
关键词 微型光伏逆变器 开关电感准Z源逆变器 GAN高电子迁移率晶体管
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基于弱耦合谐振器的高分辨力微型电场传感器设计
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作者 王若航 李晓南 +1 位作者 顾羽 杨鹏飞 《仪表技术与传感器》 北大核心 2025年第6期1-6,12,共7页
基于弱耦合谐振器振动模态的能量集中效应可实现传感器高灵敏检测。为满足实际应用中对电场传感器高灵敏度和高分辨力的需求,提出了一种基于弱耦合谐振器的微型电场传感器结构设计方案。传感器由封装管壳、电场引入结构、微型放电开关... 基于弱耦合谐振器振动模态的能量集中效应可实现传感器高灵敏检测。为满足实际应用中对电场传感器高灵敏度和高分辨力的需求,提出了一种基于弱耦合谐振器的微型电场传感器结构设计方案。传感器由封装管壳、电场引入结构、微型放电开关和三自由度弱耦合谐振系统组成。重点研究了电场引入结构的高灵敏设计方法,为了解决电场感应电极的静电荷积累问题,提出在敏感结构中设计微型放电开关,进一步提高电场传感器的分辨力和零点稳定性。 展开更多
关键词 MEMS 模态局部化现象 电场引入结构 微型放电开关 灵敏度 分辨力
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射频微机电系统开关质量评价要求研究
10
作者 王海健 齐润楠 周俊 《信息技术与标准化》 2025年第11期73-77,84,共6页
针对射频微机电系统(RF MEMS)开关的可靠性评价问题,结合其典型结构及工作原理,分析了工艺、机械、环境等因素对开关可靠性的影响。在此基础上,提出了该开关的可靠性试验项目,以及筛选、鉴定检验、质量一致性检验的质量评价程序与方法... 针对射频微机电系统(RF MEMS)开关的可靠性评价问题,结合其典型结构及工作原理,分析了工艺、机械、环境等因素对开关可靠性的影响。在此基础上,提出了该开关的可靠性试验项目,以及筛选、鉴定检验、质量一致性检验的质量评价程序与方法。典型开关样品的试验验证结果表明,该评价要求程序有效、合理。本研究可为RF MEMS开关的质量考核与可靠性提升提供关键依据。 展开更多
关键词 射频 微机电系统 开关 质量评价
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堆叠式压电陶瓷机电耦合场下的疲劳试验
11
作者 赵文晨 胡泓 《压电与声光》 北大核心 2025年第6期1141-1148,共8页
该文研究了PIP-887.91型压电陶瓷在机电耦合场下疲劳失效问题,设计额定机械预载荷(1 000 N)与交变电场(100 V/100 Hz)耦合的加速疲劳试验,通过系统监测1亿次循环中位移、迟滞回线宽度及电容的变化规律。实验表明,在初期(0~5.5×10^... 该文研究了PIP-887.91型压电陶瓷在机电耦合场下疲劳失效问题,设计额定机械预载荷(1 000 N)与交变电场(100 V/100 Hz)耦合的加速疲劳试验,通过系统监测1亿次循环中位移、迟滞回线宽度及电容的变化规律。实验表明,在初期(0~5.5×10^(6)次)电畴重排,位移提升14.5%,电容增长9.5%;中期(5.5~50×10^(6)次)微裂纹萌生导致迟滞回线宽度增加58%,位移衰减15%;后期(>50×10^(6)次)裂纹网络贯通,电容异常跃升12.4%,位移和最大迟滞回线宽度出现波动。 展开更多
关键词 压电陶瓷 疲劳失效 机电耦合 电畴重排 微裂纹扩展 迟滞特性 电容演化
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一种高可靠性固件更新方案设计与应用
12
作者 史林然 赵权 +1 位作者 周琰 刘小虎 《船电技术》 2025年第10期60-64,共5页
针对嵌入式微控制器GD32现场调试过程中需要频繁拆卸产品或设备、连接硬件仿真器更新固件程序的问题,本文设计了一种通过现有的外设通信接口对微控制器内部固件程序进行在线更新的方案。该方案从软件设计角度考虑了升级过程中可能出现... 针对嵌入式微控制器GD32现场调试过程中需要频繁拆卸产品或设备、连接硬件仿真器更新固件程序的问题,本文设计了一种通过现有的外设通信接口对微控制器内部固件程序进行在线更新的方案。该方案从软件设计角度考虑了升级过程中可能出现断电等异常现象,提出了一种A/B面固件切换更新方法,保证固件更新的高可靠性。同时设计了固件数据传输容错机制进一步提高固件更新的可靠性。提出的固件更新方案已在GD32F4xx系列微控制器上成功应用,大量试验充分验证了所提方案安全可靠、简单易实现,具有较好的应用推广价值。 展开更多
关键词 微控制器GD32 A/B面固件切换更新 固件数据传输
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基于lift-off工艺的RF MEMS开关触点平坦化方法
13
作者 杨彪 诸葛明华 +1 位作者 吴国才 容炎森 《微纳电子技术》 2025年第2期116-121,共6页
采用表面微加工工艺制备射频微机电系统(RF MEMS)开关,开关触点的平坦化是一项关键工艺,直接影响RF MEMS开关的机械和电学性能。设计静电驱动接触式的RF MEMS开关结构,然后通过在触点上进行套刻制备光刻胶岛、蒸镀制备铝牺牲层,利用lift... 采用表面微加工工艺制备射频微机电系统(RF MEMS)开关,开关触点的平坦化是一项关键工艺,直接影响RF MEMS开关的机械和电学性能。设计静电驱动接触式的RF MEMS开关结构,然后通过在触点上进行套刻制备光刻胶岛、蒸镀制备铝牺牲层,利用lift-off工艺解决触点与牺牲层平坦化的问题。再采用电镀工艺制备金悬臂梁,使用氢氧化钠溶液腐蚀铝释放获得RF MEMS开关。通过原子力显微镜(AFM)、聚焦离子束显微镜(FIB)等仪器对样品进行形貌测量,数据显示开关触点与铝牺牲层的高度差约为27.36 nm,悬臂梁与下方平面的左右空隙差约为22 nm,结果表明通过该方法能够实现开关触点与牺牲层的高度平坦化。 展开更多
关键词 射频微机电系统(RF MEMS)开关 开关触点 牺牲层 平坦化 lift-off工艺
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备用光纤自动巡检模块的光纤全方向光切换技术研究
14
作者 沈伟 杨虎 +2 位作者 卜荣 刘玺 吴浩 《自动化与仪器仪表》 2025年第7期259-263,共5页
针对光纤人工巡检操作复杂,巡检效率低的问题,光时域反射仪巡检噪声大的问题,研究设计了一个全方向光切换自动巡检装置。提出利用变模态分解与排列熵改进小波阈算法,对光纤信号进行去噪处理,优化自动巡检的故障检出效果。结果显示,研究... 针对光纤人工巡检操作复杂,巡检效率低的问题,光时域反射仪巡检噪声大的问题,研究设计了一个全方向光切换自动巡检装置。提出利用变模态分解与排列熵改进小波阈算法,对光纤信号进行去噪处理,优化自动巡检的故障检出效果。结果显示,研究设计的自动巡检装置在不同工作波段光纤中,对故障检出率总是可以达到95%以上。研究结合微电机系统制备全方向光切换模块与光时域反射仪制备自动巡检模块,设计的全方向光切换自动巡检装置在保证光纤巡检装置的故障检出率的同时,可显著提高光纤巡检效率,同时该装置在不同工作波段的光纤中仍保持了较好的故障检出率。 展开更多
关键词 光纤 自动巡检 光切换 光时域反射仪 微机电系统
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基于非硅衬底的微机电系统惯性开关的研制 被引量:11
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作者 蔡豪刚 杨卓青 +1 位作者 丁桂甫 刘瑞 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期156-161,共6页
以非硅表面微加工技术为基础,在玻璃衬底上设计和制造一种简单可靠并有反向冲击保护的单向一次触发微机电系统(Microelectro-mechanical system,MEMS)惯性电学开关。该设计采用连体蛇形弹簧将可动电极(质量块)悬空固定,用挡块作为反向... 以非硅表面微加工技术为基础,在玻璃衬底上设计和制造一种简单可靠并有反向冲击保护的单向一次触发微机电系统(Microelectro-mechanical system,MEMS)惯性电学开关。该设计采用连体蛇形弹簧将可动电极(质量块)悬空固定,用挡块作为反向冲击保护,其敏感方向为平行于衬底面的水平方向,整个器件使用成本较低而又方便的叠层电镀镍工艺制作。通过对弹簧-质量块系统运动过程的理论分析和有限元仿真,研究器件阈值加速度与其质量块厚度的关系,并用落锤试验对封装器件的阈值加速度以及峰值为100g(g=9.8m/s2)半正弦冲击下的响应进行了测试,得到该微开关的阈值加速度分布在58g~72g,基本符合预期设计的60g阈值加速度要求,响应时间约为10–4s量级,与有限元仿真结果吻合较好。 展开更多
关键词 惯性开关 微机电系统 非硅表面微加工 阈值加速度 仿真
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微机电系统惯性电学开关的设计与制作 被引量:7
16
作者 杨卓青 丁桂甫 +2 位作者 蔡豪刚 刘瑞 赵小林 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第9期1033-1036,共4页
基于非硅表面微加工技术,给出了微机电系统惯性电学开关的一种新式设计,该设计采用两端悬空固定的多孔弹性梁作为固定电极,由连体蛇形弹簧连接悬空的质量块作为可动电极,可动电极位于支撑层和弹性梁之间,该结构在保证微开关具有足够灵... 基于非硅表面微加工技术,给出了微机电系统惯性电学开关的一种新式设计,该设计采用两端悬空固定的多孔弹性梁作为固定电极,由连体蛇形弹簧连接悬空的质量块作为可动电极,可动电极位于支撑层和弹性梁之间,该结构在保证微开关具有足够灵敏度的同时,可有效提高两电极间的接触效果和器件的抗冲击保护。使用成本较低的多次叠层电镀镍的方法制作了设计的微型惯性开关,并对其元器件进行了试验测试,结果表明:开关在100g加速度作用下的响应时间和接触时间分别约为0.40ms和12μs,与有限元动力学仿真结果吻合较好,表现出较高的灵敏度和良好接触效果。 展开更多
关键词 非硅表面微加工 微型惯性开关 设计与制作 微机电系统(MEMS)
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电网电压不平衡条件下微网PQ控制策略研究 被引量:25
17
作者 吕志鹏 罗安 +1 位作者 荣飞 郭镥 《电力电子技术》 CSCD 北大核心 2010年第6期71-74,共4页
基于平衡假设的前馈解耦PQ控制是微网典型的控制策略,通过对该策略进行功率分析,并利用开关函数法分析并网逆变器输出性能,得出基于该控制策略在电网电压不平衡条件下逆变器的输出会包含3次谐波和负序分量。作为改进,在原有的PQ控制结... 基于平衡假设的前馈解耦PQ控制是微网典型的控制策略,通过对该策略进行功率分析,并利用开关函数法分析并网逆变器输出性能,得出基于该控制策略在电网电压不平衡条件下逆变器的输出会包含3次谐波和负序分量。作为改进,在原有的PQ控制结构基础上叠加前馈负序电压控制环以抵消电网电压负序分量从而维持三相平衡,通过改进的开关函数调制法降低3次谐波分量输出。仿真验证了理论分析并证明了所采取控制措施的有效性。 展开更多
关键词 控制 三相不平衡 微网 开关函数 负序补偿
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基于非硅表面微加工的MEMS惯性开关设计与动力学仿真 被引量:4
18
作者 杨卓青 丁桂甫 +2 位作者 蔡豪刚 付世 赵小林 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第3期629-633,共5页
基于非硅表面微加工技术,设计了一种新的MEMS微型惯性电学开关。较厚的质量块可动电极和位于其上方悬空的弹性梁固定电极,不但有利于提高开关器件的触发灵敏度和接触效果,而且可避免质量块和弹簧过多偏离对器件造成的损坏。对所设计开... 基于非硅表面微加工技术,设计了一种新的MEMS微型惯性电学开关。较厚的质量块可动电极和位于其上方悬空的弹性梁固定电极,不但有利于提高开关器件的触发灵敏度和接触效果,而且可避免质量块和弹簧过多偏离对器件造成的损坏。对所设计开关进行了有限元动态接触仿真,结果表明开关在100g加速度作用下的响应时间和接触时间分别约为0.24ms和10μs,表现出较高的触发灵敏度和良好的接触效果,随加速度的增加惯性开关的响应时间减小,两电极的接触时间增加。 展开更多
关键词 微型惯性开关 非硅表面微加工 设计 动力学仿真
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五位分布式MEMS传输线移相器的优化设计 被引量:3
19
作者 高杨 贾小慧 +1 位作者 秦燃 官承秋 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2011年第10期655-659,共5页
通过在共面波导传输线上周期性地加载分布电容,外加驱动电压改变电容值,实现分布式MEMS传输线移相器。从三个方面优化了五位分布式MEMS传输线移相器的设计:一是分别设计了11.25°和22.5°两种微桥,单元在Ka波段的插入损耗均大于... 通过在共面波导传输线上周期性地加载分布电容,外加驱动电压改变电容值,实现分布式MEMS传输线移相器。从三个方面优化了五位分布式MEMS传输线移相器的设计:一是分别设计了11.25°和22.5°两种微桥,单元在Ka波段的插入损耗均大于-0.8 dB,回波损耗均小于-15 dB,相移精度小于0.4°,新的五位移相器以2种单元、19个微桥的结构替代了传统单一单元、31个微桥的结构,可减少微桥的总数;二是CPW传输线采用折叠布局,通过共用部分地线,移相器平面尺寸减小至1.81 mm×3.84 mm,相比传统五位分布式移相器,面积减小了56%,实现了器件的小型化;三是设计了一种新型的直流偏置结构,结构简单、工艺容易实现。 展开更多
关键词 射频微电子机械系统(RF MEMS) 移相器 传输线 微开关 微桥
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抗高过载微流体惯性开关 被引量:4
20
作者 黄刘 聂伟荣 +1 位作者 王晓锋 沈腾 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第3期526-532,共7页
基于微连通器结构,提出了一种使用盐水(Na Cl溶液)作为工作流体且具有高的抗过载能力的微流体惯性开关。分析了液滴的分离机理,设计了开关的流道结构。然后,对开关进行了理论分析,建立了开关模型。最后,利用流体动力学仿真和样机实验相... 基于微连通器结构,提出了一种使用盐水(Na Cl溶液)作为工作流体且具有高的抗过载能力的微流体惯性开关。分析了液滴的分离机理,设计了开关的流道结构。然后,对开关进行了理论分析,建立了开关模型。最后,利用流体动力学仿真和样机实验相结合的方法,对开关结构和功能进行了验证。验证结果显示:在幅值为30 000 g阶跃型加速度作用下,开关的工作流体仍未发生分离,加速度的幅值与开关响应时间相关。另外,开关样机能够使盐水液面形成高度差,样机的静态加速度阈值为134.6 g^152.3 g,非常接近其理论计算的加速度阈值142.7 g。得到的结果表明,采用的微连通器结构能够极大地增强微流体惯性开关的抗液体分离能力,能够对加速度幅值进行区分,并实现闭锁功能,同时显示了高的抗过载能力。 展开更多
关键词 微流体惯性开关 微加速度开关 微连通器 抗高过载
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