Ti_2(OMe)_4SiO_2催化剂的制备及其合成碳酸二甲酯的反应性能 被引量：11

1

作者 钟顺和 孔令丽 +1 位作者 黎汉生 肖秀芬 《燃料化学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第5期454-458,共5页

采用表面改性和离子交换法制备了SiO2 负载的Ti2 (OMe) 4双核桥联配合物催化剂 ,用IR、TPD和微反技术考察了催化剂的表面构造及CO2 和CH3OH在催化剂表面上的化学吸附和反应性能。结果表明 :双核桥联配合物Ti2 (OMe) 4以Ti—O—Si键锚定... 采用表面改性和离子交换法制备了SiO2 负载的Ti2 (OMe) 4双核桥联配合物催化剂 ,用IR、TPD和微反技术考察了催化剂的表面构造及CO2 和CH3OH在催化剂表面上的化学吸附和反应性能。结果表明 :双核桥联配合物Ti2 (OMe) 4以Ti—O—Si键锚定在SiO2 表面上 ;CO2 在催化剂表面存在桥式和甲氧碳酸酯基两种吸附态 ,其中甲氧碳酸酯基吸附态是生成DMC的关键物种 ;CH3OH在催化剂上只有一种分子吸附态。在 15 0℃以下 ,CO2 和CH3OH在Ti2 (OMe) 4 SiO2 催化剂表面上高选择地生成碳酸二甲酯。 展开更多

关键词 ti2(OMe)4/sio2 催化剂 制备 合成 反应性能 二氧化碳 甲醇 碳酸二甲酯 sio2载体 负载型双核钛桥联配合物 二氧化硅

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Ti(SO_4)_2/SiO_2催化合成油酸正丁酯 被引量：18

2

作者 廖德仲 何节玉 +1 位作者 何先明 罗尚贵 《化学世界》 CAS CSCD 北大核心 2002年第1期40-42,共3页

考察了 Ti(SO4 ) 2 /Si O2 在油酸丁酯合成反应中的催化性能 ,对影响酯化的条件进行了优化 ,优化条件如下 :0 .2 g Ti(SO4 ) 2 /g Si O2 ,油酸 0 .1 mol,丁醇 0 .2 mol,催化剂 1 g,反应温度 1 40°C,反应时间 6 0 min。优化条件下 ... 考察了 Ti(SO4 ) 2 /Si O2 在油酸丁酯合成反应中的催化性能 ,对影响酯化的条件进行了优化 ,优化条件如下 :0 .2 g Ti(SO4 ) 2 /g Si O2 ,油酸 0 .1 mol,丁醇 0 .2 mol,催化剂 1 g,反应温度 1 40°C,反应时间 6 0 min。优化条件下 ,油酸的酯化率 98%,收率 91 %。 展开更多

关键词 硫酸钛 二氧化硅 油酸正丁酯 催化酯化 催化剂 催化性能

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SiO_(2f)/SiO_2复合材料与TC4,Ti_3Al和TiAl的钎焊 被引量：5

3

作者 陈波 熊华平 +1 位作者 毛唯 程耀永 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第2期41-44,90,共5页

在880℃/10min规范下,采用AgCuTi活性箔带钎料完成了SiO2f/SiO2/TC4,SiO2f/SiO2/Ti3Al和SiO2f/SiO2/TiAl三种接头的连接,每种接头界面均结合良好。接头显微组织结果表明,三种接头组织形貌较为相似,均在靠近SiO2f/SiO2母材的界面处形成... 在880℃/10min规范下,采用AgCuTi活性箔带钎料完成了SiO2f/SiO2/TC4,SiO2f/SiO2/Ti3Al和SiO2f/SiO2/TiAl三种接头的连接,每种接头界面均结合良好。接头显微组织结果表明,三种接头组织形貌较为相似,均在靠近SiO2f/SiO2母材的界面处形成了一层薄薄的扩散反应层组织,在该组织中出现了Ti和O的富集。分析认为,钎焊过程中钎料中的Ti会优先向SiO2f/SiO2母材边缘扩散,同时,金属母材中的元素在液态钎料的作用下不断向钎缝中溶解,其中一部分母材中的Ti也会向复合材料母材边缘扩散,两种不同来源的Ti共同与SiO2发生反应生成Ti-O相,根据三种接头扩散层中Ti和O的原子比例推断Ti-O相为Ti2O。三种接头的钎缝基体区主要由白色组织和灰色组织共同组成,其中白色组织中富含Ag,主要以Ag基固溶体形式存在,而灰色组织中富含Ti和Cu,二者结合生成Ti-Cu组织。 展开更多

关键词 sio2f/sio2复合材料 AgCuti TC4 ti3AL tiAL

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SiO_2添加物对CaCu_3Ti_4O_(12)陶瓷的微观结构与介电性能的影响 被引量：9

4

作者 李旺 巩会玲 +3 位作者 刘宇 刘兵发 刘桂华 杜国平 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期1365-1369,共5页

采用传统固相反应法制备了不同SiO2掺量的CaCu3Ti4O12(CCTO)陶瓷材料,并研究了SiO2含量对CCTO陶瓷物相结构、微观形貌及介电性能的影响。结果表明:高温烧结时,SiO2不会与CCTO发生固相反应,而作为第二相物质存在于CCTO陶瓷的晶界,并对CCT... 采用传统固相反应法制备了不同SiO2掺量的CaCu3Ti4O12(CCTO)陶瓷材料,并研究了SiO2含量对CCTO陶瓷物相结构、微观形貌及介电性能的影响。结果表明:高温烧结时,SiO2不会与CCTO发生固相反应,而作为第二相物质存在于CCTO陶瓷的晶界,并对CCTO陶瓷的微观结构产生不同程度的影响。CCTO陶瓷的介电常数和介电损耗随SiO2含量的增多而相应减小。阻抗分析表明,CCTO陶瓷的晶粒电阻随SiO2的掺入略有改变,而晶界电阻则随SiO2的掺入而显著增大。分析认为,晶界电阻的增大是导致CCTO陶瓷介电损耗降低的主要原因。 展开更多

关键词 CACU3ti4O12 sio2添加物 介电性能 微观结构 物相结构

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Si/Ti摩尔比对SiO_2-TiO_2气凝胶催化性能的影响 被引量：3

5

作者 张波 姜剑锋 +1 位作者 邓冰心 陈银飞 《浙江工业大学学报》 CAS 北大核心 2015年第4期374-378,共5页

通过溶胶凝胶—常压干燥法制备了不同Si/Ti摩尔比的SiO2-TiO2复合气凝胶,结合Uv-vis,FT-IR等表征手段研究Si/Ti摩尔比对其在以N,N-二甲基甲酰胺(DMF)为溶剂,H2O2((H2O2)=30%)为氧化剂的苯乙烯环氧化反应中催化性能的影响.结果表明:反... 通过溶胶凝胶—常压干燥法制备了不同Si/Ti摩尔比的SiO2-TiO2复合气凝胶,结合Uv-vis,FT-IR等表征手段研究Si/Ti摩尔比对其在以N,N-二甲基甲酰胺(DMF)为溶剂,H2O2((H2O2)=30%)为氧化剂的苯乙烯环氧化反应中催化性能的影响.结果表明:反应产物只有环氧苯乙烷(SO)和苯甲醛(BA).随着Si/Ti摩尔比的降低,催化剂的TON和双氧水的有效利用率逐渐降低,但苯乙烯的转化率先迅速增加后增加缓慢,SO的选择性先增加后降低,当Si/Ti摩尔比为16.4时,SO的选择性和收率最高,这归因于随着钛含量的增加,三种不同钛物种相对含量的变化. 展开更多

关键词 苯乙烯 环氧化 sio2-tiO2复合气凝胶 Si/ti比 选择性

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Ti(SO_4)_2/SiO_2催化合成草酸二异戊酯 被引量：6

6

作者 陈献桃 毛立新 +3 位作者 廖德仲 何节玉 谢福荣 刘机灵 《湖南理工学院学报（自然科学版）》 CAS 2003年第2期47-49,共3页

采用负载法制得Ti(SO_4)_2/SiO_2为催化剂合成了一种柴油十六烷值改进剂——草酸二异戊酯,在负载量20％,催化剂用量为草酸质量的5％,酸酶摩尔比1/2.8,反应时间1.5h,草酸的酯化率高达97.4％。试验表明该催化剂使用后无需任何处理,可重复... 采用负载法制得Ti(SO_4)_2/SiO_2为催化剂合成了一种柴油十六烷值改进剂——草酸二异戊酯,在负载量20％,催化剂用量为草酸质量的5％,酸酶摩尔比1/2.8,反应时间1.5h,草酸的酯化率高达97.4％。试验表明该催化剂使用后无需任何处理,可重复使用多次,是一种催化性能稳定、选择性好的催化合成草酸二异戊酯的环境友好催化剂。 展开更多

关键词 十六烷值改进剂 ti(SO4)2/sio2 催化合成 草酸二异戊酯

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表面制备SiO_2涂层的Ti_2AlNb基合金高温氧化激活能研究 被引量：2

7

作者 任保轶 王思林 +1 位作者 刘子儒 张学军 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第7期6-10,共5页

利用溶胶-凝胶法在Ti2AlNb基合金表面制备非晶SiO2涂层,测定了涂层样品和空白样品在800℃和900℃下空气氧化增重动力学数据,通过线性拟合获取试样在不同温度下的氧化速率常数。根据氧化速率常数的Arrhenius关系,计算试样在800℃和900℃... 利用溶胶-凝胶法在Ti2AlNb基合金表面制备非晶SiO2涂层,测定了涂层样品和空白样品在800℃和900℃下空气氧化增重动力学数据,通过线性拟合获取试样在不同温度下的氧化速率常数。根据氧化速率常数的Arrhenius关系,计算试样在800℃和900℃高温环境中的氧化激活能。结果表明,涂层样品较空白样品的氧化速率常数降低,氧化激活能升高。 展开更多

关键词 溶胶-凝胶法 sio2 涂层 ti2ALNB基合金 高温氧化 激活能

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添加纳米SiO_2粉体对Ti_(84)Mo_(16)合金性能优化的探索 被引量：2

8

作者 赵明威 田文超 +2 位作者 Cui’E.Wen 林建国 王晓江 《铸造技术》 CAS 北大核心 2008年第12期1681-1684,共4页

针对"骨置换"材料的高强度、低弹性模量需求,基于粉末冶金制备工艺,对钛钼Ti84Mo16二元粉采用2 h球磨,然后在球磨粉中添加比例分别为1%、2%、5%纳米级SiO2粉后压坯成型,并在1 200℃条件下保温5 h固相烧结制备合金。研究发现,... 针对"骨置换"材料的高强度、低弹性模量需求,基于粉末冶金制备工艺,对钛钼Ti84Mo16二元粉采用2 h球磨,然后在球磨粉中添加比例分别为1%、2%、5%纳米级SiO2粉后压坯成型,并在1 200℃条件下保温5 h固相烧结制备合金。研究发现,在Ti84Mo16合金中添加不同比例的SiO2后,其屈服强度提高17.92%,断裂强度提高5.8%,但合金塑性降低,弹性模量没有增加,依然与"骨置换"材料要求所匹配。 展开更多

关键词 ti81Mo16医用合金 力学性能 弹性模量 纳米sio2粉末

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Ti/SiO_2(薄)/Si体系在微量氧存在的氮气中退火过程的研究 被引量：1

9

作者 李映雪 李玉铭 李山东 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1993年第10期637-643,共7页

RBS,AES,XPS分析结果证实:在有微量氧存在的氮气中,Ti/SiO_2(薄)/Si体系不同温度下退火过程均无TiN生成;随退火温度升高,该体系形成的TiSi_2层不断增厚,Ti氧化物层不断变薄,并伴有SiO_2在表面层重新出现。通过△G的计算,热力学证明反应2... RBS,AES,XPS分析结果证实:在有微量氧存在的氮气中,Ti/SiO_2(薄)/Si体系不同温度下退火过程均无TiN生成;随退火温度升高,该体系形成的TiSi_2层不断增厚,Ti氧化物层不断变薄,并伴有SiO_2在表面层重新出现。通过△G的计算,热力学证明反应2TiO+5Si=2TiSi_2+SiO_2能够发生,并以此解释了退火中各层的变化规律。 展开更多

关键词 ti/sio2/Si 微量氧 氮气 退火

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Ti(SO_4)_2/SiO_2催化合成苯甲酸异戊酯的研究 被引量：3

10

作者 张富捐 张红宇 +1 位作者 盛淑玲 张翔宇 《工业催化》 CAS 2004年第11期24-26,共3页

以Ti(SO4)2/SiO2为催化剂,苯甲酸和异戊醇为原料,合成了苯甲酸异戊酯。对影响酯化反应的因素进行了研究。优化的工艺条件:负载硫酸钛质量分数为10%,催化剂用量为2 5g·(0 05mol 苯甲酸)-1,醇酸物质的量比为4∶1,反应时间为90min,苯... 以Ti(SO4)2/SiO2为催化剂,苯甲酸和异戊醇为原料,合成了苯甲酸异戊酯。对影响酯化反应的因素进行了研究。优化的工艺条件:负载硫酸钛质量分数为10%,催化剂用量为2 5g·(0 05mol 苯甲酸)-1,醇酸物质的量比为4∶1,反应时间为90min,苯甲酸的酯化率可达96 6%。 展开更多

关键词 苯甲酸异戊酯 催化酯化 ti(SO4)2/sio2

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Ti(SO_4)_2/SiO_2催化合成丙酸异戊酯 被引量：5

11

作者 张富捐 高宏宙 +1 位作者 盛淑玲 张翔宇 《浙江化工》 CAS 2004年第9期11-12,共2页

以二氧化硅负载硫酸钛[Ti(SO4)2/SiO2]为催化剂,对丙酸和异戊醇的酯化反应进行了研究。考察了各种因素对反应的影响,确定了最佳工艺如下:醇酸物质的量比为1.3:1,催化剂用量为1g/0.1mol丙酸,Ti(SO4)2负载量为10%,反应温度120～135℃,反... 以二氧化硅负载硫酸钛[Ti(SO4)2/SiO2]为催化剂,对丙酸和异戊醇的酯化反应进行了研究。考察了各种因素对反应的影响,确定了最佳工艺如下:醇酸物质的量比为1.3:1,催化剂用量为1g/0.1mol丙酸,Ti(SO4)2负载量为10%,反应温度120～135℃,反应时间60min,丙酸的酯化率可达99.6 %。 展开更多

关键词 ti(SO4)2 丙酸异戊酯 催化合成 sio2 醇酸 酯化率 异戊醇 物质的量比 酯化反应 反应温度

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Ti(SO_4)_2/SiO_2催化合成柠檬酸三丁酯 被引量：8

12

作者 何节玉 廖德仲 《精细石油化工进展》 CAS 2002年第5期18-20,共3页

以Ti(SO_4)_2/SiO_2为催化剂催化合成柠檬酸三丁酯。该催化剂活性高,选择性好,易分离,反应时间短,是一种环境友好催化剂。考察了影响酯化反应的各种因素,确定了最佳合成工艺条件:Ti(SO_4)_2负载量10％,柠檬酸0.1 mol,正丁醇0.39 mol,催... 以Ti(SO_4)_2/SiO_2为催化剂催化合成柠檬酸三丁酯。该催化剂活性高,选择性好,易分离,反应时间短,是一种环境友好催化剂。考察了影响酯化反应的各种因素,确定了最佳合成工艺条件:Ti(SO_4)_2负载量10％,柠檬酸0.1 mol,正丁醇0.39 mol,催化剂1.2 g,反应温度145℃,反应时间2.5 h。此条件下,柠檬酸的转化率达96.5％,产品收率99％。 展开更多

关键词 ti(SO4)2/sio2 催化合成 柠檬酸三丁酯 硫酸钛 二氧化硅 酯化

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Ti(SO_4)_2/SiO_2催化合成油酸正丁酯的研究 被引量：3

13

作者 廖德仲 《精细化工中间体》 CAS 2001年第4期11-12,共2页

研究了Ti(SO4 ) 2 /SiO2 在油酸与正丁醇的酯化反应中的催化性能 ,对影响反应的因素进行了讨论 ,优惠条件下 ,油酸的酯化率在 98%以上。

关键词 硫酸钛 二氧化硅 油酸 酯化 催化合成 油酸正丁酯

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溶胶-凝胶法在医用Ti合金表面制备SiO2-CaO-MgO-P2O5系生物玻璃涂层

14

作者 陈福 赵恩录 +3 位作者 张文玲 苟金芳 曾雄伟 安百江 《建筑玻璃与工业玻璃》 2007年第2期35-37,共3页

在医用Ti合金表面涂覆一层生物玻璃涂层可阻止金属离子的溶出并且提高其生物活性。本文采用溶胶-凝胶法在Ti合金基体上制备了Si02-CaO-MgO-P2O5系生物玻璃涂层。利用差示量热扫描仪（DSC）、扫描电镜（SEM）、拉伸试验和模拟体液（SBF... 在医用Ti合金表面涂覆一层生物玻璃涂层可阻止金属离子的溶出并且提高其生物活性。本文采用溶胶-凝胶法在Ti合金基体上制备了Si02-CaO-MgO-P2O5系生物玻璃涂层。利用差示量热扫描仪（DSC）、扫描电镜（SEM）、拉伸试验和模拟体液（SBF）浸泡等手段系统研究了涂层的表面形貌，粘附性能及生物活性。结果表明：热处理温度为800℃时涂层与基体间的粘附强度最大，涂层越薄涂层与基体问的粘附强度越大；在模拟体液中浸泡30天后，材料表面生成了大量磷灰石。用溶胶-凝胶法可在Ti合金基体上制备出SiO2-CaO-MgO-P2O5系生物活性高的生物玻璃涂层。 展开更多

关键词 溶胶-凝胶 sio2-CaO-MgO-P2O5涂层 生物活性 ti合金

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CaCl_2熔盐中电解高钛渣/SiO_2复合阴极制备Ti_5Si_3的研究 被引量：2

15

作者 况文浩 华一新 +4 位作者 徐存英 李坚 李艳 张臻 高小兵 《有色金属（冶炼部分）》 CAS 北大核心 2017年第7期52-57,共6页

采用FFC熔盐电解法,在900℃和2.6~3.2V槽电压的条件下,以CaCl2熔盐为电解质电解还原高钛渣/SiO_2复合阴极,成功制备出了Ti_5Si_3合金。通过热力学计算和单因素条件试验探讨了电解时间和槽电压对电解产物的影响。结果表明,在初始阶段反... 采用FFC熔盐电解法,在900℃和2.6~3.2V槽电压的条件下,以CaCl2熔盐为电解质电解还原高钛渣/SiO_2复合阴极,成功制备出了Ti_5Si_3合金。通过热力学计算和单因素条件试验探讨了电解时间和槽电压对电解产物的影响。结果表明,在初始阶段反应速率很快,随着中间产物CaTiO_3和CaSiO_3的生成,反应速率逐渐减缓。当槽电压为2.6V时,反应速率缓慢;提高到2.8V后,反应速率有了明显的提升。在900℃、8h、3.2V的条件下制备出的Ti_5Si_3为疏松多孔、粒径为2~5μm的合金粉末。 展开更多

关键词 ti5SI3 高钛渣 sio2 CaCl2熔盐电解

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Ce含量对Ti/IrO2-SiO2-CeO2电极电催化性能的影响 被引量：4

16

作者 赵小云 王三反 +2 位作者 周键 邹信 张学敏 《有色金属工程》 CAS 北大核心 2019年第12期22-28,共7页

为降低析氧电位,改善电极表面形貌,制备电催化性能良好的Ti基IrSi电极,在煅烧温度为450℃条件下,采用热分解法制备了不同Ce含量的Ti/IrO2+SiO2+CeO2氧化物电极,采用SEM对电极的表观形貌进行表征,采用循环伏安曲线、析氧极化曲线及交流... 为降低析氧电位,改善电极表面形貌,制备电催化性能良好的Ti基IrSi电极,在煅烧温度为450℃条件下,采用热分解法制备了不同Ce含量的Ti/IrO2+SiO2+CeO2氧化物电极,采用SEM对电极的表观形貌进行表征,采用循环伏安曲线、析氧极化曲线及交流阻抗图谱对电极的电催化性能进行表征。结果表明,添加适量Ce可使晶粒分散均匀,裂纹数目增多,电极表面变得平坦、致密、均匀,同时析氧电位降低,孔隙率增加,电催化活性大大提高。但过量Ce又会对电极电催化性能产生不利影响,Ce含量达到10%时,裂纹数量最多且分布均匀,涂层形貌良好,析氧电位达到最低,为1.23V,电催化性能达到最佳。 展开更多

关键词 ti/IrO2+sio2+CeO2 热解 电化学 催化作用 空隙率 析氧反应

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SiO_2薄膜改善Ti6Al4V合金恒温氧化行为的研究 被引量：2

17

作者 于存贞 魏德洲 朱圣龙 《腐蚀科学与防护技术》 CAS CSCD 北大核心 2007年第2期95-97,共3页

介绍了用溶胶-凝胶/表面活性剂模板/添加剂的方法制备的SiO2薄膜对Ti6Al4V合金恒温氧化性能的影响.恒温氧化实验结果表明,制备的SiO2薄膜具有良好的抗恒温氧化性能.涂覆薄膜的试样表面形成了较薄的混合氧化膜.机理分析认为,该混合氧化... 介绍了用溶胶-凝胶/表面活性剂模板/添加剂的方法制备的SiO2薄膜对Ti6Al4V合金恒温氧化性能的影响.恒温氧化实验结果表明,制备的SiO2薄膜具有良好的抗恒温氧化性能.涂覆薄膜的试样表面形成了较薄的混合氧化膜.机理分析认为,该混合氧化物膜的生长机制由向内扩散的氧元素和向外扩散的金属元素控制. 展开更多

关键词 溶胶凝胶法 sio2薄膜 ti6AL4V合金 恒温氧化

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Ti/SiO_2纳米复合改性聚苯硫醚短纤维的研究 被引量：5

18

作者 李文俊 张蕊萍 《纺织科技进展》 CAS 2017年第10期13-16,共4页

高性能PPS纤维的高温易氧化制约了其在高温过滤领域的推广应用,项目研发制备了Ti/SiO_2纳米复合改性PPS纤维,利用SEM、XRD、OIT和耐酸热等方法对纯PPS纤维与复合改性PPS纤维的结构和性能进行了表征。结果表明Ti/SiO_2能够较好的分散在PP... 高性能PPS纤维的高温易氧化制约了其在高温过滤领域的推广应用,项目研发制备了Ti/SiO_2纳米复合改性PPS纤维,利用SEM、XRD、OIT和耐酸热等方法对纯PPS纤维与复合改性PPS纤维的结构和性能进行了表征。结果表明Ti/SiO_2能够较好的分散在PPS基体中,并与之相容,提高了PPS的整体韧性;纳米复合Ti/SiO_2起到了异相成核剂的作用,使PPS的结晶温度高移14.07℃,结晶成核能力增强,相同的工艺条件下,结晶度提高了14.8%;改性PPS纤维的初始分解温度和失重5%分解温度分别高移10.4℃和19.8℃,明显提高了纤维的热稳定性;动态OIT和耐酸热结果表明,改性PPS纤维的耐高温氧化性能提高,与国际先进PPS纤维持平,可以替代进口。 展开更多

关键词 改性PPS短纤维 ti/sio2纳米复合 改性

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TiN/Ti/SiO_2/Si基板的分电极酸性化学镀铜

19

作者 温锦生 刘超 +1 位作者 钟声 杨志刚 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期324-328,共5页

讨论了对TiNi/Ti/SiO2/Si基板在HF+CuSO4中采用分离双电极方法的化学酸性镀铜。Si基板和TiNi/Ti/SiO2/Si基板分别作为化学镀的阳极和阴极,在开路条件下进行化学镀。最佳化学镀反应条件为电极相距0.5mm,[HF]和[CuSO4]大于8%(质量分数)和0... 讨论了对TiNi/Ti/SiO2/Si基板在HF+CuSO4中采用分离双电极方法的化学酸性镀铜。Si基板和TiNi/Ti/SiO2/Si基板分别作为化学镀的阳极和阴极,在开路条件下进行化学镀。最佳化学镀反应条件为电极相距0.5mm,[HF]和[CuSO4]大于8%(质量分数)和0.045mol/L。最后得到覆盖率高、晶粒大小均一、结构致密、具有<111>择优取向的Cu膜,且Cu膜中不含Cu2O,降低了电阻率。 展开更多

关键词 分电极酸性化学镀 Cu基板 tiN/ti/sio2/Si基板 集成电路

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Si/Ti原子比对TiO_2-SiO_2复合薄膜亲水性能与摩擦磨损性能的影响

20

作者 王晓宏 赵青南 +3 位作者 常潇 陆文涛 董玉红 赵杰 《人工晶体学报》 EI CAS 北大核心 2019年第4期579-586,共8页

采用直流(DC)反应磁控溅射法在玻璃上制备了不同Si/Ti原子比的TiO_2-SiO_2复合薄膜。使用X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(SEM)、X射线光电子能谱仪(XPS)、紫外可见分光光度计、CA-XP150型接触角仪、UMT-2型多功能微摩擦仪,研... 采用直流(DC)反应磁控溅射法在玻璃上制备了不同Si/Ti原子比的TiO_2-SiO_2复合薄膜。使用X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(SEM)、X射线光电子能谱仪(XPS)、紫外可见分光光度计、CA-XP150型接触角仪、UMT-2型多功能微摩擦仪,研究了不同Si/Ti原子比的TiO_2-SiO_2复合薄膜微观结构、表面形貌、亲水性能和摩擦磨损性能。结果表明,所制备的纯TiO_2薄膜具有锐钛矿结构,其平均晶粒尺寸为11 nm,TiO_2-SiO_2复合薄膜呈现非晶结构,其粒子尺寸相对减小;随着Si/Ti原子比的增大,薄膜在可见光区的平均透过率从76. 6%增加到84. 3%。当复合薄膜中Si/Ti原子比为1∶2时,薄膜的摩擦系数为0. 11,薄膜具有最佳的亲水性能;在紫外光照射2 h后水接触角降到3. 0°;在黑暗中放置30 h后水接触角略增加到7. 7°。 展开更多

关键词 tiO2-sio2复合薄膜 Si/ti比 亲水性能 摩擦性能 直流磁控溅射

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