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离子束刻蚀过程中的二次作用——溅出靶原子的重新淀积 被引量：2
1
作者 张建民 仲永安 同悦昌 《表面技术》 EI CAS CSCD 1989年第2期19-22,共4页
离子束刻蚀是近年来发展起来的微细加工工艺。由于它的超精细加工能力等特点,已在微电子技术、光子技术,表面科学、应用声学、材料科学和真空技术等领域中得到广泛的应用。本文采用的束流密度为0.5(mA·cm^(-2)),能量分别为600eV 和... 离子束刻蚀是近年来发展起来的微细加工工艺。由于它的超精细加工能力等特点,已在微电子技术、光子技术,表面科学、应用声学、材料科学和真空技术等领域中得到广泛的应用。本文采用的束流密度为0.5(mA·cm^(-2)),能量分别为600eV 和1100eV 垂直入射的氩离子束对半导体单晶硅片(111)面上宽度分别为200、80,30、10、8(μm)的沟槽进行刻蚀,用扫描电子显微镜拍摄记录不同时刻的沟槽台阶形貌。考虑到溅出的靶原子在空间的各种不同分布,建立了重新淀积理论,并对实验结果作了完满的解释。 展开更多
关键词 离子束 刻蚀 靶原子 淀积
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冷阴极气体放电电子枪的研制 被引量：2
2
作者 许海鹰 桑兴华 +2 位作者 杨波 彭勇 范霁康 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2021年第3期284-290,共7页
为了促进冷阴极电子束加工技术在国内的发展,在深入研究冷阴极电子发射机理基础之上,设计制造了一种自主知识产权的冷阴极气体放电电子枪,对该电子枪的结构、阴极功能及其参数、阳极功能及其参数、CST仿真软件确定聚焦线圈参数的方法进... 为了促进冷阴极电子束加工技术在国内的发展,在深入研究冷阴极电子发射机理基础之上,设计制造了一种自主知识产权的冷阴极气体放电电子枪,对该电子枪的结构、阴极功能及其参数、阳极功能及其参数、CST仿真软件确定聚焦线圈参数的方法进行了介绍。通过实验发现:每一种放电气体的最小"点火"电压与放电气体种类、气流量大小有关;氦、氩等纯惰性气体作为放电气体,长时间工作后会出现束流减小现象;给定加速电压及铝阴极表面的氧化膜存在条件下,输出束流随着气流量增大而增大;加速电压不变时,氦气中氧含量为1.2%~2.4%调整时,对束流输出影响不大。初步实验结果表明,所研制冷阴极气体放电电子枪采用氧含量2%左右的氦-氧混合气体作为放电气体,能够实现束流长期稳定输出,功率达到30 kW,最大束流达到1500 mA以上。 展开更多
关键词 冷阴极 电子束 气体放电 电子枪
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电子束照射排烟处理技术
3
作者 谭娟 《工业加热》 CAS 2003年第6期55-57,共3页
介绍了电子束照射排烟处理技术的反应机理、发生装置及其环保效益。
关键词 电子束 排烟处理 脱硫 脱硝
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高压电子束焊机控制系统的研究与研制
4
作者 申林 白保东 张博舒 《安徽电子信息职业技术学院学报》 2007年第5期105-107,共3页
研究、整理、消化十五万伏电子束焊机的资料,掌握维护十五万伏电子束焊机的资料。我们分析研究该设备控制系统的结构、工作过程,研究CNC系统、PLC系统、监控系统、控制系统之间关系。消化控制程序和电气图纸,整理出资料、并测绘、研制... 研究、整理、消化十五万伏电子束焊机的资料,掌握维护十五万伏电子束焊机的资料。我们分析研究该设备控制系统的结构、工作过程,研究CNC系统、PLC系统、监控系统、控制系统之间关系。消化控制程序和电气图纸,整理出资料、并测绘、研制国产化控制板。在无资料的条件下整理出一套电气图纸,以备修理使用,使设备永远处于良好的状态。 展开更多
关键词 CNC—PLC控制 真空焊接 国产化控制板
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丝束同轴冷阴极电子枪的研制 被引量：5
5
作者 许海鹰 王壮 +2 位作者 桑兴华 杨波 彭勇 《真空》 CAS 2021年第2期76-81,共6页
与传统基于热阴极电子枪的熔丝增材制造技术相比,基于丝束同轴冷阴极电子枪的熔丝增材制造技术具有明显优势。为了缩短与世界先进电子束熔丝增材制造技术的差距,通过分析丝束同轴冷阴极电子束产生机理,采用模拟仿真技术优化影响束流品... 与传统基于热阴极电子枪的熔丝增材制造技术相比,基于丝束同轴冷阴极电子枪的熔丝增材制造技术具有明显优势。为了缩短与世界先进电子束熔丝增材制造技术的差距,通过分析丝束同轴冷阴极电子束产生机理,采用模拟仿真技术优化影响束流品质的阴极、阳极参数,根据仿真结果研制了一套具有完全自主知识产权的丝束同轴冷阴极电子枪。所研制的丝束同轴冷阴极电子枪输出束流呈现"X"形状,熔滴过渡模式可以调控,熔丝成形效率达到5.02kg/h。 展开更多
关键词 丝束同轴 熔丝增材制造 电子束 电子枪
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磁约束核聚变电子回旋系统回旋管灯丝电源设计
6
作者 康东东 徐旵东 +2 位作者 徐伟业 刘甫坤 王健 《核电子学与探测技术》 CAS 北大核心 2019年第2期164-168,共5页
釆用零电压开关(ZVS)移相全桥拓扑结构设计了一款带输出电压反馈的大功率回旋管灯丝电源。本文详细地叙述了本次设计电源的整体架构、重要参数的计算过程、输出电压控制电路及其优点。最后实测了样机的主要波形与关键参数,并通过老化试... 釆用零电压开关(ZVS)移相全桥拓扑结构设计了一款带输出电压反馈的大功率回旋管灯丝电源。本文详细地叙述了本次设计电源的整体架构、重要参数的计算过程、输出电压控制电路及其优点。最后实测了样机的主要波形与关键参数,并通过老化试验验证了其稳定性。 展开更多
关键词 回旋管 灯丝电源 ZVS 移相全桥
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基于MARK50型电子束蒸发设备高压故障分析研究
7
作者 方雪冰 侯海峰 +1 位作者 刘宗贺 易锦程 《中国材料科技与设备》 2011年第1期82-84,共3页
本文分析了MARK50型蒸发台常见的高压、发射电流和电子柬斑故障现象，并从维修的经验方面进行分析，给出了每种现象的检查和维修方法。
关键词 高压 电流 电子柬斑
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丝束同轴冷阴极电子束熔丝特性及TC4成形组织
8
作者 许海鹰 杨光 +3 位作者 张伟 杨波 桑兴华 王壮 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第12期2373-2380,共8页
针对热阴极电子束轴侧熔丝与丝束同轴冷阴极电子束熔丝方法的特点进行分析,研究了丝束同轴冷阴极电子束熔丝增材制造熔滴过渡特点及获得滴状过渡和搭桥过渡方式需要满足的条件。采用直径2 mm的TC4钛合金丝材制备出丝束同轴冷阴极电子束... 针对热阴极电子束轴侧熔丝与丝束同轴冷阴极电子束熔丝方法的特点进行分析,研究了丝束同轴冷阴极电子束熔丝增材制造熔滴过渡特点及获得滴状过渡和搭桥过渡方式需要满足的条件。采用直径2 mm的TC4钛合金丝材制备出丝束同轴冷阴极电子束熔丝增材制造的钛合金试样,对其微观组织进行分析,结果表明:与常规热阴极电子束轴侧熔丝成形的工艺相比,丝束同轴冷阴极电子束熔丝成形试样的组织表现为等轴晶与柱状晶层层交替叠加的状态,柱状晶与等轴晶尺寸明显减小,表明成形试样的晶粒细化,力学性能得到提高。 展开更多
关键词 丝束同轴 冷阴极电子束 熔丝增材制造 钛合金 微观组织
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