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基于MARK50型电子束蒸发设备高压故障分析研究

The Analysis of Failure about High Voltage Base on MARK 50 Electron Beam Evaporation Equipment
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摘要 本文分析了MARK50型蒸发台常见的高压、发射电流和电子柬斑故障现象,并从维修的经验方面进行分析,给出了每种现象的检查和维修方法。 The trouble of MARK 50 Evaporator system about high--voltage, Emission current and electron beam spot is analyzed in this paper. The methods of inspection and maintenance about trouble are given from maintenance experience.
出处 《中国材料科技与设备》 2011年第1期82-84,共3页 Chinese Materials Science Technology & Equipment
关键词 高压 电流 电子柬斑 High voltage Current Electron beam
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