应力对压电陶瓷驱动器位移性能的影响 被引量：3

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作者 陈大任 张望重 朱梅根 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2000年第4期685-690,共6页

在研制由钨青铜型压电陶瓷分立驱动器组装成特种圆环状压电驱动器中，发现组装后横向位移模圆环驱动器的位移量呈现异常的变化；它的位移量比分立器件的增加可达～３０％．对组成、器件制备等进行了大量实验，分析认为；分立器件在组装... 在研制由钨青铜型压电陶瓷分立驱动器组装成特种圆环状压电驱动器中，发现组装后横向位移模圆环驱动器的位移量呈现异常的变化；它的位移量比分立器件的增加可达～３０％．对组成、器件制备等进行了大量实验，分析认为；分立器件在组装后处于严重的压应力中，它对逆压电效应的影响是上述结果的原因．它的主要机制是在压应力下通过９０°畴重新取向或钨青铜结构中基本组元－氧八面体的畸变使自发极化偏离于原压应力方向，一旦施加电场则造成位移量的大大增加． 展开更多

关键词 压电陶瓷 钨青铜结构 驱动器 应力 光学干涉仪

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光路系统分析法及在法布里─泊罗干涉仪中的应用 被引量：2

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作者 王廷云 杨玉军 柯汉水 《东北重型机械学院学报》 CAS 1996年第4期318-321,共4页

以琼斯矩阵和系统理论为基础．提出了一种光路系统分析法．它适用于描述光波矢量、光功率和线性光器件输入输出的静态传递函数．应用该方法建立了光纤法布里─泊罗干涉仪的数学模型．所得结果表明．该方法优于其它方法．从而验证了本方... 以琼斯矩阵和系统理论为基础．提出了一种光路系统分析法．它适用于描述光波矢量、光功率和线性光器件输入输出的静态传递函数．应用该方法建立了光纤法布里─泊罗干涉仪的数学模型．所得结果表明．该方法优于其它方法．从而验证了本方法的正确性和实用性． 展开更多

关键词 干涉仪 传递函数 光路系统

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高精度激光干涉仪定位系统

3

作者 卢维美 《电子工业专用设备》 1999年第1期27-34,共8页

ＨＰ公司推出的新产品５５２７Ａ型双频激光干涉仪精密测量系统，采用数字控制ＨＰ－１０９３６Ａ伺服轴板为核心组成的闭环位置控制线路，取得了亚微米级的定位精度和重复精度。重点介绍ＨＰ－１０９３６Ａ伺服轴板的功能，推导出具有... ＨＰ公司推出的新产品５５２７Ａ型双频激光干涉仪精密测量系统，采用数字控制ＨＰ－１０９３６Ａ伺服轴板为核心组成的闭环位置控制线路，取得了亚微米级的定位精度和重复精度。重点介绍ＨＰ－１０９３６Ａ伺服轴板的功能，推导出具有前馈补偿ＰＩＤ控制器的传递函数表达式，分析ＰＩＤ根轨迹图上零点的位置对伺服系统稳定性的影响，介绍控制器的调试方法，以及采用ＨＰ－３５６２Ａ动态信号分析仪，可实现伺服轴板的快速调试，给出闭环位置控制系统的控制程序。 展开更多

关键词 激光干涉测量 伺服轴板 激光干涉仪 定位系统

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工厂实用型激光干涉仪

4

作者 裘惠孚 张学能 《计量技术》 1990年第6期1-2,共2页

本文介绍的仪器采用实物长度标准定标,不需要测定空气折射率,在标准温度(20℃)时可直接读数。且仪器成本低,适合工厂使用。

关键词 激光干涉仪 干涉仪

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迈克耳孙干涉仪中补偿板对单色光干涉的作用 被引量：5

5

作者 张建卫 蒋玉龙 +2 位作者 马秀芳 刘磊 沈元华 《光学仪器》 1998年第2期24-29,共6页

从实验上和理论上研究了迈克耳孙干涉仅中补偿板的作用，证明了它无论对于白光或单色光都是十分重要的。

关键词 迈克耳孙干涉仪 补偿板 干涉仪 单色光

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高精度计算全息位相探测干涉系统的研究

6

作者 戴晓芳 魏耀林 +3 位作者 陈兴梧 吴继宗 陈本智 葛宝臻 《计量学报》 CSCD 北大核心 1997年第4期274-279,共6页

讨论了研制成功的用于高精度非球面检测的ＣＧＨ位相自动探测干涉系统。论述了ＣＧＨ干涉系统的光路和干涉场，采用位相自动探测术有效地降低了随机干扰误差。探讨了采用三波前类剪切干涉法进行绝对测量能有效地消除其系统误差。测试结... 讨论了研制成功的用于高精度非球面检测的ＣＧＨ位相自动探测干涉系统。论述了ＣＧＨ干涉系统的光路和干涉场，采用位相自动探测术有效地降低了随机干扰误差。探讨了采用三波前类剪切干涉法进行绝对测量能有效地消除其系统误差。测试结果表明：该系统检测非球面面形精度达λ／２０。若进一步采用绝对测量法进行测量和处理，则其精度约可达λ／５０。 展开更多

关键词 计算全息图 干涉场 位相探测技术 CGH 光学系统

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微机控制高分辨率傅立叶变换光谱仪

7

作者 PLat.,JJ 顾聚兴 《红外》 CAS 1989年第7期31-36,共6页

关键词 微机 干涉仪 傅立叶变换 光谱仪

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用于高分辨率领域的线性角编码器

8

作者 A.Spies 吴书友 《国防科技参考》 1997年第3期87-89,共3页

在超精密测量和控制技术中,越来越要求测量步长达1nm,角分辨达0.001角秒。为达到如此高的分辨率,测量标准需有很小的栅格周期,只有用干涉方法才能扫描到它。本文通过一个信号周期为128nm、分辨率为1nm的线性角编码器,介绍了不同扫描原... 在超精密测量和控制技术中,越来越要求测量步长达1nm,角分辨达0.001角秒。为达到如此高的分辨率,测量标准需有很小的栅格周期,只有用干涉方法才能扫描到它。本文通过一个信号周期为128nm、分辨率为1nm的线性角编码器,介绍了不同扫描原理的各种结果。 展开更多

关键词 干涉仪 线性角编码器 分辨率 光栅干涉仪 测量

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大腔长共焦球面标准具对片的设计

9

作者 严家彪 何正岷 《电子与仪表技术》 1995年第1期33-37,共5页

本文概略地叙述了大腔长（４７３毫米）共焦球面标准具镜片的特点、用途，介绍了技术指标、工作原理及计算方法，总结了调节方法，为在更多领域内应用此类高精度光学元件积累了经验。

关键词 球面干涉仪 标准具镜片 设计

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红外遥控全息底片自动处理装置

10

作者 余拱信 王广坤 漆新民 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 1999年第3期49-50,共2页

本文介绍一种新型红外遥控全息底片自动处理装置，该装置采用红外遥控、光电识别密度、微处理器控制、自动完成全息底片暗室处理工艺过程。该装置可以大大提高底片处理质量，对促进激光全息干涉计量实时法研究具有重要意义。

关键词 全息底片 红外遥控检测 实时处理 激光全息干涉

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双平板分光器在相位细分式激光干涉仪中的应用分析

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作者 齐恕安 刘刚 邓文怡 《实用测试技术》 1997年第1期11-14,共4页

本文介绍相位细分式激光干涉仪中应用分光器的作用，导出平板作为偏振器件的琼斯矩阵，由此分析双平板分光器的特性及在光路中所起的作用，以及对测量结果的影响。

关键词 双平板分光器 激光干涉仪 矩阵光学

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波长扫描干涉仪信号处理技术

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作者 王勇 廖延彪 田芊 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第3期233-238,共6页

提出了一种可用于绝对距离测量的光纤扫描干涉仪。基于数字信号处理技术，设计了一种算法，从而有效地提高了相位的分辨率、滤除噪声和干扰并克服了扫描过程中波长的随机晃动，可达到距离测量所要求的０．０５μｍ的精度和０．

关键词 光纤干涉仪 波长扫描 绝对距离 信号处理

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