期刊文献⁺

任意字段

题名或关键词

题名

关键词

文摘

作者

第一作者

机构

刊名

分类号

参考文献

作者简介

基金资助

栏目信息

用于高分辨率领域的线性角编码器

下载PDF

导出

摘要在超精密测量和控制技术中,越来越要求测量步长达1nm,角分辨达0.001角秒。为达到如此高的分辨率,测量标准需有很小的栅格周期,只有用干涉方法才能扫描到它。本文通过一个信号周期为128nm、分辨率为1nm的线性角编码器,介绍了不同扫描原理的各种结果。

作者 A.Spies 吴书友

机构地区 DR.JOHANNES HEIDENHAIN GmbH

出处《国防科技参考》 1997年第3期87-89,共3页

关键词干涉仪线性角编码器分辨率光栅干涉仪测量

分类号 TH744.303 [机械工程—光学工程]

引文网络
相关文献

1郝德阜.光栅干涉仪的运动误差原理[J].光学机械,1990(5):46-50. 被引量：1
2沈为民.双光栅干涉仪[J].苏州大学学报（自然科学版）,1992,8(1):72-75. 被引量：3
3李树秋,郑万波,杨永健.单片机160细分的原理和实现[J].仪器仪表学报,2005,26(z2):566-567. 被引量：7
4刘兴富.凸轮测量步长确定方法的研究[J].导弹与航天运载技术,1998(4):43-49. 被引量：1
5周维来.光栅干涉仪在高精密测量中的技术和应用[J].工具技术,1994,28(1):37-42. 被引量：4
6沈为民.部分相干照明双光栅干涉仪[J].苏州大学学报（自然科学版）,1992,8(4):458-460. 被引量：1
7侯海虹.光学表面的光散射测量方法[J].常熟理工学院学报,2008,22(8):46-50. 被引量：4
8时轮,王鹤,王池平,许黎明,陈家宝.基于光栅干涉仪的超精密位移定位测量新方法[J].组合机床与自动化加工技术,2016(12):65-67. 被引量：1
9沈为民.正交光栅干涉仪的非近似分析[J].苏州大学学报（自然科学版）,1993,9(4):348-351.
10张二星.一种用于动态测量的干涉方法[J].光学技术,1995,21(3):9-11.

国防科技参考

1997年第3期

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...

;

使用帮助返回顶部