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国产溅射离子泵主要性能测试及现状被引量：5: 1; 作者赵飞云殷立新 +3 位作者殷明周洪军王勇王秋平《真空》 CAS 北大核心 2004年第6期24-27,共4页; 在相同的条件下使用同一套测试装置,按照国家机械行业标准JB/T2965—92的要求,对国内几个主要溅射离子泵生产厂家提供的商用溅射离子泵进行性能测试,列出并分析测试结果,使大家对国产溅射离子泵目前的状况有所认识,同时期待国内真空泵... 展开更多; 关键词溅射离子泵性能测试; 原文传递

溅射离子泵阳极筒-阴极板间距对抽气特性影响的数值研究被引量：1: 2; 作者王晓冬黄海龙 +2 位作者宁久鑫田野耿建《真空与低温》 2020年第4期265-269,共5页; 建立了描述溅射离子泵抽气单元抽气特性的计算模型。采用商业软件COMOL Multiphysics,将等离子体模块、磁场模块、带电粒子追踪模块进行耦合,计算得到了阳极筒内潘宁放电特性参数、气体离子入射阴极板能量和角度。引入非垂直入射溅射产... 展开更多; 关键词溅射离子泵抽气单元抽气特性数值计算结构改进; 在线阅读下载PDF 职称材料

溅射离子泵开关电源的设计被引量：1: 3; 作者张余进邱实《真空》 CAS 北大核心 2007年第5期72-75,共4页; 针对溅射离子泵高压电源应具有的负阻特性,本文详细介绍了负阻性DC/DC开关电源控制电路的组成和工作原理。在此基础上,成功研制了一台输出电压根据真空系统气体压力连续自动调节,可短路工作的高压DC/DC开关电源。该电源具有外特性响应... 展开更多; 关键词开关电源溅射离子泵负阻特性; 原文传递

极高真空溅射离子泵的研制被引量：1: 4; 作者吴魁《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 1999年第A10期8-11,共4页; 研制出了获得极高真空的溅射离子泵，该溅射离子泵４小时烘共烤后温度降至１００℃，装磁钢，妄动离子泵进行敢，３４小时后压力达５．８×１０＾－１０Ｐａ。从抽速实验结果来看，该泵在１０＾１０Ｐａ时仍有１００Ｌ／ｓ的抽速。... 展开更多; 关键词极高真空潘宁放电抽束曲线溅射离子泵; 在线阅读下载PDF 职称材料

关于溅射离子泵电源性能指标的几点建议被引量：2: 5; 作者刘汉林刘立宁《真空》 CAS 北大核心 2000年第2期42-44,共3页; 对中国科技大学国家同步实验室蒋迪奎等三位作者提出的关于国产 SIP电源的性能指标提供几点补充和建议 :电源功率 ,起动电压和分挡 ,短路电流和起动特性 ,以及噪声等。; 关键词溅射离子泵起动特性电源; 原文传递

全自动溅射离子泵电源及其性能检测被引量：1: 6; 作者朱家俊《真空》 CAS 北大核心 2004年第4期121-125,共5页; 介绍了一种全自动溅射离子泵电源。有关性能检测及技术应用都作了论述。对采用电子技术解决各种问题的关键要点也进行了评论。; 关键词全自动溅射离子泵电源性能检测电压调整率真空溅射离子泵; 原文传递

溅射离子泵控制电源的自动保护功能: 7; 作者仇华兴唐景远《真空》 CAS 北大核心 2000年第2期36-38,共3页; 本文介绍溅射离子真空泵控制电源自动保护功级的几种常规方法。; 关键词溅射离子真空泵电源自动保护; 原文传递

新兴的无油真空泵技术: 8; 作者任家生《四川真空》 1992年第1期130-134,共5页; 关键词真空泵无油泵低真空; 在线阅读下载PDF 职称材料

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