直排四探针电阻率硅圆片非圆心点直径修正因子F_2的简易求法被引量：1

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摘要介绍Si片电阻率和薄层电阻的四探针法测量中,一种简便而精确的求非圆心处F_2值的方法.

作者周全德赵向娅孙月珍

机构地区中国上海测试中心上海市测试技术研究所

出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1993年第4期60-62,共3页 Semiconductor Technology

关键词硅片电阻率探针测量

参考文献1

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半导体技术

1993年第4期

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