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全自动四探针电阻率测试装置

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摘要一、概述全自动四探针电阻率测试装置是为硅单晶电阻率标准量值传递而研制的,但也可以作为一般硅单晶片的电阻率测试用.该装置已于去年十月通过国家鉴定.以后又经过半年多的应用考察,取得了满意的结果.故作如下介绍,仅供参考.

作者张鸿祥富乃成贺场

机构地区中国计量科学研究院

出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1989年第1期59-64,共6页 Semiconductor Technology

关键词电阻率测试装置四探针硅单晶

分类号 TN304.07 [电子电信—物理电子学]

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半导体技术

1989年第1期

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