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超净高纯盐酸生产工艺的研究 被引量:1

Study on the Production Technology of Super-high Purity Hydrochloric Acid
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摘要 本文描述了一种电子纯盐酸的制备方法 ,包括氯化氢的蒸发、气体净化、高纯水吸收以及最终提纯等步骤 ,并对按此工艺生产的盐酸产品采用ICP MS和离子交换色谱进行了分析 ,实验证明此工艺能够有效去除工业盐酸中Fe、Cu、Pb、As等杂质离子。 A way of producing hydrochloric acid for electronic use is introduced in this article. It includes evaporation of hydrogen chloride,gas purification,absorption by high-purified water,final purification and etc. The analysis of the obtained final hydrochloric acid product is carried out by ICP-MS and ion exchange chromatography,it shows that the process can remove the ions,such as Fe,Cu,Pb,As,efficiently which are generally existing in the technical hydrochloric acid.
出处 《精细与专用化学品》 CAS 2004年第7期14-15,19,共3页 Fine and Specialty Chemicals
关键词 电子化学品 盐酸 高纯试剂 生产工艺 氯化氢 气体净化 ICP-MS 离子交换色谱 electronic chemicals hydrochloric acid high purity reagent
  • 相关文献

参考文献3

二级参考文献3

  • 1穆启道 孙世铭 等.电子化学品(超净高纯试剂部分)[M].北京:化学工业出版社,2001.3.
  • 2-.SEMI国际标准超净高纯试剂部分[M].北京:中国标准出版社,1992.4.
  • 3孙世铭 穆启道.化工材料咨询报告(微电子材料部分)[M].北京:中国石化出版社,1999.8.

共引文献38

同被引文献6

引证文献1

二级引证文献5

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