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电离真空规的精度分析

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摘要分析了现已研制成功的各种电离规的测量精度和影响测量精度的因素。主要因素有X射线引起的光电流、电子诱导脱附产生的离子流、收于离子轰击使电胡表面电子产额发生变化以及几何形式的变化等。以新研制的冷阴极电离真空规为例,分析了提高真空测量精度的可能性。

作者孙大明

机构地区安徽大学物理系

出处《真空与低温》 1992年第3期136-139,共4页 Vacuum and Cryogenics

关键词真空测量真空规误差电离式

分类号 TB772.3 [一般工业技术—真空技术]

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真空与低温

1992年第3期

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