φ500制冷机低温泵及其性能测试被引量：2

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摘要介绍了φ500制冷机低温泵的系统组成及其结构设计的特点。着重叙述了泵的性能测试方法,并通过实验测试了其主要性能指标。泵的工作压力范围为10^(-1)～10^(-7)Pa,对各种气体均有较大的抽速,并具有操作使用方便、性能稳定可靠、系统清洁无油等优点。

作者张涤新李旺奎吕时良刘强

机构地区兰州物理研究所

出处《真空与低温》 1992年第3期152-155,共4页 Vacuum and Cryogenics

关键词制冷机低温泵性能测试

同被引文献13

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真空与低温

1992年第3期

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