硅上异质外延高温超导体薄膜的进展

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摘要硅上生长高质量高温超导体薄膜的工作促进了微电子学和高温超导电子学的结合。这种新材料能集中半导体和超导材料的优异特性,将导致半导体和超导体组成的新一代混合集成电路的出现。本文综述了目前硅上生长高温超导薄膜的研究进展,介绍了工艺中遇到的问题和解决的途径。

作者宋登元

机构地区河北大学

出处《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 1992年第1期64-68,73,共6页 Chinese Journal of Rare Metals

关键词硅异质外延高温超导薄膜

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稀有金属

1992年第1期

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