基于InP/空气隙DBR的长波长RCE光探测器的实验研究

Experimental Research of the Long wavelength resonant cavity photodetectors with InP/air gap Bragg Mirrors

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摘要报道了一种长波长的InP基谐振腔(RCE)光探测器。它采用选择性湿法刻蚀。制备出基于InP/空气隙的分布布喇格反射镜(DBR)。并将该结构的反射镜引入RCE光探测器,所制备的器件,在波长1:585μm处获得了约54.5％的峰值量子效率,以及8GHz的3dB响应带宽,其中器件的台面面积为50×50mm2。

作者王兴妍黄辉王琦周震崇英哲黄永清任晓敏

机构地区北京邮电大学光通信中心

出处《光通信技术》 CSCD 北大核心 2003年第12期33-34,共2页 Optical Communication Technology

基金国家"863"项目(No:2002AA31229Z) 国家自然科学基金重大研究计划项目(No:90104003) 国家自然基金重点项目(No:90201035)资助

关键词谐振腔光探测器长波长空气隙选择性湿法刻蚀 INP RCE DBR 分布布喇格反射镜

分类号 TN929.11 [电子电信—通信与信息系统] TN247 [电子电信—物理电子学]

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2003年第12期

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