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对超精密加工及纳米加工环境的分析 被引量：6

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摘要 介绍了超精密加工技术概要 ,对超精密加工以及纳米加工的支撑环境进行了归纳 ,并分别阐述了支撑环境中温度、湿度、洁净度及振动几个环境因素 。
作者 赫玉娟 曹克伟 张大卫 田延岭
机构地区 天津大学机械工程学院
出处 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2003年第10期77-78,共2页 Modular Machine Tool & Automatic Manufacturing Technique
关键词 超精密加工 纳米加工 恒温 温度 空气净化 洁净度 振动 湿度
分类号 TG5 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
  • 相关文献

参考文献6

二级参考文献23

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  • 2杨辉 吴明根.－[J].航空精密制造技术,1997,(1):33-33.
  • 3安丰光.压电陶瓷驱动微进给伺服控制系统设计：硕士学位论文[M].长沙:国防科技大学,1998..
  • 4张绍宗.超精密加工技术学术交流会论文集[M].北京,1997..
  • 5王宪平.超精密直线测量技术研究：硕士学位论文[M].长沙:国防科技大学,1998..
  • 6王先逵.机械制造技术与科学的发展.《机械制造的未来》论文集[M].武汉:华中理工大学出版社,1989.14-21.
  • 7（丹麦）辽·阿尔亨 乔·布斯罗德英（译）.现代制造工程学[M].北京:国防工业出版社,1988.1-46.
  • 8赵志修.机械制造工艺学[M].北京:机械工业出版社,1989..
  • 9王启平.精密加工工艺学[M].哈尔滨:哈尔滨工业大学出版社,1981..
  • 10安丰光，硕士学位论文，1998年

共引文献46

同被引文献31

引证文献6

二级引证文献58

组合机床与自动化加工技术
2003年 第10期

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