摘要
由于超精密加工精度极高,所以它除了需要其必备的工艺系统、测量仪器以及技术人员的专业水平外,对外部支撑环境要求也极严。该环境包括空气环境、热环境、振动环境、声环境、光环境和静电环境等。所以在建立相关实验室时一定要充分考虑它的环境建设。
It is an important issue how to improve the applied eff
出处
《实验室研究与探索》
CAS
2004年第6期81-82,共2页
Research and Exploration In Laboratory
关键词
超精密加工
洁净度
恒温
恒湿
superprecision processing
cleanliness
constant temperature
constant humidityGESSOn Efficient Utilization Of Large-scale Expensive Equipments CHEN Da-ying (Chang'an university,The Ministration Division of Laboratory & Equipment, Xi'an 710064, China)