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等离子清洗技术被引量：3

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摘要北京七星华创电子股份有限公司微电子设备分公司(前身为北京建中机器厂)致力于半导体、集成电路设备的研究已有四十余年的历史,现有扩散系统、CVD系统、干法刻蚀系统、湿法清洗系统四大类产品。

作者李东旗

机构地区北京七星华创电子股份有限公司微电子设备分公司

出处《中国集成电路》 2003年第51期88-89,87,共3页 China lntegrated Circuit

关键词等离子体清洗技术北京七星华创电子股份有限公司清洗设备集成电路

分类号 TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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中国集成电路

2003年第51期

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