声表面波气体传感器

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摘要在化学研究领域,声表面波器件得到了越来越多的注目.声表面波延迟线振荡器的振荡频率对沉积在其表面的薄膜层非常敏感,选择适当的气体吸附材料涂覆在器件的表面,声表面波延迟线振荡器就可用于制成十分敏感的气体传感器。当涂覆层性能优良时,传感器可检测出浓度为0.01—0.1ppm水平的特定气体成份。

作者刘镇清

机构地区同济大学声学研究所

出处《化学传感器》 CAS 1992年第4期13-18,共6页 Chemical Sensors

关键词声表面波气体传感器

分类号 TB516 [理学—声学]

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化学传感器

1992年第4期

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