电子束抽运100W大孔径准分子KrF—激光器
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2刘晶儒,袁孝,甘雨刚,赵学庆,易爱平,王龙华,胡志云,刘建胜,黄梅生,李铁军,魏燕明.百焦耳级KrF准分子激光实验[J].强激光与粒子束,1996,8(3):465-467. 被引量:1
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3刘德明,王静辉.KrF光刻工艺技术[J].半导体技术,2006,31(8):569-572. 被引量:3
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4肖迁.KrF准分子激光器光刻技术[J].世界电子元器件,1996(2):20-20.
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5周创志,王孝君,单玉生,王乃彦,李仁骏,王永强,俞明,王璞,游澜.百焦耳KrF激光器腔体的设计和激光实验[J].强激光与粒子束,1993,5(4):505-508.
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6席时权,余吟山,倪晋智,汪建业,张志平,朱抗美,俞明.实用型长脉冲、低发散角氟化氪准分子激光器[J].量子电子学,1991,8(2):238-242.
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7单玉生,王乃彦,曾乃工,周创志,杨大为,马维义,康向东,黄德宝,王文昌,王效军,王淦昌.百焦耳级KrF准分子激光装置设计与调试[J].强激光与粒子束,1993,5(1):5-15.
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8马维义,王有田,黄德宝,张东,王晓军,王文昌,单玉生,王乃彦.百焦耳KrF激光用二极管的实验[J].强激光与粒子束,1994,6(2):255-259. 被引量:3
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9张树葵,鲁敬平,周丕璋,李万松,吴关女,范敏,彭翰生.高功率放电泵浦KrF激光器放电及输出特性研究[J].强激光与粒子束,1993,5(1):16-22.
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10俞明,王孝君,姚刚,胡冰,王乃彦.放电型高增益KrF激光器非稳腔的研究[J].强激光与粒子束,1993,5(2):271-276.
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