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微机械加速度传感器及应用
被引量：
23
MEMS Accelerometer and its Applications
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摘要
叙述了各种微机械加速度传感器的工作原理、特点、研究现状及发展趋势。
The principle,features,current situation and future development of various MEMS accelerometers are described.
作者
石庚辰
机构地区
北京理工大学机电工程系
出处
《测控技术》
CSCD
2003年第3期5-8,共4页
Measurement & Control Technology
关键词
微机电系统
微加速度传感器
MEMS
micro-accelerometer
分类号
TJ430.1 [兵器科学与技术—火炮、自动武器与弹药工程]
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