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一种衍射测量新方法的研究 被引量:1

A new method for diffraction measurement
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摘要 衍射孔径线度与衍射光强存在一定的缩放关系,这一关系可以应用于微小尺寸的工程测量。本文对衍射缩放定理进行了开发,给出了用于单缝和小孔的测量公式以及光电面接收修正因子的表达式。文中还给出了以细丝为例进行的测量实验的结果。 There is a reducing-enlarging relation between the dimension and the diffracting intensity for an aperture.This relation may be used for the engineering measurement of tiny dimension. In this paper the reducing-enlarging theorem is developed. The measuring formulas used for slits and apertures,and the expresions of the correcting factor for the photoelectric receiving with an area are given. In the paper the results of measuring experiment to take filaments for example are also given.
作者 吕海宝
机构地区 国防科技大学
出处 《激光技术》 CAS CSCD 1989年第2期7-11,共5页 Laser Technology
  • 相关文献

同被引文献3

  • 1吕海宝,仪器仪表学报,1988年,9卷,1期,72页
  • 2吕海宝,应用激光联刊,1985年,5卷,6期,12页
  • 3匿名著者,光学原理.上,1985年

引证文献1

二级引证文献2

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