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氮化铝陶瓷的金属化技术
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摘要
AlN陶瓷具有优良的综合性能,在微电子和微波真空管等电子工业领域中,将有广泛的应用。着重介绍了近期国内外有关AlN陶瓷金属化的配方和工艺及其气密封接方法。
作者
高陇桥
机构地区
机电部
出处
《电子元件与材料》
CAS
CSCD
1992年第6期7-11,共5页
Electronic Components And Materials
关键词
金属化
气密封接
氮化铝陶瓷
分类号
TQ174.758 [化学工程—陶瓷工业]
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