摘要
简述了IC生产加工中光学光刻技术的重要性,发展历程以及发展趋势,对非光学光刻技术的应用作了描述。
This paper abstracts the importance of photolithographic technology of IC manufacture,so the growing course and trend,too. Simultaneously,it describes the application of non-optical photolithographic technology.
出处
《微处理机》
2002年第4期1-2,共2页
Microprocessors
