自吸式气体支承动特性的分析被引量：1

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摘要自吸式气体支承由于真空的吸附作用,使其具有双向刚度,可以提高精密工作台的结构工艺性能。在大规模集成电路专用设备MM250C中得到了成功的应用。作者在文献中曾研究了这类支承的静态特性,本文的目的在于导出支承动特性的分析方法,从而为气体静压支承的设计提供依据。

作者潘晋徐丰仁沈钊

机构地区清华大学精仪系

出处《电子工业专用设备》 1992年第1期30-34,共5页 Equipment for Electronic Products Manufacturing

关键词自吸式气体支承工作台集成电路

分类号 TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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电子工业专用设备

1992年第1期

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