摘要
本文介绍了亚微米电子束曝光机数控电流原系统。该系统在结构上抛弃了传统的开环控制的方式,首次将电压/频率转换器(VFC)用于连续可调的电源,实现了闭环控制。该系统集高稳定度、高精度、高抗干扰性、大电流、低噪声、多路输出、计算机控制于一体,它的研制成功为亚微米电子束曝光机的自动化调机奠定了基础,并可推广用于其它需要高稳定度数控电源的领域。
出处
《电测与仪表》
北大核心
1992年第10期15-16,44,共3页
Electrical Measurement & Instrumentation
