真空磁控溅射制备镍铜合金纳米薄膜的技术瓶颈剖析与工艺优化目标探究

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摘要本文聚焦于真空磁控溅射制备镍铜合金纳米薄膜的技术领域,详细阐述了该技术的基本原理、镍铜合金纳米薄膜的特性及应用,深入剖析了在制备过程中面临的技术瓶颈,如薄膜质量、制备效率、成本控制等。同时,有针对性地探究了相应的工艺优化目标,旨在为提升镍铜合金纳米薄膜的制备技术水平提供理论支持与实践指导,以满足不同领域对高质量、高效率、低成本制备该类薄膜的需求。

作者谭逢桃

机构地区厦门芯瓷科技有限公司

出处《产品可靠性报告》 2025年第11期75-77,共3页 RELIABILITY REPORTS

关键词真空磁控溅射镍铜合金纳米薄膜技术瓶颈工艺优化

分类号 TB383 [一般工业技术—材料科学与工程]

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参考文献7

1朱永明,张斌.N_(2)气流量对Hi PIMS制备SiN_(x)薄膜微观结构和力学性能的影响[J].中国表面工程,2025,38(2):245-254. 被引量：1
2高臻荣,候果源,任思明.MoS_(2)/Ti-WC纳米多层薄膜结构设计及其宽温域摩擦性能研究[J].表面技术,2024,53(11):80-89. 被引量：4
3刘文强,吴鹏举,王瑗瑗,陈庭煜,马鸿雁,王国东.射频磁控溅射制备二氧化锡薄膜的气敏特性[J].传感器与微系统,2023,42(3):53-56. 被引量：3
4蔡海潮,薛玉君,叶军,王景华,庞碧涛,李航.溅射功率对La-Ti/WS_(2)复合薄膜高温摩擦学行为的影响[J].稀有金属材料与工程,2023,52(4):1201-1209. 被引量：4
5赵春梅,牛心悦,徐正田,王少峰,施志军,邢晓磊,周野飞.湿度对a-C:Ti/a-C:Si纳米多层薄膜摩擦学行为的影响[J].表面技术,2024,53(21):34-43. 被引量：1
6孙建芳,陈泽达,苏峰华,李助军.非平衡磁控溅射制备Cr掺杂DLC复合薄膜的高温摩擦学性能[J].润滑与密封,2023,48(2):7-15. 被引量：8
7樊志琴,邢淑涵,李瑞,张丽英,张俊峰.射频磁控溅射法制备MoS_(2)纳米薄膜的光学性能研究[J].化工新型材料,2025,53(2):131-134. 被引量：1

二级参考文献24

1高海洋,张斌,魏殿忠,但敏,金凡亚.脉冲频率对HiPIMS制备TiN薄膜组织和力学性能的影响[J].中国表面工程,2022,35(5):192-199. 被引量：4
2宋振林,周仕强,张瑾,柳清菊.丙酮气敏传感材料的研究进展[J].功能材料与器件学报,2021,27(1):8-15. 被引量：6
3王佳凡,王永欣,陈克选,李金龙,郭峰.Cr掺杂对GLC薄膜结构及其摩擦学性能的影响[J].摩擦学学报,2015,35(2):206-213. 被引量：17
4柏自奎,王爱华,谢长生.金属氧化物微气体传感器制备技术的研究进展[J].传感器技术,2005,24(9):4-7. 被引量：6
5沟引宁,孙鸿,黄楠,张文英,冷永祥.磁过滤真空弧源沉积技术制备C/C多层类金刚石膜及其摩擦磨损性能研究[J].摩擦学学报,2006,26(2):121-124. 被引量：20
6席彩红,高晓平,刘国汉.二氧化锡气体传感器敏感机理的研究[J].曲阜师范大学学报（自然科学版）,2008,34(2):65-68. 被引量：6
7竺志大,王昌龙.SnO2基薄膜气体传感器制作与敏感性测试[J].传感器世界,2008,14(11):18-21. 被引量：2
8李芬,朱颖,李刘合,卢求元,朱剑豪.磁控溅射技术及其发展[J].真空电子技术,2011,24(3):49-54. 被引量：64
9成靖文,范洪远,田颖萍.氮气流量对反应磁控溅射TiN薄膜微结构与力学性能的影响[J].硬质合金,2012,29(4):203-207. 被引量：7
10QIAN Gang,FENG Yi,LI Bin,HUANG Shiyin,LIU Hongjuan,DING Kewang.Effect of Electrical Current on the Tribological Behavior of the Cu-WS_2-G Composites in Air and Vacuum[J].Chinese Journal of Mechanical Engineering,2013,26(2):384-392. 被引量：9

共引文献15

1胡杨,何沐阳.MoS_(2)掺杂DLC薄膜对力学性能及摩擦学行为的影响[J].陶瓷学报,2023,44(5):958-964. 被引量：2
2张英豪,侯雪滨,蔡海潮,薛玉君,裴露露,田昌龄.沉积压力对石墨共溅射沉积(AlTiVCrNb)CxNy涂层结构及摩擦学性能的影响[J].表面技术,2024,53(19):61-69.
3朱东翔,李红轩,刘晓红,李湛,吉利.TaSe_(2)/MoS_(2)异质复合涂层的大气摩擦学性能研究[J].表面技术,2024,53(21):23-33.
4耿少寅,李思功,廖业宏,张泽伍,薛佳祥,黄恒,蔡振兵.不同燃料包壳同格架栅元拉棒磨损行为研究[J].润滑与密封,2025,50(1):36-43. 被引量：1
5王建刚,范宇星,张欣,王玉江,罗伟,王磊,汪晶晶.磁控溅射类金刚石薄膜耐磨润滑性的研究综述[J].材料保护,2025,58(4):30-39.
6李聪,刘健招,周立波,陈维,陈汪林,陈荐.钛合金表面耐磨损PVD涂层及制备技术研究进展[J].机械工程材料,2025,49(4):8-19.
7丁子珊,赖泽标,李一治,江小辉,刘京周,吉利,Ermakov Boris Sergeevich.2Cr13基体表面粗糙度对Ti掺杂MoS_(2)薄膜摩擦磨损性能的影响[J].表面技术,2025,54(13):96-106.
8汪福杰.磁控溅射脉冲电流密度对车用TiAlSiN涂层性能的影响[J].山西冶金,2025,48(7):28-29.
9李东明,黄良宇,祝小杰,孙士斌.激光刻蚀对磁控溅射ZnO气敏性能的影响[J].传感器与微系统,2025,44(9):107-111.
10康博威,蔡海潮,薛玉君,裴露露.溅射功率对轴承表面B/WS_(2)涂层力学及摩擦学性能的影响[J].轴承,2025(10):49-57.

1刘凤华.评价任务镶嵌到教学活动的价值再认——“教—学—评”一致性实施的瓶颈剖析及突围路径[J].语文教学通讯,2025(2):82-84. 被引量：2
2高尚民.国土空间规划改革瓶颈剖析[J].建筑与文化,2024(2):128-130.
3周鹏,刘伟,赵青,杜丽,刘战合.郑航物联网专业产学研协同创新机理研究[J].物联网技术,2021,11(3):110-114. 被引量：1
4陈潘,陈小凤.近二十年西北地区灾害史研究:成果梳理、瓶颈剖析与未来进路[J].青藏高原论坛,2025,13(2):107-115.
5王家亮,张金鹏,张山山,沈晓晨.无银Low-E玻璃的制备工艺研究[J].中国玻璃,2025,50(4):31-36.
6贺兴亮.做强中职教育,铸圆龙门梦想——中等职业教育发展之我见[J].发明与创新（初中生）,2021(3):135-136.
7张雪,汪力,王一凡,李一菲,杜倩倩,黄剑.Ce掺杂下光催化剂的应用研究进展[J].现代化工,2026,46(1):29-35.
8李剑,王广达,熊宁,李兆森.半导体用难熔金属靶材研究现状与展望[J].粉末冶金技术,2025,43(5):593-600.
9袁源.我国学前教育风险管理瓶颈剖析与优化路径[J].广西社会科学,2025(4):163-168.
10张锦龙,张言准,汲小川,钮信尚,焦宏飞,夏菁菁,李冬冬,程鑫彬,王占山.离子束溅射制备HfO_(2)/SiO_(2)紫外色散薄膜特性(特邀)[J].光学学报(网络版),2025(22):67-73.

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