摘要
X射线单晶体定向仪是基于X射线的衍射原理,精密测定单晶体各晶面在空间相互排列的角度,主要由测角仪、X射线发生器和探测放大记录仪组成。本文根据JJF 1256-2010校准规范,对其样品轴转角误差、电离辐射误差进行不确定度分析与评定。
The X-ray single crystal orientation instrument is based on the dffraction principle of X-rays to precisely measure the spatial arrangement angles of each crystal plane of a single crystal.It mainly consists of an goniometer,an X-ray generator and a detection amplification recorder.According to the calibration specification of JJF 1256-2010,this paper conducts uncertainty analysis and evaluation on the axial rotation Angle error and ionizing radiation error of its samples.
作者
刘晓涵
王亚磊
LIU Xiaohan;WANG Yalei
出处
《计量与测试技术》
2025年第5期14-17,共4页
Metrology & Measurement Technique
基金
国家重点研发计划国家质量基础设施体系专项(项目名称:5G领域石墨烯膜导电性关键参数测量技术研究,项目编号:2022YFF0608600)
江苏省市场监督管理局科技项目(项目名称:基于数字图像相关方法(DIC)的集成电路晶圆翘曲度测量系统研发,项目编号:KJ2025053)。
关键词
X射线单晶体定向仪
示值误差
不确定度
X-ray single crystal orientation instrument
indication error
uncertainty
