溅射技术在磁头制造方面的应用被引量：2

下载PDF

导出

摘要本文介绍了国外最新的溅射设备及溅射在磁头方面的应用,最后介绍一种通过改变磁场配置,提高溅射速度和溅射膜质量的新方法。

作者刘丽丽

机构地区西南应用磁学研究所

出处《磁性材料及器件》 CAS CSCD 1992年第1期37-42,共6页 Journal of Magnetic Materials and Devices

关键词溅射薄膜磁记录磁头制造

同被引文献7

1张怀武,刘颖力,过璧君.磁性FeSiAl合金薄膜的研究[J].磁性材料及器件,1994,25(2):18-22. 被引量：4
2钱照明等.－[J].电源世界,2000,(1):6-6.
3T. Kobayashi, etc. A Tilted Sendust Sputtered Ferrite Video Head [J]. IEEE Transaction Journal On Magnetics, 1985(5):1536 - 1537.
4Akihiko Hosono, Yutaka Shimada. Crystal Structure And Magnetic Softness Of Fe- Si Polycrystalline Films[ J ]. J. Appl.Phys., 1990 (67) : 6981 - 6990.
5耿胜利,肖春涛,杨正.溅射FeSiAl合金薄膜的结构及软磁性能[J].功能材料,1997,28(5):465-467. 被引量：2
6姚中,虞维扬,黄剑,赵海燕.烧结FeSiAl磁头芯片的研制[J].金属功能材料,2001,8(3):22-26. 被引量：4
7唐晓莉,苏桦,张怀武.平面薄膜电感的研究与开发现状[J].磁性材料及器件,2003,34(2):37-38. 被引量：5

1张榕.溅射参数对FeSiAl薄膜磁性能的影响[J].上海海事大学学报,2004,25(4):89-92.
2邱翠榕,汪厚植,顾华志,郑锋,黄璞,冯大军.机械合金化制备FeSiAl合金粉末的研究[J].中国粉体技术,2006,12(1):12-14. 被引量：7
3江建军,付祺伟,邓联文,何华辉.纳米晶Fe_(85)Si_1Al_6Cr_8片状颗粒材料微波吸收特性[J].华中科技大学学报（自然科学版）,2006,34(12):89-91. 被引量：8
4王忠友,江建军,张传坤,张韬奇.Cr代替部分Si对Sendust微波吸收特性的影响[J].金属功能材料,2008,15(3):14-17. 被引量：4
5安维,邓联文,胡照文,孔德明,刘秀丽,周克省.基于铁基纳米晶薄片状吸收剂的吸波涂料制备[J].世界科技研究与发展,2009,31(5):784-786. 被引量：2
6郭世柏,康启平,侯祥胡.机械合金化制备Fe-Si-Al软磁合金的研究[J].稀有金属,2009,33(6):811-815. 被引量：4
7周小文,邹科,朱代漫,贾立颖,王倩,黄可淼,胡国辉,熊君,刘荣明,李炳山.FeSiAl抗电磁干扰柔性软磁薄膜的研究[J].金属功能材料,2018,25(5):13-18. 被引量：4
8蔡梦洁,马丽,李绪旺,李妍,王斌收,董翠华.木质纤维素的功能化应用[J].齐鲁工业大学学报,2020,34(3):36-41. 被引量：3
9唐晓莉,苏桦,张怀武.一种新型无芯PCB平面电感器研究[J].电子器件,2002,25(4):319-323. 被引量：17
10唐晓莉,苏桦,张怀武.平面薄膜电感的研究与开发现状[J].磁性材料及器件,2003,34(2):37-38. 被引量：5

磁性材料及器件

1992年第1期

内容加载中请稍等...