摘要
本文简要地阐明了扫描隧道显微镜(STM)的工作原理,详细地介绍了STM 在纳米结构制造中的一些应用,包括 STM 诱导淀积和刻蚀,STM 直接刻写、电子束光刻和移动单个原子等。
The principle of operation of scanning tunneling microscope(STM) is briefly introducted,and then applications of STM in the fabrication of nano- structures will be given including deposition and etching induced by STM,STM di- rect writing,electron beam lithography,and removing single atom,etc.
出处
《半导体光电》
CAS
CSCD
北大核心
1992年第3期213-218,共6页
Semiconductor Optoelectronics
关键词
扫描隧道
显微镜
纳米结构
制造
Scanning Tunneling Microscope
Nanostructures
