SiH_4的共振多光子电离光谱

REMPI Spectra of SiH_4

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摘要 SiH_4是生产半导体材料的重要原料。近年来对该分子的电子能级、解离和电离的研究逐渐深入,成为一个非常活跃的研究课题。SiH_4在可见与近紫外区是透明的,只有用真空紫外光才能研究它的吸收光谱。Y.Harada等首次得到了它的很粗的吸收谱。

作者周杰丁传凡高建谧陆庆正马兴孝孔繁敖松为宏幸

机构地区中国科学技术大学近代化学系东京大学反应化学系

出处《Chinese Journal of Chemical Physics》 SCIE CAS CSCD 1989年第3期239-242,共4页 化学物理学报（英文）

基金国家自然科学基金

关键词 SIH4 REMPI光谱

参考文献1

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Chinese Journal of Chemical Physics

1989年第3期

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