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探针卡在芯片产业化中的应用分析 被引量:5

Analyze the Performance For Prober card In Chip Industrialization
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摘要 芯片产业化过程中,涉及到大量探针卡的应用,探针卡对芯片测试非常重要;根据不同的标准对探针及探针卡进行分类;针对不同应用环境,分析了探针卡的选取方法;最后给出了探针卡的存放和使用相关规范,对探针卡的设计、加工及芯片的中测测试应用具有一定的参考作用。 Probe card is widely used in chip industrializalion, It is very important for the chip the probe and probe card are classified according to different standards; The selection method lvzed according to different application environmenk card are given. This paper has reference function for Finally. the design, testing: In this paper, of prohe card is ariathe relevant rules for the storage and manufacture and test of probe card.
出处 《中国集成电路》 2017年第4期58-61,75,共5页 China lntegrated Circuit
关键词 探针 探针测试卡 芯片测试 WAFER probe probe card chip test wafer
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