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离子镀膜用长寿命阴极电子枪被引量：3

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摘要以硼化物为热电子发射体.在热阴极自持弧光放电状态工作的低电压大电流空心明极电子枪,在离子镀膜设备中用以熔化蒸发并电离膜材料。着重简述枪工作原理,对枪结构主要尺寸,气、电工作参数进行了设计.估算了枪效率。枪的结构简单,放电功率5～8kW.工作350h 后性能稳定。

作者张世良胡永年

机构地区兰州物理研究所

出处《真空与低温》 1991年第3期25-27,共3页 Vacuum and Cryogenics

关键词离子镀膜设备镀膜电子枪负极

分类号 TN305.8 [电子电信—物理电子学]

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真空与低温

1991年第3期

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