日本EIKOIB-3 IB-5型离子镀膜仪的原理及修理

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摘要日本EIKO IB-3、IB-5型离子镀膜仪广泛地用于扫描电子显微镜样品的镀膜和刻蚀。本文介绍了仪器的原理(图1),在外国公司没有提供仪器线路图的情况下,根据实物,绘制了IB—5型离子镀膜仪的线路图,为同行维修人员对同类仪器的维修提供了方便;也对该仪器经常出现的故障阐明了修理方法和预防高压触电安全线路的调整方法。

作者徐颖张来有

机构地区浙江省测试技术研究所电镜室

出处《国外科学仪器》 1991年第1期44-46,共3页

关键词电子显微镜样品修理离子镀膜仪

分类号 TN16 [电子电信—物理电子学]

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1宏声.电弧离子镀膜的性能和工业应用[J].等离子体应用技术快报,1994(11):1-2.
2Haef.,RA,陈文浩.离子镀膜[J].四川真空,1990(2):29-45.
3龚光福.离子镀技术及其在军用电子装备上的应用[J].现代电子,1995(4):59-66.
4张世良,胡永年.离子镀膜用长寿命阴极电子枪[J].真空与低温,1991,10(3):25-27. 被引量：3
5吴振华,黄经筒,游本章.用于真空电弧离子镀膜的受控电弧蒸发源[J].真空,1992,29(2):9-17. 被引量：4
6《离子镀膜技术》视频教材免费播放[J].材料保护,2016,49(12):25-25.
7闫凯,司阿利.APS等离子体离子辅助沉积薄膜工艺[J].航空兵器,2008,15(2):35-38. 被引量：2
8《真空镀膜技术》和《真空镀膜设备》出版发行[J].真空,2015,52(3):36-36.
9《真空镀膜技术》和《真空镀膜设备》出版发行[J].真空,2014,51(6):65-65.
10《真空镀膜技术》和《真空镀膜设备》出版发行[J].真空,2014,51(5):58-58.

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1991年第1期

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