摘要
本文介绍了一种不需感受器的用行波加热低电阻率半导体带材(方形或接近方形的)、或薄片(圆形或几乎是圆形的)的技术。相信这项技术在多达30个样品的同时均匀加热方面具有前景。加热器实际上是一段矩形波导,几何形状比较简单,其边界值可用适当公式表示。通过数值计算法解这个问题导出了作为各种有价值参量的函数的复传输常数值。理论研究表明,如果波导宽度选择合适,微波能量在样品中的吸收差不多是均匀的。在2.45 GHz 下,进行的衰减常数和电压驻波比的测量与理论预计很好地一致。用温度敏感漆对温度分布的初步测量与理论上是一致的。
出处
《真空电子技术》
北大核心
1991年第2期81-87,共7页
Vacuum Electronics
