一种适合于电容式气敏传感器的加热膜

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摘要覆着气敏层的叉指式电容适于用微电子技术使气体传感器集成化,它们能通过安装在加热膜上而使其温度稳定,但通常都面临着通过该加热膜对大面积传感器的有效温度梯度的问题。介绍了在加热膜上能保证近乎均匀温度分布的加热器配置,用于估计方形膜加热功耗的分析方法和有限元模拟法。试验芯片已被设计和制造,其制作过程完全符合于标准的两极工艺。

作者 Hille,P 李本会

出处《传感器技术》 CSCD 1994年第1期52-55,共4页 Journal of Transducer Technology

关键词气敏传感器加热膜电容式传感器

分类号 TN379 [电子电信—物理电子学]

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