利用行波产生微波等离子体

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摘要在沿介质线的180×300mm^2的大范围内,行波产生了2.45GHz 的均匀有源微波等离子体。氩(Ar)等离子体的亮度温度在644±17℃以内。在200帕的气压下,电子温度和密度相应为4eV 和4×10^(11)cm^(-3),与小微波等离子体发生器具有相同的数量级。能容易地扩大等离子体面积。

作者陈善化

出处《真空电子技术》北大核心 1991年第2期142-147,共6页 Vacuum Electronics

关键词行波产生微波等离子体

分类号 O531 [理学—等离子体物理]

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真空电子技术

1991年第2期

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